致动器的制作方法

本发明涉及一种产生各种振动的致动器。

背景技术：

作为由磁驱动电路产生振动的设备，已提案有一种致动器，其具有：具备磁铁的支承体、和具备与磁铁对置的线圈的可动体，并且在可动体和支承体之间配置有弹性部件(参照专利文献1)。另外，在专利文献1记载的致动器中，板厚方向面向第一方向的共同的板状部件(线圈支架)中，在与第一方向正交的第二方向上分开的位置设置有两个第一线圈，另一方面，在与第一方向及第二方向正交的第三方向上分开的位置设置有两个第二线圈。另外，在支承体上，相对于第一线圈在第一方向的两侧配置有被第一磁铁支架保持的第一磁铁，相对于第二线圈在第一方向的两侧配置有被第二磁铁支架保持的第二磁铁。因此，第一线圈及第一磁铁构成使可动体沿第二方向振动的第一磁驱动电路，第二线圈及第二磁铁构成使可动体沿第三方向振动的第二磁驱动电路。

另外，可动体在第二方向及第三方向上的可动范围由止动机构限制，止动机构由相对于可动体在第二方向的外侧及第三方向的外侧设置于线圈支架上的柱状部和磁铁支架构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2016－127789号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在像专利文献1记载的致动器那样，由保持线圈的线圈支架和保持磁铁的磁铁支架构成止动机构的情况下，需要将止动机构设置在可动体的第二方向的外侧及第三方向的外侧，而存在：致动器的平面面积变大这样的问题。

鉴于上述问题，本发明的技术问题在于，提供一种可以缩小平面面积的致动器。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种致动器，具有：支承体；可动体，相对于所述支承体而能够移动；第一磁驱动电路，产生向与第一方向正交的第二方向驱动所述可动体的驱动力；以及第二磁驱动电路，产生向与所述第一方向正交且与所述第二方向交叉的第三方向驱动的驱动力；其中，所述第一磁驱动电路具备：第一线圈，保持在第一线圈支架，所述第一线圈支架被设置于所述支承体及所述可动体中的一侧部件上；及第一磁铁，保持在另一侧部件上，并且在所述第一方向上与所述第一线圈的沿所述第三方向延伸的第一有效边部分对置。所述第二磁驱动电路具备：第二线圈，保持在第二线圈支架，所述第二线圈支架被设置于所述一侧部件上；及第二磁铁，保持在所述另一侧部件上，并且在所述第一方向上与所述第二线圈的沿所述第二方向延伸的第二有效边部分对置。所述第一线圈支架具备第一止动部，所述第一止动部在所述第三方向上与所述第一磁铁对置，限定所述可动体向所述第三方向的可动范围。所述第二线圈支架具备第二止动部，所述第二止动部在所述第二方向上与所述第二磁铁对置，限定所述可动体向所述第二方向的可动范围。

在本发明中，可动体相对于支承体向第二方向及第三方向的可动范围，是由在第一线圈支架和第一磁铁之间构成的止动机构、及在第二线圈支架和第二磁铁之间构成的止动机构所限制，如果是这样的止动机构，则可以设置于在第一方向上与第一磁驱动电路、第二磁驱动电路重叠的位置。因此，可以缩小从第一方向观察时的致动器的平面面积。另外，由于向第二方向驱动可动体的第一磁驱动电路中所使用的第一磁铁的第三方向的尺寸比第二方向的尺寸短，因此，利用第一磁铁的第三方向的两侧的空间构成限制可动体向第三方向的可动范围的止动机构。另外，由于向第三方向驱动可动体的第二磁驱动电路中所使用的第二磁铁的第二方向的尺寸比第三方向的尺寸短，因此，利用第二磁铁的第二方向的两侧的空间构成限制可动体向第二方向的可动范围的止动机构。因此，易于将止动机构设置于在第一方向上与第一磁驱动电路、第二磁驱动电路重叠的位置。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一线圈支架具备第一框部，所述第一框部形成有内侧收纳所述第一线圈的第一开口部，所述第一止动部由从所述第一框部向所述第一方向突出并在所述第三方向上与所述第一磁铁对置的部分构成，所述第二线圈支架具备第二框部，所述第二框部形成有内侧收纳所述第二线圈的第二开口部，所述第二止动部由从所述第二框部向所述第一方向突出并在所述第二方向与所述第二磁铁对置的部分构成。根据这种方式，能够容易地将第一止动部及第二止动部设置在第一线圈支架及第二线圈支架上。具体地说，由于向第二方向驱动可动体的第一磁驱动电路中所使用的第一线圈的第三方向的尺寸比第二方向的尺寸长，因此，在第一框部，在第三方向上对置的部分的距离比第一磁铁的第三方向的尺寸大。因此，能够容易地将第一止动部设置于从第一框部突出的部分。另外，由于向第三方向驱动可动体的第二磁驱动电路中所使用的第二线圈的第二方向的尺寸比第三方向的尺寸长，因此，在第三框部，在第二方向上对置的部分的距离比第二磁铁的第二方向的尺寸大。因此，能够容易地将第二止动部设置于从第二框部突出的部分。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一线圈支架具备第一座部，所述第一座部从所述第一框部向所述第一方向突出，支承所述第一线圈的向第二方向延伸的第一无效边部分，由所述第一座部的在所述第三方向上与所述第一磁铁对置的侧端部构成所述第一止动部，所述第二线圈支架具备第二座部，所述第二座部从所述第二框部向所述第一方向突出，支承所述第二线圈的向第三方向延伸的第二无效边部分，由所述第二座部的在所述第二方向上与所述第二磁铁对置的侧端部构成所述第二止动部。根据这种方式，可以利用支承第一线圈的第一座部构成第一止动部，并且可以利用支承第二线圈的第二座部构成第二止动部。因此，可以简化第一线圈支架及第二线圈支架的结构。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一止动部位于比所述第一无效边部分的内缘靠所述第一磁铁的一侧的位置，所述第二止动部位于比所述第二无效边的内缘靠所述第二磁铁的一侧的位置。根据这种方式，在驱动可动体时，第一磁铁及第二磁铁难以与第一线圈的卷绕开始侧的引出部分及第二线圈的卷绕开始侧的引出部分接触，因此，不易产生第一线圈的断线及第二线圈的断线。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一框部的所述第一方向的厚度比所述第一线圈的所述第一方向的厚度厚，所述第二框部的所述第一方向的厚度比所述第二线圈的所述第一方向的厚度厚。根据这种方式，第一线圈难以从第一框部向第一方向突出，第二线圈难以从第二框部向第一方向突出。因此，难以发生第一线圈及第二线圈与第一磁铁及第二磁铁抵接而断线的情况。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一磁驱动电路在所述第一方向上与所述第二磁驱动电路重叠配置。根据这种方式，从第一方向观察致动器时的尺寸(平面面积)较小。

在本发明中，可以采用如下方式：相对于所述第二磁驱动电路，在与所述第一磁驱动电路相反侧重叠配置有第三磁驱动电路，所述第三磁驱动电路产生向所述第二方向驱动所述可动体的驱动力，第三磁驱动电路具备：第三线圈，保持在第三线圈支架，所述第三线圈支架被设置于所述一侧部件上；第三磁铁，保持在所述另一侧部件上，并且在所述第一方向上与所述第三线圈的向所述第三方向延伸的第三有效边部分对置，所述第三线圈支架具备第三止动部，所述第三止动部在所述第三方向上与所述第三磁铁对置，限定所述可动体向所述第三方向的可动范围。根据这种方式，相对于使可动体向第三方向振动的第二磁驱动电路，在第一方向的两侧设置有使可动体向第二方向振动的第一磁驱动电路及第三磁驱动电路，因此，在使可动体向第二方向振动时，不易产生可动体倾斜等情况。另外，相对于限制可动体向第二方向的可动范围的止动机构，在第一方向的两侧构成限制可动体向第三方向的可动范围的止动机构，因此，在可动体向第三方向过度移动时，即使在止动机构动作的情况下，也不易发生可动体倾斜等情况。

