电 端非常近，第一实施例的采集装置有被高电压击穿的危险。该实施例相比于第一实施例具 有更高的绝缘电阻。
[0030] 在实际实施中，也可以与该第二实施例类似的叠加更多的层，并保持绝缘膜和金 属片交替叠置，位于最上方的金属片与信号输出接口 15通过传输线连接。
[0031] 图IC是本实用新型的双腔时序采集装置的第三实施例的结构示意图。其是在图 IB显示的实施例结构上的改进，不同的是，该实施例的采集装置还包括一个阻抗匹配电路 16,其连接于第二金属片14与放电腔A之间。阻抗匹配电路16用于快脉冲信号的匹配传 输，该匹配电路可以是并联匹配，比如信号以50欧姆阻抗传输，匹配电路16可以是与信号 输出接口 14并联的50欧姆的电阻，作为并联终端匹配。由于绝缘膜的绝缘介质材料和金 属片的面积的选择不同，信号脉冲脉宽大约是几十纳秒或更长。对于这种高速脉冲电信号， 在硬件设计时，需充分考虑信号完整性，设计合理的阻抗匹配回路。再通过积分和前置放大 得到标准的脉冲方波信号，将两路脉冲信号输出到专门的脉冲延时测量芯片或是双通道高 速AD采集卡中，最终获得双路脉冲的延时值。所述阻抗匹配电路16也可以配置于第一实 施例或其他多叠层的实施例中。
[0032] 图2给出了上述实施例中的互感器的安装位置示意图。该图以第一实施例为例， 其中左图是单腔准分子激光器的主视图，电源18与放电腔20通过高压端子21连接，19是 放电腔内电极。22是准分子激光出光方向。右图是单腔准分子激光器侧视图，23就是高频 高压脉冲时序采集装置。该装置安装在高压端子21附近，可以贴到电源18或放电腔20上。 其中互感器安装在准分子激光器的电源与放电腔之间，且靠近峰化电容的位置。放电腔放 电时产生的空间辐射信号耦合到互感器的耦合电容的第一金属片12上，并将此脉冲信号 通过第一金属片12上的信号输出接口 15输出。
[0033] 图3A是上述第一、第二、第三实施例的采集单元的附视图。如图3A所示，信号输 出接口 16与金属片的连接采用的传输线17可以进行设计以得到合适的阻抗，从而来得到 最优的信号输出。
[0034] 图3B是本实用新型的传输线的放大示电图，其中以第一实施例为例。如图3B所 示，传输线17是一片特定宽度和厚度导体片，可以是铜片，铝片等。以50欧姆设计阻抗为 例，Z。= 50 D^为传输线与脉冲时序发射装置表面之间绝缘物质的相对介电常数（绝缘 物可以是空气或是灌封胶等），h为传输线到所贴表面的距离，w为传输线的宽度，t为传输 线的厚度，将以上参数带入公式。可以反算出传输线宽度w和厚度t的组合。
[0036] 图4是本实用新型提出的双腔时序采集装置的应用于双腔准分子激光器中的作 为双腔电源同步控制装置的模块图。如图4所示，激光器包括MO腔和PA腔，MO腔和PA腔 分别配有第一电源和第二电源。双腔电源同步控制装置包括延时测量单元28、上位机24和 下位机25、输出延时单元27及状态采集单元26、第一时序采集单元29a和第二时序采集单 元29b，分别连接双腔时序采集装置23a和23b。所述双腔时序采集装置23a和23b均为上 述实施例中的采集装置构成，用于采集双腔放电波形和时序信息。延时检测单元28通过时 序采集器29采集MO腔和PA腔的放电延时值，控制算法在下位机25上实现，根据放电延时 反馈与设定数据和状态采集单元29和采集器23采到的激光器状态信息参数，执行闭环控 制算法，并实时更新放电延时模块输出值，从而消除双腔放电延时的抖动。该系统将双腔电 源放电抖动指标提升到± 5ns。
[0037]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一 步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实 用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含 在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种双腔时序采集装置，该装置用于采集脉冲时序发射装置产生的脉冲，其特征在 于： 包括互感器和信号输出接口（15)， 所述互感器包括至少一个由绝缘膜和金属片构成的叠层，各绝缘膜和金属片交替叠 置； 所述信号输出接口（15)通过传输线分别与最上方的金属片和脉冲时序发射装置的外 表面连接，并将所获得的感应信号传输给外部装置。2. 如权利要求1所述的双腔时序采集装置，其特征在于：还包括阻抗匹配电路（16)，其 连接于最上层的金属片与所述脉冲时序发射装置的外表面之间。3. 如权利要求1所述的双腔时序采集装置，其特征在于：所述传输线是导体，其宽度和 厚度满足如下公式：，所述Z。是设计阻抗，为传输线与脉冲时序发射装置的表 面之间绝缘物质的相对介电常数，h为所述传输线到所述脉冲时序发射装置的外表面的距 离，w为所述传输线的宽度，t为所述传输线的厚度。4. 如权利要求1所述的双腔时序采集装置，其特征在于：所述绝缘膜是高分子绝缘薄 膜材料。5. 如权利要求4所述的双腔时序采集装置，其特征在于：所述高分子绝缘薄膜材料为 聚乙烯或聚酰亚胺。6. 如权利要求1所述的双腔时序采集装置，其特征在于：所述金属片的材料为铜或铝。7. -种双腔准分子激光器，包括如权利要求1至6中任一项所述的双腔时序采集装置。
【专利摘要】本实用新型公开了一种适于高频高压快脉冲的双腔时序采集装置及使用其的双腔准分子激光器，双腔时序采集装置用于采集脉冲时序发射装置产生的高频高压快脉冲。装置包括互感器和信号输出接口，互感器包括相互贴合的第一绝缘膜和第一金属片，第一绝缘膜与脉冲时序发射装置的外表面紧密连接，信号输出接口通过传输线分别与第一金属片和脉冲时序发射装置的外表面连接，并将所获得的感应信号传输给外部装置。本实用新型应用在采用双腔结构的准分子放电同步技术中，可满足双腔准分子激光器的能量放大要求。
【IPC分类】H01S3/10, H01S3/08
【公开号】CN204720771
【申请号】CN201520223358
【发明人】马英麒, 徐向宇, 郑凯元, 周翊, 王宇
【申请人】中国科学院光电研究院
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年4月14日