专利名称：弹性波滤波装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具备在压电基板上形成至少3个IDT的纵耦合谐振器型的弹性波滤波 部的弹性波滤波装置，更详细地说，涉及具有平衡-不平衡变换功能的纵耦合谐振器型的 弹性波滤波装置。
背景技术：
一直以来，在移动电话机的带通滤波器等中，采用具有平衡-不平衡变换功能的 弹性表面波滤波装置。另外近年来，取代利用了弹性表面波的弹性表面波滤波装置，而关注 利用了弹性边界波的弹性边界波滤波装置。在弹性表面波滤波装置及弹性边界波滤波装置 等弹性波滤波装置具有平衡_不平衡变换功能的情况下，可省略被称为平衡_不平衡转换 器(balim)的平衡-不平衡变换功能元件。因此，能够实现部件个数的降低以及移动电话 机等的小型化。在下述专利文献1中公开了具有平衡_不平衡变换功能的弹性表面波滤波装置。 如图19所示，专利文献1所述的弹性表面波滤波装置1001在具有上方打开的开口 1002a 的封装1002内存放有弹性表面波滤波元件芯片1003。弹性表面波滤波元件芯片1003在 压电基板1004上形成图示的电极构造，构成具有平衡_不平衡变换功能的弹性表面波滤波
οS卩，3IDT型的纵耦合谐振器型的弹性表面波滤波部1008经由弹性表面波谐振器 1006、1007与不平衡端子1005连接。这里，与不平衡端子1005连接的IDT是第一、第三 IDT1009、1011。并且，将第二 IDT1010配置为夹在第一、第三IDT 1009、1011之间。第二 IDT1010的一端与第一平衡端子1012连接，另一端与第二平衡端子1013连接。另一方面，与不平衡端子1005连接的IDTI009的另一端经由接地布线图案1014 连接在与接地电位连接的电极焊盘1015上。同样，一端与不平衡端子1005连接的IDT1011 的另一端通过接地布线图案1016连接在与接地电位连接的电极焊盘1017上。另一方面，在下述专利文献2中，公开了在不平衡端子和第一平衡端子之间连接 第一 3IDT型的纵耦合谐振器型弹性波滤波部，在不平衡端子和第二平衡端子之间连接第 二 3IDT型的纵耦合谐振器型弹性波滤波部，由此，实现平衡_不平衡变换功能的弹性波滤 波装置。这里记载了可通过研究接地布线来实现频带外衰减量的改善。专利文献1 日本特开2003-124782号公报专利文献2 日本专利第3918102号公报在专利文献1所述的弹性表面波滤波装置1001中，如上所述，采用一个纵耦合谐 振器型弹性波滤波部1008来实现平衡-不平衡变换功能。因此，不仅可以省略平衡_不平 衡转换器，还能够实现用于实现平衡-不平衡变换功能的电极构造的简略化。但是，在专利 文献1所述的弹性表面波滤波装置1001中，存在通带外的衰减量不具有充分大小这样的问题。另一方面，在专利文献2中示出通过研究接地布线来实现低损失化的构造。但是，在专利文献2中通过研究接地布线来改善频带外衰减量的构造不过就是在专利文献2所公 开的具备特定电极构造的滤波装置中具有效果的构造。
发明内容
本发明的目的是，为了消除上述现有技术的缺点，而提供在不平衡端子与第一、第 二平衡端子之间连接具有与不平衡端子连接的IDT和与平衡端子连接的IDT的纵耦合谐 振器型弹性波滤波部的弹性波滤波装置，提供能够实现频带外衰减量扩大的弹性波滤波装置。根据本发明，提供一种弹性波滤波装置，其具备不平衡端子和第一、第二平衡端 子，并具有平衡-不平衡变换功能，其特征是具有压电基板；纵耦合谐振器型弹性波滤波 部，其形成在上述压电基板上，与上述不平衡端子与上述第一、第二平衡端子之间连接，并 具有至少3个IDT ；第一接地布线，其形成在上述压电基板上，具有第一端部以及第二端部， 并且第一端部连接在上述至少3个IDT内的与上述第一或第二平衡端子连接的IDT的接地 侧端部；第二接地布线，其形成在上述压电基板上，具有第一、第二端部，并且第一端部连接 在与上述不平衡端子连接的IDT的接地侧端部；以及第一、第二接地用电极焊盘，其形成在 上述压电基板上，并电连接上述第一、第二接地布线的各第二端部，上述第二接地布线在从 上述第一端部朝向第二端部的中途分成第一、第二分支布线部，第一、第二分支布线部被配 置成夹着设有上述至少3个IDT的区域。在本发明的弹性波滤波装置的某特定局面下，第一、第二接地用电极焊盘由1个 电极焊盘构成。