在本发明中，可以采用如下方式：所述一侧部件是所述支承体，所述另一侧部件是所述可动体。

在本发明中，可以采用如下方式：在所述可动体和所述支承体之间设置有：第一弹性部件，与所述可动体、及所述支承体上的在所述第一方向的一侧与所述可动体对置的部分的双方相接；第二弹性部件，与所述可动体、及所述支承体上的在所述第一方向的另一侧与所述可动体对置的部分的双方相接。根据这种方式，在可动体相对于支承体向第二方向及第三方向振动时，粘弹性部件向与伸缩方向正交的剪切方向变形。因此，粘性部件在高的线性范围内变形，所以能够获得线性良好的振动特性。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一弹性部件及所述第二弹性部件分别粘接于所述支承体及所述可动体上。根据这种方式，粘弹性部件可靠地追随可动体的移动，因此，可以有效地防止可动体的谐振。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一弹性部件及所述第二弹性部件分别处于：在所述支承体和所述可动体之间向第一方向被压缩的状态。根据这种方式，粘弹性部件可靠地追随可动体的移动，因此，能够有效地防止可动体的谐振。

在本发明中，可以采用如下方式：所述第一弹性部件及所述第二弹性部件各自是粘弹性部件。粘弹性是指将粘性和弹性两者合在一起的综合性质，是在凝胶状部件、塑料、橡胶等高分子物质中突出表现的性质。因此，作为粘弹性部件，可以使用硅胶系凝胶等各种凝胶状部件。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的致动器的立体图。

图2是拆下了图1所示的罩的状态的致动器的分解立体图。

图3是表示沿第一方向及第二方向切断图1所示的致动器时的说明图。

图4是表示沿第一方向及第三方向切断图1所示的致动器时的说明图。

图5是拆下了图2所示的第一端板和第二端板的状态的致动器的分解立体图。

图6是分解图1所示的致动器中使用的磁驱动电路时的分解立体图。

图7是图6所示的第一磁驱动电路的分解立体图。

图8是图6所示的第二磁驱动电路的分解立体图。

图9是图6所示的第三磁驱动电路的分解立体图。

图10是本发明的第二实施方式的致动器的立体图。

图11是将图10所示的致动器沿第一方向及第二方向切断时的说明图。

图12是将图10所示的致动器沿第一方向及第三方向切断时的说明图。

图13是将图10所示的第一端板和第二端板卸下的状态的致动器的分解立体图。

图14是将图10所示的致动器中使用的磁驱动电路卸下时的分解立体图。

图15是图14所示的第一磁驱动电路的分解立体图。

图16是图14所示的第二磁驱动电路的分解立体图。

图17是图14所示的第三磁驱动电路的分解立体图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，在以下的说明中，将相互交叉的三个方向分别设为x方向、y方向以及z方向进行说明。z方向是与x方向及y方向正交的方向。另外，在x方向的一侧标注x1，在x方向的另一侧标注x2，在y方向的一侧标注y1，在y方向的另一侧标注y2，在z方向的一侧标注z1，在z方向的另一侧标注z2进行说明。在此，x方向、y方向以及z方向各自与本发明中的方向具有以下关系。

x方向＝本发明中的“第二方向”

y方向＝本发明中的“第三方向”

z方向＝本发明中的“第一方向”

[第一实施方式]

(整体构成)

图1是本发明的第一实施方式的致动器1的立体图。图2是将图1所示的卸下罩11的状态的致动器1的分解立体图。图3是将图1所示的致动器1沿z方向及x方向切断时的说明图。图4是表示将图1所示的致动器1沿z方向及y方向切断时的说明图。图5是将图2所示的卸下第一端板28及第二端板29的状态的致动器1的分解立体图。

如图1及图2所示，本实施方式的致动器1具有：在z方向开口的方筒状的罩11、和收纳于罩11的内侧的长方体形状的本体部分10，在本体部分10的y方向的一侧y1的表面粘贴有配线基板15。在配线基板15上形成有多个电极151及配线图案152，在所述电极151上连接后文中描述的线圈的端部、从驱动装置(未图示)延伸的线配件(未图示)。因此，在罩11上形成有开口部110，所述开口部110使多个电极151中连接配线件的电极151露出。

如图3、图4以及图5所示，致动器1具有：支承体2、可动体3以及配置在支承体2和可动体3之间的弹性部件4，可动体3经由弹性部件4支承于支承体2，且可沿z方向、x方向以及y方向移动。另外，致动器1具有：相对于支承体2在x方向及y方向上驱动可动体3使可动体3振动的多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)。

支承体2在z方向的一侧z1的端部及另一侧z2的端部具有：第一端板28及第二端板29。第一端板28在z方向的一侧z1与可动体3对置，在可动体3和第一端板28之间配置有第一弹性部件41(弹性部件4)。第二端板29在z方向的另一侧z2与可动体3对置，在可动体3和第二端板29之间配置有第二弹性部件42(弹性部件4)。

在本实施方式中，弹性部件4是具备粘弹性的粘弹性体，在本实施方式中，使用板状的凝胶状减振部件作为弹性部件4(粘弹性体)。第一弹性部件41的z方向的两面，分别通过粘接等方法连接到可动体3及第一端板28。第二端板29是，第二弹性部件42的z方向的两面，分别通过粘接等方法连接到可动体3及第二端板29。即，弹性部件4设置于相对于可动体3的第一方向z的一侧z1及相对于可动体3的第一方向z的另一侧z2的各侧。另外，弹性部件4配置为第一弹性部件41和第二弹性部件42，其中，第一弹性部件41与可动体3、及支承体2中在第一方向z的一侧z1与可动体3对置的部分(第一端板28)的双方相接；第二弹性部件42与可动体3、及支承体2中在第一方向z的另一侧z2与可动体3对置的部分(第二端板29)的双方相接。

凝胶状减振部件根据其伸缩方向具备线性或非线性的伸缩特性。例如，板状的凝胶状减振部件在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量比线性分量大的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)被拉伸而伸长的情况下，具备线性分量比非线性分量大的伸缩特性。另外，在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，也具备线性分量比非线性分量大的变形特性。在本实施方式中，构成为在可动体3沿x方向及y方向振动时，弹性部件4(粘弹性体)沿剪切方向变形。

多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)均具有：线圈、和与各线圈对置的磁铁。线圈设置于支承体2及可动体3的一侧部件上，磁铁设置于另一侧部件上。在本实施方式中，如下所述，线圈(第一线圈61、第二线圈71以及第三线圈81)及线圈支架(第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85)设置于支承体2。另外，在可动体3上设置有磁铁(第一磁铁621、622、第二磁铁721、722以及第三磁铁821、822)及轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)。另外，第一磁驱动电路6配置成在z方向的一侧z1与第二磁驱动电路7重叠，第三磁驱动电路8配置成在与第一磁驱动电路6相反的一侧与第二磁驱动电路7重叠。因此，第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。

(驱动电路的构成)

