图2所示，本实用新型提供一种晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置至少包括一干燥气体供给装置10，所述干燥气体供给装置至少包括:水槽101、干燥液槽102、液位管103以及报警传感器104。
[0039]所述水槽101用于盛装水，这些水用于水浴加热液态的干燥液，例如，异丙醇(IPA)，使水的温度保持约70°C。
[0040]所述干燥液槽102放置在水槽101中，用来装载干燥液，利用水槽101中的水加热干燥液，使干燥液挥发产生干燥气体。本实施例中，所述干燥液为异丙醇，产生的气体为异丙醇气体。进一步地，往所述干燥液槽102中还通入传输气体，比如，氮气，通过氮气将气态异丙醇从干燥液槽102中导出，进入晶圆干燥槽中。
[0041]所述液位管103与所述水槽101相连接，水槽101中用于加热干燥液的水可以进入液位管103中，并上升至所述液位管103—定高度处。为了防止液位管103中的水蒸发产生水蒸气，在液位管103水面上滴加密封油105。所述密封油105优选为真空泵油，例如美孚真空泵油，在80°C条件下其饱和蒸汽压至少达到6.5 X 10_5kPa，具有良好的密封性，并且该油具有很好的清净性、氧化安定性、抗乳化性以及抗泡性等性能。实验显示，将两只分别装有9ml水的试管A、B放置在室温下，其中，B试管的水面上滴加少许密封油，放置一个月后，A试管的水由9ml减少至8.2ml，B试管的水基本没有减少。再对两只试管加热至70°C，20分钟后A试管中的水继续减少至7.8ml，而B试管几乎没有变化，因此，可以说明密封油105能很好地防止水的蒸发，减少报警传感器104误报警。
[0042]另外，在所述液位管103的顶端贴设有热敏电阻片106，当热敏电阻片106通电后可以发热，加热液位管103至75°C左右，进一步减少水蒸汽凝结挂壁的几率，减少报警传感器104的误报警。
[0043]作为本实施例优选的一种方案，所述液位管103的顶部还安装有自动排气阀107，当液位管103内的气压超过0.15Mpa时，自动排气阀107会自动打开进行排压。
[0044]所述报警传感器104安装在液位管103上，当液位管103中的水上升超过所述报警传感器104位置时，报警传感器104会发出警报，准确的控制水槽101中水的液位高度，防止溢出。
[0045]进一步地，所述密封油105通过注油口滴加在液位管103的水面上，所述注油口设置在水面和报警传感器104之间，并通过注油控制阀108控制油量。
[0046]更进一步地，所述液位管103上自下而上还设置有低位传感器(Lower sensor)、请求传感器(Request sensor)以及报满传感器(Full sensor)，通过这三个传感器，可以顺利将水注入到水槽101预先设定的合适位置。
[0047]需要说明的是，所述晶圆干燥装置还包括用来清洗和干燥晶圆的处理槽201，如图3所示，所述处理槽201由一盖体202覆盖，所述干燥液槽102通过管道和所述盖体202连接，晶圆的干燥过程为:首先，将晶圆W放入处理槽201中，关闭盖体202，通入去离子水冲洗晶圆；然后将晶圆往上移出水面，从盖体202顶部通入气态异丙醇和氮气，直至吹干晶圆。
[0048]综上所述，本实用新型本实用新型的晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置至少包括干燥气体供给装置，所述干燥气体供给装置至少包括:水槽；用来装载干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加热干燥液产生干燥气体；液位管，和所述水槽相连接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的顶端贴设有热敏电阻片；报警传感器，安装在液位管上，当液位管中的水上升超过所述报警传感器位置时，报警传感器发出警报。本实用新型通过在液位管中滴加密封油，并在液位管上方包覆压敏电阻片，可以减少水蒸气在液位管管壁上的粘附，从而降低水蒸气对报警传感器的影响。
[0049]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0050]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，所述晶圆干燥装置至少包括干燥气体供给装置，所述干燥气体供给装置至少包括: 水槽； 用来装载干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加热干燥液产生干燥气体； 液位管，和所述水槽相连接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的顶端贴设有热敏电阻片； 报警传感器，安装在液位管上，当液位管中的水上升超过所述报警传感器位置时，报警传感器发出警报。
2.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述密封油为真空泵油。
3.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述热敏电阻片通电后的加热温度范围为75±2°C。
4.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述液位管的顶部还安装有自动排气阀，当液位管内气压超过0.15Mpa时，自动排气阀会自动打开进行排压。
5.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述密封油通过注油口滴加在液位管的水面上，所述注油口设置在水面和报警传感器之间，并通过注油控制阀控制油量。
6.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述干燥液为异丙醇，加热后异丙醇挥发成为异丙醇气体，所述干燥液槽中还通有N2气。
7.根据权利要求1所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述晶圆干燥装置还包括用来清洗和干燥晶圆的处理槽，所述处理槽由一盖体覆盖。
8.根据权利要求7所述的晶圆干燥装置，其特征在于:所述干燥液槽通过管道和所述盖体连接。
【专利摘要】本实用新型提供一种晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置至少包括干燥气体供给装置，所述干燥气体供给装置至少包括：水槽；用来装载干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加热干燥液产生干燥气体；液位管，和所述水槽相连接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的顶端贴设有热敏电阻片；报警传感器，安装在液位管上，当液位管中的水上升超过所述报警传感器位置时，报警传感器发出警报。本实用新型通过在液位管中滴加密封油，并在液位管上方包覆压敏电阻片，可以减少水蒸气在液位管管壁上的粘附，从而降低水蒸气对报警传感器的影响。
【IPC分类】H01L21-67
【公开号】CN204391063
【申请号】CN201520120853
【发明人】董明, 肖方
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年3月2日