在此情况下，能够实现压电基板上的电极构造的简略化，并且实现弹性波滤 波装置的小型化。在本发明的弹性波滤波装置的其它特定局面下，上述第一接地布线具有经由绝缘 膜与上述第一分支布线部的一部分层叠的部分。在此情况下，因为第一分支布线部与第一 接地布线层叠，所以可减小在压电基板上形成含有布线的电极构造的面积，并能够促进小 型化。本发明的弹性波滤波装置可以是弹性边界波滤波装置，也可以是弹性表面波滤波 装置。在弹性边界波滤波装置的情况下，还具有层叠在上述压电基板上的电介质，在压电基 板与电介质之间形成上述至少3个IDT。(发明效果)根据本发明，在不平衡端子与第一、第二平衡端子之间连接着具有与不平衡端子 连接的IDT和与第一、第二平衡端子分别连接的平衡侧的IDT的纵耦合谐振器型弹性波 滤波部的结构中，与连接在不平衡端子上的IDT的接地侧端部连接的第二接地布线具有第 一、第二分支布线部，第一、第二分支布线部被配置为夹着设有至少3个IDT的区域，所以能 够改善第一、第二平衡端子间的差动特性。因此，能够扩大通带外的衰减量，能够实现弹性 波滤波装置的低损失化。
图1是示出本发明第一实施方式的弹性边界波滤波装置的示意俯视图。图2是示意地示出在第一实施方式的弹性边界波滤波装置中采用的1端口型弹性
4边界波谐振器的电极构造的俯视图。图3是示意地示出在第一实施方式的弹性边界波滤波装置中采用的5IDT型的纵 耦合谐振器型弹性边界波滤波部的电极构造的俯视图。图4是示出本发明第一实施方式的弹性边界波滤波装置的电路结构的示意俯视 图。图5(a)以及(b)是用于说明本发明第一实施方式的弹性边界波滤波装置立体构 造的省略图示的正面剖视图以及放大其主要部分示出的部分切掉正面剖视图。图6是用于说明为了比较而准备的尚未已知的第一比较例的弹性边界波滤波装 置的示意俯视图。图7是用于说明为了比较而准备的尚未已知的第二比较例的弹性边界波滤波装 置的示意俯视图。图8是示出第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一、第二平衡端子间 的差动特性的图。图9是示出来自第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一平衡端子的输 出特性的图。图10是示出来自第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第二平衡端子的 输出特性的图。图11是示出第一实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置的第一、第二 平衡端子间的差动特性的图。图12是示出来自第一实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一 平衡端子的输出特性的图。图13是示出来自第一实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第二 平衡端子的输出特性的图。图14(a)以及(b)是用于说明第二实施方式的弹性边界波滤波装置的示意俯视图 以及示出其主要部分的部分切掉剖视图。图15 (a)以及(b)是示出第二实施方式的弹性边界波滤波装置的变形例的弹性边 界波滤波装置的电极构造的示意俯视图以及示出其主要部分的部分切掉剖视图。图16是示出第二实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一、第 二平衡端子间的差动特性的图。图17是示出来自第二实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一 平衡端子的输出特性的图。图18是示出来自第二实施方式以及第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第二 平衡端子的输出特性的图。图19是用于说明现有弹性表面波滤波装置一例的俯视图。符号说明L···弹性边界波滤波装置2…压电基板3…不平衡端子4…第一平衡端子
5…第二平衡端子6…接地端子
7 10…凸点
11"1端口型弹性边界波谐振器
Ila-IDT
libIlc…反射器
12..纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部
13..不平衡侧信号布线
14..第一平衡侧信号布线
15..第二平衡侧信号布线