图6是将图1所示的致动器1中使用的磁驱动电路分解时的分解立体图。如图3、图4、图5以及图6所示，第一磁驱动电路6具有：第一线圈61、在z方向的一侧z1与第一线圈61对置的第一磁铁621、和在z方向的另一侧z2与第一线圈61对置的第一磁铁622。第二磁驱动电路7具有：第二线圈71、在z方向的一侧z1与第二线圈71对置的第二磁铁721、以及在z方向的另一侧z2与第二线圈71对置的第二磁铁722。第三磁驱动电路8具有：第三线圈81、在z方向的一侧z1与第三线圈81对置的第三磁铁821、以及在z方向的另一侧z2与第三线圈81对置的第三磁铁822。

为了沿z方向重叠配置如上所述构成的第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8，支承体2具有：保持第一线圈61的第一线圈支架65、保持第二线圈71的第二线圈支架75、以及保持第三线圈81的第三线圈支架85，第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。另外，第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85的在z方向上相邻的线圈支架彼此连接。

另外，可动体3具备：相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1并且第一线圈61和第二线圈71之间、第二线圈71和第三线圈81之间以及相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的多个轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)，第一磁铁621、622、第二磁铁721、722以及第三磁铁821、822分别保持于多个轭中的任何一个上。另外，多个轭的在z方向上相邻的轭彼此连接。

在本实施方式中，在多个轭中包含：相对于第一线圈61配置于z方向的两侧的第一轭64、相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二轭74以及相对于第三线圈81配置于z方向的两侧的第三轭84。第一轭64保持相对于第一线圈61配置于z方向的两侧的第一磁铁621、622。第二轭74保持相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二磁铁721、722。第三轭84保持相对于第三线圈配置于z方向的两侧的第三磁铁821、822。

(第一磁驱动电路6的详细构成)

图7是图6所示的第一磁驱动电路6的分解立体图。如图5、图6以及图7所示，第一线圈支架65具备：在内侧保持第一线圈61的第一框部66、和从第一框部66的端部(四个角)朝向z方向的两侧突出的多个第一柱状部69。第一柱状部69与第一端板28连接。第一线圈支架65为树脂制或金属制。在本实施方式中，第一线圈支架65及第一端板28为树脂制。

第一磁驱动电路6中使用的第一线圈61是具有沿y方向延伸的第一有效边部分611、612(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第一线圈支架65的第一框部66形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第一开口部67，第一线圈61通过粘接等固定在第一开口部67的内侧。

在第一线圈支架65中，相对于第一框部66在z方向的一侧z1，在与第一开口部67的y方向的两端部重叠的位置形成有第一座部681、682，所述第一座部681、682在z方向的一侧z1支承在第一线圈61的两端部沿x方向延伸的第一无效边部分613、614(短边部分)。第一座部681、682从第一框部66向z方向的一侧z1突出，由第一开口部67的y方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第一框部66的z方向的另一侧z2的面上，从第一开口部67朝向x方向的另一侧x2且y方向的一侧y1延伸出槽661，所述槽661是用于使第一线圈61的卷绕开始的引出部分穿过的导向槽。第一框部66的厚度(z方向的尺寸)大于第一线圈61的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第一线圈61被收纳在第一开口部67的内侧的状态下，第一线圈61不从第一框部66向z方向的另一侧z2突出。

第一磁铁621、622分别具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第一磁铁621、622分别在x方向上被分极磁化，n极及s极分别与第一线圈61的第一有效边部分611、612对置。因此，当对第一线圈61通电时，第一磁驱动电路6产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在第一磁驱动电路6中，第一轭64包含：相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1的轭板641、和相对于第一线圈61配置于z方向的另一侧z2的轭板642。轭板641具有：用z方向的另一侧z2的面保持第一磁铁621的平板状的磁铁保持部641a、和从磁铁保持部641a的x方向的两端部朝向z方向的另一侧z2弯曲的侧板部641b、641c。轭板642具有：用z方向的一侧z1的面保持第一磁铁622的平板状的磁铁保持部642a、和从磁铁保持部642的x方向的两端部向x方向的一侧x1及另一侧x2突出的连接板部642b、642c。在本实施方式中，轭板641的侧板部641b的前端部和轭板642的连接板部642b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板641的侧板部641c的前端部和轭板642的连接板部642c的前端部通过焊接、铆接等连接。

(第二磁驱动电路7的详细构成)

图8是图6所示的第二磁驱动电路7的分解立体图。如图5、图6以及图8所示，第二线圈支架75具备：在内侧保持第二线圈71的第二框部76、和从第二框部76的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第二柱状部79。第二柱状部79与在z方向的一侧z1相邻的第一线圈支架65的第一柱状部69连接。第二线圈支架75为树脂制或金属制。在本实施方式中，第二线圈支架75为树脂制。

第二磁驱动电路7中使用的第二线圈71是具有沿x方向延伸的第二有效边部分711、712(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第二线圈支架75的第二框部76形成有使长径方向朝向x方向的椭圆形状的第二开口部77，第二线圈71通过粘接等固定在第二开口部77的内侧。

在第二线圈支架75中，相对于第二框部76在z方向的一侧z1，在与第二开口部77的x方向的两端部重叠的位置形成有第二座部781、782，所述第二座部781、782在z方向的一侧z1支承在第二线圈71的两端部沿y方向延伸的第二无效边部分713、714(短边部分)。第二座部781、782从第二框部76向z方向的一侧z1突出，由第二开口部77的x方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第二框部76的z方向的另一侧z2的面上，从第二开口部77朝向x方向的一侧x1且y方向的一侧y1延伸出槽(未图示)，所述槽是用于使第二线圈71的卷绕开始的引出部分穿过的导向槽。第二框部76的厚度(z方向的尺寸)大于第二线圈71的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第二线圈71被收纳在第二开口部77的内侧的状态下，第二线圈71不从第二框部76向z方向的另一侧z2突出。

第二磁铁721、722分别具有长方形的平面形状，长边沿y方向延伸，短边沿x方向延伸。第二磁铁721、722分别在y方向上被分极磁化，n极以及s极分别与第二线圈71的第二有效边部分711、712对置。因此，当对第二线圈71通电时，第二磁驱动电路7产生沿y方向驱动可动体3的驱动力。在第二磁驱动电路7中，第二轭74包含：相对于第二线圈71配置于z方向的一侧z1的轭板741、和相对于第二线圈71配置于z方向的另一侧z2的轭板742。轭板742具有：用z方向的一侧z1的面保持第二磁铁722的平板状的磁铁保持部742a、和从磁铁保持部742a的y方向的两端部朝向z方向的一侧z1折弯的侧板部742b、742c。轭板741具有：用z方向的另一侧z2的面保持第二磁铁721的平板状的磁铁保持部741a、和从磁铁保持部741a的y方向的两端部向y方向的一侧y1及另一侧y2突出的连接板部741b、741c。在本实施方式中，轭板742的侧板部742b的前端部和轭板741的连接板部741b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板742的侧板部742c的前端部和轭板741的连接板部741c的前端部通过焊接、铆接等连接。

在轭板741及轭板642上形成有孔741e、642e，轭板741和轭板642以孔741e、642e为基准定位之后，通过焊接、铆接等在孔741e、642e的内部连接。

(第三磁驱动电路8的详细构成)

图9是图6所示的第三磁驱动电路8的分解立体图。如图5、图6以及图9所示，第三线圈支架85具备：在内侧保持第三线圈81的第三框部86、和从第三框部86的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第三柱状部89。第三柱状部89与在z方向的一侧z1相邻的第二线圈支架75的第二柱状部79连接。另外，第三柱状部89与第二端板29连接。第三线圈支架85为树脂制或金属制。在本实施方式中，第三线圈支架85及第二端板29为树脂制。

