双腔时序采集装置和双腔准分子激光器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于双腔准分子激光器技术领域，具体涉及一种适于高频高压快脉冲 的双腔时序采集装置，以及包括该双腔时序采集装置的双腔准分子激光器。
【背景技术】
[0002] 采用双腔结构的准分子激光器中一个腔称之为主震荡腔（MO腔），另一个称之为 放大腔（PA腔）。MO腔产生的种子光需要在时序上精确地（抖动小于±5ns)传到PA腔， 此时PA腔放电激励将来自于MO腔的种子光能量放大。因此这就需要对两个放大腔的放电 时序进行精确地控制。双腔准分子激光器放电抖动主要是由（1)双腔电源起始放电电压抖 动、（2)放电腔内的随机抖动、（3)放电时电源的固有抖动和⑷双腔电源温度抖动和腔内 气压波动四部分组成。其中第（4)部分问题的解决依赖于双腔准分子同步控制技术。也就 是说，对于双腔准分子激光器的电源来讲，需要采用双腔准分子激光器同步技术将双腔放 电抖动控制在±5ns之内才可以实现两个腔体的同步放电。
[0003] 实现双腔激光器放电时序控制的前提是对双腔出光信号的采集，一种双腔时序采 集方法在专利US7203216中被公开，其中采用的传感器采集时序比如用光电二极管。然而 该方法的缺点是需要光路分光，从而损失了输出能量。 【实用新型内容】
[0004] (一）要解决的技术问题
[0005] 本实用新型所要解决的技术问题是现有的双腔准分子激光器中对于双腔放电的 同步控制需要采集双腔出射的光信号带来的能量损失问题。
[0006] (二）技术方案
[0007] 为解决上述技术问题，本实用新型提出一种双腔时序采集装置，该装置用于采集 脉冲时序发射装置产生的脉冲，包括互感器和信号输出接口（15)，所述互感器包括至少一 个由绝缘膜和金属片构成的叠层，各绝缘膜和金属片交替叠置；所述信号输出接口（15)通 过传输线分别与最上方的金属片和脉冲时序发射装置的外表面连接，并将所获得的感应信 号传输给外部装置。
[0008] 根据本实用新型的【具体实施方式】，所述装置还包括阻抗匹配电路（16)，其连接于 最上层的金属片与所述脉冲时序发射装置的外表面之间。
[0009] 根据本实用新型的【具体实施方式】，所述传输线是导体，其宽度和厚度满足如下公
面之间绝缘物质的相对介电常数，h为所述传输线到所述脉冲时序发射装置的外表面的距 离，W为所述传输线的宽度，t为所述传输线的厚度。
[0010] 根据本实用新型的【具体实施方式】，所述绝缘膜是高分子绝缘薄膜材料。
[0011] 根据本实用新型的【具体实施方式】，所述高分子绝缘薄膜材料为聚乙烯或聚酰亚 胺。
[0012] 根据本实用新型的【具体实施方式】，所述金属片的材料为铜或铝。
[0013] 本实用新型还提出包括上述双腔时序采集装置的双腔准分子激光器。
[0014] (三）有益效果
[0015] 本实用新型应用在采用双腔结构的准分子放电同步技术中，可满足双腔准分子激 光器的能量放大要求。
【附图说明】
[0016] 图IA是本实用新型的双腔时序采集装置的一个实施例的结构示意图；
[0017] 图IB是本实用新型的双腔时序采集装置的第二实施例的结构示意图；
[0018] 图IC是本实用新型的双腔时序采集装置的第三实施例的结构示意图；
[0019] 图2是本实用新型实施例中的互感器的安装位置示意图；
[0020] 图3A是本实用新型实施例的采集单元的附视图；
[0021] 图3B是本实用新型实施例的传输线的放大示电图；
[0022] 图4是本实用新型提出的双腔时序采集装置的应用于双腔准分子激光器中的作 为双腔电源同步控制装置的模块图。
【具体实施方式】
[0023] 本实用新型提出一种双腔时序采集装置，该装置用于采集脉冲时序发射装置产生 的高频高压快脉冲。本实用新型可应用在采用双腔结构的准分子激光器的放电同步技术 中，其原理是通过特殊设计的高压互感器采集放电腔的放电时序信号，并用此互感器代替 现有技术中使用光电二极管采集光信号。
[0024] 所述双腔时序采集方法包括如下步骤：将互感器的一端与和脉冲时序发射装置的 外表面贴合；将互感器的另一端与信号输出接口通过传输线连接；将信号输出接口与所述 脉冲时序发射装置的外表面电连接；处用信号输出接口将获得的感应信号输出。
[0025] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并 参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
[0026] 图IA是本实用新型的双腔时序采集装置的一个实施例的结构示意图。如图IA所 示，该实施例中，采集装置使用高电压电容耦合方式的互感器检测脉冲信号，该互感器包括 相互贴合的第一绝缘膜11和第一金属片12。采集装置还包括一个信号输出接口 15。其中， 第一绝缘膜11与脉冲时序发射装置的外表面紧密连接，信号输出接口 15通过传输线分别 与所述第一金属片12和脉冲时序发射装置的外表面连接，并将所获得的感应信号传输给 外部装置。
[0027] 第一绝缘膜11可以采用热稳定性及电气性能优越的高分子绝缘薄膜材料，如超 高分子量聚乙烯或聚酰亚胺等。第一金属片12的材料可以是铝、铜等。
[0028] 在该实施例中，第一绝缘膜11为高分子绝缘薄膜材料，其贴附于双腔准分子激光 器的放电腔A的外表面，放电腔A的外表面接地。第一绝缘膜11上再贴上铝制或铜制的第 一金属片12。这样，放电腔A、第一绝缘膜12和第一金属片11就构成了一个親合电容。
[0029] 图IB是本实用新型的双腔时序采集装置的第二实施例的结构示意图。与图IA显 示的结构不同的是，该第二实施例中的绝缘膜和金属片均具有两层并交替叠置。具体来说， 在第一金属片12的上方再依次贴附有第二绝缘膜13和第二金属片14,信号输出接口 15的 一端连接至该第二金属片。第二绝缘膜13和第二金属片14的材料选择与第一绝缘膜11 和第一金属片12的选择相仿。为了提高信号的信噪比，该脉冲时序采集装置距离高压放