第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地配置。更具体地说，第三磁驱动电路8中使用的第三线圈81是具有沿y方向延伸的第三有效边部分811、812(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第三线圈支架85的第三框部86形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第三开口部87，第三线圈81通过粘接等固定于第三开口部87的内侧。

在第三线圈支架85中，相对于第三框部86在z方向的一侧z1，在与第三开口部87的y方向的两端部重叠的位置形成有第三座部881、882，所述第三座部881、882在z方向的一侧z1支承在第三线圈81的两端部沿x方向延伸的第三无效边部分813、814(短边部分)。第三座部881、882从第三框部86突出到z方向的一侧z1，且由第三开口部87的y方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第三框部86的z方向的另一侧z2的面上，从第三开口部87朝向x方向的另一侧x2且y方向的一侧y1延伸出槽861，所述槽861是用于使第三线圈81的卷绕开始的引出部分以及卷绕结束的引出部分穿过的导向槽。第三框部86的厚度(z方向的尺寸)大于第三线圈的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第三线圈81被收纳在第三开口部87的内侧的状态下，第三线圈81不从第三框部86向z方向的另一侧z2突出。

第三磁铁821、822分别具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第三磁铁821、822分别在x方向上磁化，n极及s极分别与第三线圈81的第三有效边部分811、812对置。因此，当对第三线圈81通电时，第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在本实施方式中，第三磁铁821在与第一磁驱动电路6的第一磁铁621相同的方向上磁化，第三磁铁822在与第一磁驱动电路6的第一磁铁622相同的方向上磁化。

在第三磁驱动电路8中，第三轭84包含：相对于第三线圈81配置于z方向的一侧z1的轭板841、和相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的轭板842。轭板842具有：用z方向的一侧z1的面保持第三磁铁821的平板状的磁铁保持部842a、和从磁铁保持部842a的x方向的两端部朝向z方向的一侧z1弯曲的侧板部842b、842c。轭板841具有：用z方向的一侧z1的面保持第三磁铁822的平板状的磁铁保持部841a、和从磁铁保持部841的x方向的两端部朝向x方向的一侧x1及另一侧x2突出的连接板部841b、841c。在本实施方式中，轭板842的侧板部842b的前端部和轭板841的连接板部841b的前端部通过焊接、铆接等连接，轭板842的侧板部842c的前端部和轭板841的连接板部841c的前端部通过焊接、铆接等连接。

此外，在轭板841及轭板742上形成有孔841e、742e，轭板841和轭板742以孔841e、742e为基准定位之后，在孔841e、742e的内部通过焊接、铆接等连接。

(磁驱动电路的磁中心和可动体3的重心的位置关系)

在这样构成的致动器1中，第一线圈61、第二线圈71、第三线圈81、第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85构成为：以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第一磁铁621、622、第二磁铁721、722、第三磁铁821、822、第一轭64、第二轭74以及第三轭84构成为：以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第二线圈71配置于可动体3的z方向的中心，第二磁铁721、722配置为以第二线圈71为中心在z方向上面对称。另外，第一磁铁621、622及第一轭64配置为相对于第三磁铁821、822及第三轭84以第二线圈71为中心在z方向上面对称。

因此，第二磁驱动电路7的磁中心位置(驱动中心)，处于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。另外，将第一磁驱动电路6的磁性中心位置和第三磁驱动电路8的磁性中心位置合成而获得的性中心位置，处于在z方向、x方向以及y方向与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。

(基本动作)

在本实施方式的致动器1中，向第一线圈61及第三线圈81施加交流电，另一方面，当停止向第二线圈71通电时，可动体3向x方向振动，因此，致动器1的重心向x方向变动。因此，用户可以感受x方向的振动。此时，如果调节施加于第一线圈61及第三线圈81的交流波形，使可动体3向x方向的一侧x1移动的加速度和可动体3向x方向的另一侧x2移动的加速度不同，则用户可以感受在x方向上具有方向性的振动。

另外，向第二线圈71施加交流电，另一方面，停止向第一线圈61及第三线圈81通电。其结果是，由于可动体3向y方向振动，所以致动器1的重心向y方向变动。因此，用户可以感受y方向的振动。此时，如果调节施加于第二线圈71的交流波形，从而使可动体3向y方向的一侧y1移动的加速度和可动体3向第三方向的另一侧y2移动的加速度不同，则用户可以感受在y方向上具有方向性的振动。

另外，如果将对第一线圈61及第三线圈81的通电和对第二线圈71的通电组合，则用户可以获得组合了x方向上的振动和y方向上的振动的感受。另外，当对第一线圈61和第三线圈81施加反相交流电时，在可动体3上施加绕沿z方向延伸的中心轴线的力偶，因此，用户可以获得更复杂的感受。

(止动机构)

在本实施方式的致动器1中，设置有图3及图4所示的止动机构，使得当可动体3相对于支承体2过度移动时，强度较弱的部位不抵接。更具体地说，如图4所示，第一线圈支架65的第一座部681位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第一磁铁621对置的位置，第一线圈支架65的第一座部682位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第一磁铁621对置的位置。另外，第三线圈支架85的第三座部881位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置，第三线圈支架85的第三座部882位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置。在本实施方式中，第一座部681、682的在y方向上与第一磁铁621对置的侧端部作为第一止动部683、684起作用。另外，第三座部881、882的在y方向上与第三磁铁821对置的侧端部作为第三止动部883、884起作用。因此，由第二磁驱动电路7沿y方向驱动可动体3时的可动体3向y方向的可动范围由止动机构来限制，所述止动机构包括：由第一磁驱动电路6的第一磁铁621和第一线圈支架65的第一座部681、682(第一止动部683、684)构成的止动机构、以及由第三磁驱动电路8的第三磁铁821和第三线圈支架85的第三座部881、882(第三止动部883、884)构成的止动机构。

在本实施方式中，第一止动部683、684位于比第一线圈61的第一无效边部分613、614的内缘靠第一磁铁621侧。因此，即使在第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分例如从第一无效边部分613的内缘穿过第一线圈61和第一座部681之间的情况下，也不易产生第一磁铁621与第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。另外，第三止动部883、884位于比第三线圈81的第三无效边部分813、814的内缘靠第三磁铁821侧。因此，即使在第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分例如从第三无效边部分813的内缘穿过第三线圈81和第三座部881之间的情况下，也不易产生第三磁铁821与第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

另外，如图3所示，第二线圈支架75的第二座部781位于第二磁驱动电路7的在x方向的一侧x1隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置，第二线圈支架75的第二座部782位于在x方向的另一侧x2隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置。在本实施方式中，第二座部781及第二座部782的在x方向上与第二磁铁721对置的侧端部作为第二止动部783、784起作用。因此，由第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8沿x方向驱动可动体3时的可动范围由止动机构限制，所述止动机构包括：第二磁驱动电路7的第二磁铁721、和第二线圈支架75的第二座部781、782(第二止动部783、784)。

在本实施方式中，第二止动部783、784位于比第二线圈71的第二无效边部分713、714的内缘靠第二磁铁721侧。因此，即使在第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分例如从第二无效边部分713的内缘穿过第二线圈71和第二座部781之间的情况下，也不易产生第二磁铁721与第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

(本实施例的主要效果)

如上所述，在本实施方式的致动器1中，设置有使可动体3沿x方向振动的第一磁驱动电路6、使可动体3沿y方向振动的第二磁驱动电路7以及使可动体3沿x方向振动的第三磁驱动电路8，因此，可以使可动体3沿x方向及y方向振动。因此，可以使用户感受x方向的振动、y方向的振动以及组合了x方向的振动和y方向的振动的振动。另外，由于第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8沿z方向重叠配置，因此，从z方向观察致动器1时的尺寸(平面面积)较小。因此，本实施方式的致动器1适合于安装在手持控制器等设备上。此外，针对使可动体3沿y方向振动的第二磁驱动电路7，在z方向的两侧设置有使可动体3沿x方向振动的第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8，因此，在使可动体3沿x方向振动时，难以发生可动体3倾斜等情况。

另外，可动体3相对于支承体2向x方向及y方向的可动范围由止动机构限制，所述止动机构包括：在第一线圈支架65和第一磁铁621之间构成的止动机构、在第二线圈支架75和第二磁铁721之间构成的止动机构、以及在第三线圈支架85和第三磁铁821之间构成的止动机构。根据这样的止动机构，则可以设置于在z方向上与第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7及第三磁驱动电路8重叠的位置。因此，可以缩小从z方向观察时的致动器1的平面面积。

另外，由于沿x方向驱动可动体3的第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8中使用的第一磁铁621及第三磁铁821，在y方向的尺寸比x方向的尺寸短，因此，利用第一磁铁621及第三磁铁821的y方向的两侧的空间构成限制可动体3向y方向的可动范围的止动机构。另外，由于沿y方向驱动可动体3的第二磁驱动电路7中使用的第二磁铁721，在x方向的尺寸比y方向的尺寸短，因此，利用第二磁铁721的x方向的两侧的空间构成限制可动体3向x方向的可动范围的止动机构。因此，容易将止动机构设置于相对于第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7及第三磁驱动电路8在z方向上重叠的位置。

另外，利用支承第一线圈61的第一线圈支架65的第一座部681、682构成第一止动部683、684，利用支承第二线圈71的第二线圈支架75的第二座部781、782构成第二止动部783、774，利用支承第三线圈81的第三线圈支架85的第三座部881、882构成第三止动部883、874。因此，无需在第一线圈支架65、第二线圈支架75及第三线圈支架85上设置与第一座部681、682、第二止动部783、774及第三座部881、882不同的凸部(止动部)。因此，能够简化第一线圈支架65、第二线圈支架75及第三线圈支架85的结构。

另外，第二磁驱动电路7的磁中心位置(驱动点)，位于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。另外，合成第一磁驱动电路6的磁中心位置(驱动点)和第三磁驱动电路8的磁中心位置(驱动点)而获得的磁中心位置，位于在z方向、x方向以及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。因此，在使可动体3沿x方向及y方向振动时，难以发生可动体3倾斜等情况。

另外，在支承体2上，将第一线圈支架65、第二线圈支架75及第三线圈支架85从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置，且在z方向上相邻的线圈支架彼此连接。因此，可以将第一线圈支架65、第二线圈支架75及第三线圈支架85作为一体的线圈支架用于支承体2。此时，因为由第一线圈支架65的第一柱状部69、第二线圈支架75的第二柱状部79以及第三线圈支架85的第三柱状部89连接，所以能够在确保在第一线圈61、第二线圈71以及第三线圈各自之间配置磁铁、轭的空间的状态下，将第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85一体化。

另外，在可动体3上，由于多个轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)在z方向上相邻的轭彼此被连接，所以可以将多个轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)作为一体的轭用于可动体3。

另外，弹性部件4是具备粘弹性的粘弹性部件，设置于相对于可动体3的z方向的一侧z1及相对于可动体3的z方向的另一侧z2中的每一侧。因此，在可动体3相对于支承体2沿x方向及y方向振动时，弹性部件4沿与伸缩方向正交的剪切方向变形。因此，弹性部件4在高线性范围内变形，因此，可以获得线性良好的振动特性。

即，弹性部件4(第一弹性部件41及第二弹性部件42)是粘弹性部件(板状的凝胶状减振部件)，根据其伸缩方向，具备线性或非线性的伸缩特性。例如，在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量比线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)拉伸而伸长的情况下，具备线性分量(弹簧系数)比非线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性。另外，在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，无论在哪个方向移动，都是被拉伸而伸长的方向的变形，因此，具有线性分量(弹簧系数)比非线性分量(弹簧系数)大的变形特性。在本实施方式中，在可动体3沿x方向及y方向振动时，弹性部件4(粘弹性部件)沿剪切方向变形。因此，在弹性部件4中，在可动体3沿x方向及y方向振动时，运动方向形成的弹力是恒定的。因此，通过使用弹性部件4的剪切方向的弹簧要素，可以提高振动加速度相对于输入信号的再现性，因此，可以以微妙的细微差异实现振动。

另外，弹性部件4被安装为在可动体3和支承体2之间沿第一方向z伸缩，当弹性部件4在可动体3和支承体2之间沿厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量(弹簧系数)比线性分量(弹簧系数)大的伸缩特性。因此，在与可动体3的驱动方向正交的z方向上，可以抑制弹性部件4大幅变形，因此，可以抑制可动体3和支承体2的间隙大幅变化。

另外，第一弹性部件41的z方向的两面分别通过粘接等方法与可动体3及第一端板28连接，第二弹性部件42的z方向的两面分别通过粘接等方法与可动体3及第二端板29连接。因此，弹性部件4可靠地追随可动体3的移动，所以可以有效地防止可动体3的谐振。

另外，由第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8向x方向驱动可动体3时的可动范围由止动机构限制，所述止动机构包括：第二磁驱动电路7的第二磁铁721、和第二线圈支架75的第二座部781、782。另外，由第二磁驱动电路7向y方向驱动可动体3时的可动体3向y方向的可动范围由止动机构限制，所述制动机构包括：由第一磁驱动电路6的第一磁铁621和第一线圈支架65的第一座部681、682构成的止动机构、以及由第三磁驱动电路8的第三磁铁821和第三线圈支架85的第三座部881、882构成的止动机构。因此，即使在可动体3过度移动的情况下，强度较弱的部位彼此也很难抵接，因此，致动器1的可靠性高。

[第二实施方式]

参照图10～图17对本发明的第二实施方式的致动器1进行说明。此外，由于本实施方式的基本构成与第一实施方式相同，因此，在对应的部分标注相同的符号进行说明。

(整体构成)

图10是本发明的第二实施方式的致动器1的立体图。图11是将图10所示的致动器1沿z方向及x方向切断时的说明图。图12是将图10所示的致动器1沿z方向及y方向切断时的说明图。图13是将图10所示的第一端板28及第二端板29卸下的状态的致动器1的分解立体图。

如图10所示，本实施方式的致动器1具有长方体形状的本体部分10，在本体部分10的y方向的一侧y1的面上粘贴有由柔性配线基板构成的配线基板16。在配线基板16上形成有多个电极161及配线图案162，后文中描述的线圈的端部与所述电极161连接。

如图11、图12以及图13所示，致动器1具有：支承体2、可动体3、以及配置于支承体2和可动体3之间的弹性部件4，可动体3被支承体2支承为能够经由弹性部件4在z方向、x方向及y方向上移动。另外，致动器1具有：相对于支承体2向x方向及y方向驱动可动体3使其振动的多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)。

支承体2在z方向的一侧z1的端部及另一侧z2的端部，具有第一端板28及第二端板29。第一端板28在z方向的一侧z1与可动体3对置，在可动体3和第一端板28之间配置有第一弹性部件41(弹性部件4)。第二端板29在z方向的另一侧z2与可动体3对置，在可动体3和第二端板29之间配置有第二弹性部件42(弹性部件4)。

在本实施方式中，弹性部件4是具备粘弹性的粘弹性体，在本实施方式中，使用板状的凝胶状减振部件作为弹性部件4(粘弹性体)。第一弹性部件41的z方向的两面分别通过粘接等方法连接到可动体3及第一端板28。第二端板29是，第二弹性部件42的z方向的两面分别通过粘接等方法连接到可动体3及第二端板29。

凝胶状减振部件根据其伸缩方向具备线性或非线性的伸缩特性。例如，板状的凝胶状减振部件在沿其厚度方向(轴向)被按压而压缩变形时，具备非线性分量比线性分量大的伸缩特性，另一方面，在沿厚度方向(轴向)被拉伸而伸长的情况下，具备线性分量比非线性分量大的伸缩特性。另外，在沿与厚度方向(轴向)交叉的方向(剪切方向)变形的情况下，也具备线性分量比非线性分量大的变形特性。在本实施方式中，在可动体3沿x方向及y方向振动时，弹性部件4(粘弹性体)沿剪切方向变形。

多个磁驱动电路(第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8)均具有：线圈、和与各线圈对置的磁铁。线圈设置于支承体2及可动体3的一侧部件上，磁铁设置于另一侧部件上。在本实施方式中，如下所述，线圈(第一线圈61、第二线圈71以及第三线圈81)及线圈支架(第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85)设置于支承体2上。另外，在可动体3上设置有磁铁(第一磁铁622、第二磁铁721、722以及第三磁铁821)及轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)。另外，第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。

(驱动回路的构成)

图14是将图10所示的致动器1中使用的磁驱动电路分解时的分解立体图。如图11、图12、图13以及图14所示，第一磁驱动电路6具有：第一线圈61、在z方向的另一侧z2与第一线圈61对置的第一磁铁622。第二磁驱动电路7具有：第二线圈71、在z方向的一侧z1与第二线圈71对置的第二磁铁721、以及在z方向的另一侧z2与第二线圈71对置的第二磁铁722。第三磁驱动电路8具有：第三线圈81、和在z方向的一侧z1与第三线圈81对置的第三磁铁821。

为了在z方向重叠配置这样构成的第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8，支承体2具有：保持第一线圈61的第一线圈支架65、保持第二线圈71的第二线圈支架75、以及保持第三线圈81的第三线圈支架85，第一线圈支架65、第二线圈支架75及第三线圈支架85从z方向的一侧z1向另一侧z2依次重叠配置。另外，第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85的在z方向上相邻的线圈支架彼此连接。

另外，可动体3具备：相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1并且第一线圈61和第二线圈71之间、第二线圈71和第三线圈81之间以及相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的多个轭(第一轭64、第二轭74以及第三轭84)，第一磁铁622、第二磁铁721、722及第三磁铁821分别保持于多个轭中的任何一个上。另外，多个轭的在z方向上相邻的轭彼此连接。

在本实施方式中，在多个轭中包含：相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1的第一轭64(轭板641)、相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二轭74(轭板741、742)以及相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的第三轭84。在此，第二轭74保持相对于第二线圈71配置于z方向的两侧的第二磁铁721、722。另外，第二轭74保持在z方向的另一侧z2与第一线圈61对置的第一磁铁622及在z方向的一侧z1与第三线圈81对置的第三磁铁821。因此，第一轭64及第三轭84不保持磁铁。

(第一磁驱动电路6的详细构成)

图15是图14所示的第一磁驱动电路6的分解立体图。如图13、图14以及图15所示，第一线圈支架65具备：在内侧保持第一线圈61的第一框部66、和从第一框部66的端部(四个角)朝向z方向的两侧突出的多个第一柱状部69。第一柱状部69与第一端板28连接。第一线圈支架65为树脂制或金属制。在本实施方式中，第一线圈支架65及第一端板28为树脂制。

第一磁驱动电路6中使用的第一线圈61是具有向y方向延伸的第一有效边部分611、612(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第一线圈支架65的第一框部66形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第一开口部67，第一线圈61通过粘接等固定在第一开口部67的内侧。

在第一线圈支架65中，相对于第一框部66在z方向的另一侧z2，在与第一开口部67的y方向的两端部重叠的位置形成有第一座部681、682，所述第一座部681、682在z方向的另一侧z2支承在第一线圈61的两端部沿y方向延伸的第一无效边部分613、614(短边部分)。第一座部681、682从第一框部66向z方向的另一侧z2突出，由第一开口部67的x方向的两端部构成z方向的另一侧z2的底部。此外，在第一框部66的z方向的一侧z1的面上，凹部(未图示)从第一开口部67延伸至边缘，所述凹部是用于使第一线圈61的卷绕开始的引出部分穿过的导向部。第一框部66的厚度(z方向的尺寸)大于第一线圈61的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第一线圈61被收纳于第一开口部67的内侧的状态下，第一线圈61不从第一框部66向z方向的一侧z1突出。

第一磁铁622具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第一磁铁622在x方向上被分极磁化，n极及s极分别与第一线圈61的第一有效边部分611、612对置。因此，当对第一线圈61通电时，第一磁驱动电路6产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在第一磁驱动电路6中，第一轭64包含：相对于第一线圈61配置于z方向的一侧z1的轭板641。轭板641具有：从x方向的两端部朝向z方向的另一侧z2弯曲的侧板部641b、641c，在侧板部641b、641c的前端形成有凹部。

(第二磁驱动电路7的详细构成)

图16是图14所示的第二磁驱动电路7的分解立体图。如图13、图14及图16所示，第二线圈支架75具备：在内侧保持第二线圈71的第二框部76和从第二框部76的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第二柱状部79。第二柱状部79与在z方向的一侧z1相邻的第一线圈支架65的第一柱状部69连接。第二线圈支架75为树脂制或金属制。在本实施方式中，第二线圈支架75为树脂制。

第二磁驱动电路7中使用的第二线圈71是具有沿x方向延伸的第二有效边部分711、712(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第二线圈支架75的第二框部76形成有使长径方向朝向x方向的椭圆形状的第二开口部77，第二线圈71通过粘接等固定在第二开口部77的内侧。

在第二线圈支架75中，相对于第二框部76在z方向的一侧z1，在与第二开口部77的x方向的两端部重叠的位置形成有第二座部781、782，所述第二座部781、782在z方向的一侧z1支承在第二线圈71的两端部沿y方向延伸的第二无效边部分713、714(短边部分)。第二座部781、782从第二框部76向z方向的一侧z1突出，由第二开口部77的x方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第二框部76中，凹部762从第二开口部77朝向边缘延伸，所述凹部762是使第二线圈71的卷绕开始的引出部分穿过的导向槽。第二框部76的厚度(z方向的尺寸)大于第二线圈71的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第二线圈71被收纳在第二开口部77的内侧的状态下，第二线圈71不从第二框部76向z方向的另一侧z2突出。

第二磁铁721、722分别具有长方形的平面形状，长边沿y方向延伸，短边沿y方向延伸。第二磁铁721、722分别在y方向上被分极磁化，n极及s极分别与第二线圈71的第二有效边部分711、712对置。因此，当对第二线圈71通电时，第二磁驱动电路7产生沿y方向驱动可动体3的驱动力。在第二磁驱动电路7中，第二轭74包含：相对于第二线圈71配置于z方向的一侧z1的轭板741、和相对于第二线圈71配置于z方向的另一侧z2的轭板742。轭板742具有：用z方向的一侧z1的面保持第二磁铁722的平板状的磁铁保持部742a、从磁铁保持部742a的y方向的两端部朝向z方向的一侧z1弯曲的侧板部742b、742c、以及从磁铁保持部742a的x方向的两端部突出到x方向的两侧的连接板部742f、742g。在侧板部742b、742c的前端部形成有凸部，在连接板部742f、742g的前端部形成有缺口。在本实施方式中，第三磁驱动电路8的第三磁铁821保持在轭板742的磁铁保持部742a的z方向的另一侧z2的面上。

轭板741具有：用z方向的另一侧z2的面保持第二磁铁721的平板状的磁铁保持部741a、从磁铁保持部741a的y方向的两端部向y方向的一侧y1及另一侧y2突出的连接板部741b、741c、及从磁铁保持部741a的x方向的两端部向x方向的一侧y1及另一侧y2突出的连接板部741f、741g。在连接板部741b、741c、741f、741g的前端部形成有缺口。在本实施方式中，第三磁驱动电路8的第三磁铁821保持在轭板742的磁铁保持部742a的z方向的另一侧z2的面。

在本实施方式中，在形成于轭板742的侧板部742b的前端部的凸部嵌入形成于轭板741的连接板部741b的前端部的缺口的状态下，侧板部742b的前端部和连接板部741b的前端部通过焊接、铆接等连接。另外，在形成于轭板742的侧板部742c的前端部的凸部嵌入形成于轭板741的连接板部741c的前端部的缺口状态下，侧板部742c的前端部和连接板部741c的前端部通过焊接、铆接等连接。

另外，在形成于图15所示的轭板641的侧板部641b的前端部的凸部嵌入形成于轭板741的连接板部741f的前端部的缺口内的状态下，侧板部641b的前端部和连接板部741f的前端部通过焊接、铆接等连接。另外，在形成于图15所示的轭板641的侧板部641c的前端部的凸部嵌入形成于轭板741的连接板部741g的前端部的缺口内的状态下，侧板部641c的前端部和连接板部741g的前端部通过焊接、铆接等连接。

(第三磁驱动电路8的详细构成)

图17是图14所示的第三磁驱动电路8的分解立体图。如图13、图14以及图17所示，第三线圈支架85具备：在内侧保持第三线圈81的第三框部86、和从第三框部86的端部(四个角)向z方向的两侧突出的多个第三柱状部89。第三柱状部89与在z方向的一侧z1相邻的第二线圈支架75的第二柱状部79连接。另外，第三柱状部89与第二端板29连接。第三线圈支架85为树脂制或金属制。在本实施方式中，第三线圈支架85及第二端板29为树脂制。

第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地配置。更具体地说，第三磁驱动电路8中使用的第三线圈81是具有向y方向延伸的第三有效边部分(长边部分)的椭圆形状的空心线圈。对应于所述形状，在第三线圈支架85的第三框部86形成有使长径方向朝向y方向的椭圆形状的第三开口部87，第三线圈81通过粘接等固定于第三开口部87的内侧。

在第三线圈支架85中，相对于第三框部86在z方向的一侧z1，在与第三开口部87的y方向的两端部重叠的位置形成有第三座部881、882，所述第三座部881、882在z方向的一侧z1支承在第三线圈81的两端部向x方向延伸的第三无效边部分813、814(短边部分)。第三座部881、882从第三框部86突出到z方向的一侧z1，且由第三开口部87的y方向的两端部构成z方向的一侧z1的底部。在第三框部86中，从第三开口部87朝向边缘延伸出凹部862，所述凹部862是用于使第三线圈81的卷绕开始的引出部分穿过的导向部。第三框部86的厚度(z方向的尺寸)大于第三线圈81的厚度(z方向的尺寸)。因此，在第三线圈81被收纳于第三开口部87的内侧的状态下，第三线圈81不从第三框部86向z方向的另一侧z2突出。

第三磁铁821具有长方形的平面形状，长边沿x方向延伸，短边沿y方向延伸。第三磁铁821在x方向上磁化，n极及s极分别与第三线圈81的第三有效边部分811、812对置。因此，当对第三线圈81通电时，第三磁驱动电路8与第一磁驱动电路6同样地产生沿x方向驱动可动体3的驱动力。在本实施方式中，第三磁铁821在与第一磁驱动电路6的第一磁铁622相同的方向上磁化。

在第三磁驱动电路8中，第三轭84包含：相对于第三线圈81配置于z方向的另一侧z2的轭板842。轭板842具有：从x方向的两端部朝向z方向的一侧z1弯曲的侧板部842b、842c，在侧板部842b、842c的前端部形成有凸部。在本实施方式中，在形成于轭板842的侧板部842b的前端部的凸部嵌入形成于轭板742的连接板部742f的前端部的缺口的状态下，侧板部842b的前端部和连接板部742f的前端部通过焊接、铆接等连接。另外，在形成于轭板842的侧板部842c的前端部的凸部嵌入形成于轭板742的连接板部742g的前端部的缺口的状态下，侧板部842c的前端部和连接板部742g的前端部通过焊接、铆接等连接。

(磁驱动电路的磁中心和可动体3的重心的位置关系)

在这样构成的致动器1中，第一线圈61、第二线圈71、第三线圈81、第一线圈支架65、第二线圈支架75以及第三线圈支架85构成为：以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第一磁铁622、第二磁铁721、722、第三磁铁821、第一轭64、第二轭74以及第三轭84构成为：以穿过可动体3的x方向的中心并沿y方向延伸的虚拟线为中心的线对称、且以穿过y方向的中心并沿x方向延伸的虚拟线为中心的线对称。另外，第二线圈71配置于可动体3的z方向的中心，第二磁铁721、722配置为以第二线圈71为中心在z方向上面对称。另外，第一磁铁622及第一轭64配置为相对于第三磁铁821及第三轭84以第二线圈71为中心在z方向上面对称。

因此，第二磁驱动电路7的磁中心位置(驱动中心)，处于在z方向、x方向及y方向上与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。另外，将第一磁驱动电路6的磁中心位置和第三磁驱动电路8的磁中心位置合成而获得的磁中心位置，处于在z方向、x方向及y方向与可动体3的重心一致的位置或大致一致的位置。

(基本动作)

在本实施方式的致动器1中，向第一线圈61及第三线圈81施加交流电，另一方面，当停止向第二线圈71的通电时，可动体3向x方向振动，因此，致动器1的重心向x方向变动。因此，用户可以感受x方向的振动。此时，如果调节施加于第一线圈61及第三线圈81的交流波形，使可动体3向x方向的一侧x1移动的加速度和可动体3向第二方向的另一侧x2移动的加速度不同，则用户可以感受在x方向上具有方向性的振动。

另外，向第二线圈71施加交流电，另一方面，停止向第一线圈61及第三线圈81通电。其结果是，由于可动体3向y方向振动，所以致动器1的重心向y方向变动。因此，用户可以感受y方向的振动。此时，如果调节施加于第二线圈71的交流波形，从而使可动体3向y方向的一侧y1移动的加速度和可动体3向第三方向的另一侧y2移动的加速度不同，则用户可以感受在y方向上具有方向性的振动。

另外，如果将对第一线圈61及第三线圈81的通电和对第二线圈71的通电组合，则用户能够获得组合了x方向上的振动和y方向上的振动的感受。另外，当对第一线圈61和第三线圈81施加反相交流电时，在可动体3上施加绕向z方向延伸的中心轴线的力偶，因此，用户可以获得更复杂的感受。

(止动机构)

在本实施方式的致动器1中，设置有图11及图12所示的止动机构，使得当可动体3相对于支承体2过度移动时，强度较弱的部位不抵接。更具体地说，如图12所示，第一线圈支架65的第一座部681位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第一磁铁622对置的位置，第一线圈支架65的第一座部682位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第一磁铁621对置的位置。另外，第三线圈支架85的第三座部881位于在y方向的一侧y1隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置，第三线圈支架85的第三座部882位于在y方向的另一侧y2隔着规定间隔与第三磁铁821对置的位置。在本实施方式中，第一座部681、682的在y方向上与第一磁铁622对置的侧端部作为第一止动部683、684起作用。另外，第三座部881、882的在y方向上与第三磁铁821对置的侧端部作为第三止动部883、884起作用。因此，由第二磁驱动电路7向y方向驱动可动体3时的可动体3向y方向的可动范围被止动机构限制，所述止动机构包括：由第一磁驱动电路6的第一磁铁622和第一线圈支架65的第一座部681、682(第一止动部683、684)构成的止动机构、及由第三磁驱动电路8的第三磁铁821和第三线圈支架85的第三座部881、882(第三止动部883、884)构成的止动机构。

在本实施方式中，第一止动部683、684位于比第一线圈61的第一无效边部分613、614的内缘靠第一磁铁621侧的位置。因此，即使在第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分例如从第一无效边部分613的内缘穿过第一线圈61和第一座部681之间的情况下，也不易产生第一磁铁621与第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第一线圈61的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。另外，第三止动部883、884位于比第三线圈81的第三无效边部分813、814的内缘靠第三磁铁821侧的位置。因此，即使在第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分例如从第三无效边部分813的内缘穿过第三线圈81和第三座部881之间的情况下，也不易产生第三磁铁821与第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第三线圈81的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

另外，如图11所示，第二线圈支架75的第二座部781位于第二磁驱动电路7的在x方向的一侧x1隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置，第二线圈支架75的第二座部782位于在x方向的另一侧x2隔着规定间隔与第二磁铁721对置的位置。在本实施方式中，第二座部781及第二座部782的在x方向上与第二磁铁721对置的侧端部作为第二止动部783、784起作用。因此，由第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8沿x方向驱动可动体3时的可动范围被止动机构限制，所述止动机构包括：第二磁驱动电路7的第二磁铁721、和第二线圈支架75的第二座部781、782(第二止动部783、784)。

在本实施方式中，第二止动部783、784位于比第二线圈71的第二无效边部分713、714的内缘靠第二磁铁721侧的位置。因此，即使在第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分例如从第二无效边部分713的内缘穿过第二线圈71和第二座部781之间的情况下，也不易产生第二磁铁721与第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分接触的情况。因此，不易产生第二线圈71的卷绕开始侧的引出部分断线的情况。

(本实施例的主要效果)

如上所述，在本实施方式的致动器1中，与第一实施方式同样，由于第一磁驱动电路6、第二磁驱动电路7以及第三磁驱动电路8沿z方向重叠配置，因此，从z方向观察致动器1时的尺寸(平面面积)较小。从而，本实施方式的致动器1适合于安装在手持控制器等设备上。此外，针对使可动体3向y方向振动的第二磁驱动电路7，在z方向的两侧设置有使可动体3向x方向振动的第一磁驱动电路6及第三磁驱动电路8，因此，可以获得与第一实施方式相同的效果，在使可动体3沿x方向振动时，难以发生可动体3倾斜等情况。

另外，在本实施方式中，在第二磁驱动电路7中，由保持第二磁铁721的第二轭74的轭板741，来保持第二磁驱动电路7的第一磁铁622。另外，在第二磁驱动电路7中，由保持第二磁铁722的第二轭74的轭板742，来保持第三磁驱动电路8的第三磁铁821。因此，可以减少轭板的数量，所以可以消减零件数量，减轻致动器1的重量。另外，可以压缩致动器1的高度(z方向的尺寸)。

[其它实施方式]

在上述第二实施方式中，在第一磁驱动电路6中使用一个第一磁铁622，第三磁驱动电路8中使用一个第三磁铁821，但也可以如同于第一实施方式，在第一磁驱动电路6中，将第一磁铁621、622配置在第一线圈61的z方向的两侧，在第三磁驱动电路8中，将第三磁铁821、822配置在第三线圈81的z方向的两侧。

在上述的第一与第二实施方式中，将弹性部件4(粘弹性部件)配置于可动体3的z方向的两侧，但也可以将弹性部件4(粘弹性部件)配置于可动体3的x方向的两侧及可动体3的y方向的两侧。另外，在上述的第一与第二实施方式中，作为弹性部件4使用了凝胶状减振部件，但也可以将橡胶或弹簧等用作弹性部件4。作为凝胶状部件(凝胶状减振部件)，可以例示硅系凝胶。更具体地说，作为弹性部件4，可以使用针入度为10度～110度的硅系凝胶。针入度在jis－k－2207及jis－k－2220中规定，意味着所述值越小越硬。

另外，粘弹性是指粘性和弹性两者的综合性质，是在凝胶状部件、塑料、橡胶等高分子物质中明显观察到的性质。因此，作为具备粘弹性的弹性部件4，也可以使用天然橡胶、二烯橡胶(例如，苯乙烯-丁二烯橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶)、氯丁橡胶、丙烯腈-丁二烯橡胶等)、非二烯橡胶(例如，丁基橡胶、乙烯-丙烯橡胶、乙烯-丙烯-二烯橡胶、聚氨酯橡胶、硅橡胶、氟橡胶等)、热塑性弹性体等的各种橡胶材料以及它们的改性材料。

另外，在上述的第一与第二实施方式中，通过粘接等将第一弹性部件41的z方向的两面分别与可动体3及第一端板28连接，通过粘接将第二弹性部件42的z方向的两面分别与可动体3及第二端板29连接时，弹性部件4(第一弹性部件41及第二弹性部件42)处于在支承体2和可动体3之间沿z方向被压缩的状态。因此，弹性部件4可靠地追随可动体3的移动，因此，可以有效地防止可动体3的谐振。

在上述第一与第二实施方式中，线圈及线圈支架设置于支承体2上，磁铁及轭被设置于可动体3上，但在线圈及线圈支架设置于可动体3上并且磁铁及轭设置于支承体2上的情况下，也可以应用本发明。

产业上的可利用性

在本发明中，可动体相对于支承体在第二方向及第三方向上的可动范围由在第一线圈支架和第一磁铁之间构成的止动机构及在第二线圈支架和第二磁铁之间构成的止动机构限制，根据所述止动机构，可以设置于在第一方向上与第一磁驱动电路、第二磁驱动电路重叠的位置。因此，可以缩小从第一方向观察时的致动器的平面面积。另外，在本发明中，由于向第二方向驱动可动体的第一磁驱动电路中使用的第一磁铁第三方向的尺寸比第二方向的尺寸短，所以利用第一磁铁的第三方向的两侧的空间构成限制可动体在第三方向上的可动范围的止动机构。另外，由于向第三方向驱动可动体的第二磁驱动电路中使用的第二磁铁第二方向的尺寸比第三方向的尺寸短，所以利用第二磁铁的第二方向的两侧的空间构成限制可动体在第二方向上的可动范围的止动机构。因此，容易将止动机构设置于在第一方向上与第一磁驱动电路、第二磁驱动电路重叠的位置。