16..1端口型弹性边界波谐振器
17..第一接地布线
18..第二接地布线
18a 第一分支布线部
18b 第二分支布线部
18c 共用接地布线部分
21 --25…第一 第五IDT26、27…反射器31…电极32…电介质33…吸音膜34、35…贯通导体10L···弹性边界波滤波装置102…绝缘层11L···弹性边界波滤波装置112…绝缘层110L···弹性边界波滤波装置1102…第一接地布线1103…第二接地布线1104…连接点1105…共用接地布线1201…弹性边界波滤波装置1202…第一接地布线1203…第二接地布线
具体实施例方式以下，参照附图来说明本发明的具体实施方式
，由此使本发明更加清楚。图1是示出本发明第一实施方式的弹性边界波滤波装置的示意俯视图。在弹性边 界波滤波装置1中，在压电基板2上形成图1中示意示出的电极。在弹性边界波滤波装置
61中，在压电基板2上形成不平衡端子3、第一、第二平衡端子4、5以及接地端子6。这些端子由电极焊盘形成，在各电极焊盘上如圆所示地接合凸点(bump)7 10。下面说明该端子 以及凸点的具体构造。5IDT型的纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部12经由1端口型弹性边界波谐振器 11与不平衡端子3连接。在图1中，利用矩形块来示出1端口型弹性边界波谐振器11的位置，其电极构造 如图2所示。即，1端口型弹性边界波谐振器11具有IDTlla和配置在IDTlla两侧的反射 器 IlbUlc0另一方面，在5IDT型的纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部12中，如矩形块所示具 有配置在中央的第一 IDT21 ；配置在第一 IDT21的弹性边界波传播方向两侧的第二、第三 IDT22、23 ；配置在设有第一 第三IDT21 23的区域的边界波传播方向两侧的第四、第五 IDT24、25 ；以及配置在设有IDT21 25的区域的边界波传播方向两侧的反射器26、27。在 图1中，这些电极分别用矩形块来示出，不过其详细内容如图3所示。在本实施方式的弹性边界波滤波装置1中，共用连接上述第一、第四以及第五 IDT21、24、25的各一端，并经由1端口型弹性边界波谐振器11与不平衡端子3连接。因此， 第一、第四以及第五IDT21、24、25是不平衡侧的IDT。这里，将连接不平衡端子3和IDT21、 24以及25的共用连接点的、用虚线示出的布线图案作为不平衡侧信号布线13。另一方面，第二 IDT22的一端通过用虚线示出的平衡侧信号布线14与第一平衡端 子4连接。同样，第三IDT23的一端通过用虚线示出的第二平衡侧信号布线15与第二平衡 端子5电连接。而且，1端口型弹性边界波谐振器16与第一、第二平衡侧信号布线14、15之 间连接。1端口型弹性边界波谐振器16具有与1端口型弹性边界波谐振器11同样的电极 构造。另一方面，与分别连接在第一、第二平衡端子4、5上的第二、第三IDT22、23的接地 电位连接的端部之间通过第一接地布线17共用连接、且与接地端子6连接。S卩，第一接地 布线17的第一端部与IDT22、23的接地侧端部连接，第二端部与接地端子6连接。另一方面，在本实施方式中，共用连接不平衡侧的IDT即IDT21、24、25的接地侧端 部，并与第二接地布线18连接。本实施方式的特征为，该第二接地布线18具有第一、第二分支布线部18a、18b，第 一、第二分支布线部18a、18b被配置为夹着设有IDT21 25的区域，以使通过其两侧，且与 相同的接地端子6电连接。更具体地说，第二接地布线18在第一端部侧与IDT21、24、25连接，并从第一端部 侧朝着相反侧的第二端部，分支到第一分支布线部18a和第二分支布线部18b。为了明确定义第一、第二分支布线部18a、18b，将共用连接第一、第四以及第五 IDT21、24、25的接地侧端部的接地布线部分设为共用接地布线部分18c。共用接地布线部 分18c包含第二接地布线18的上述第一端部，该共用接地布线部分18c是从与第四IDT24 的接地侧端部连接的部分到达与第五IDT25的接地侧端部连接的部分。因此，第一分支布 线部18a通过设置有反射器26的部分的外侧，从共用接地布线部分18c的一端向接地端子 6延伸。另一方面，第二分支布线部18b通过设置有反射器27的部分的外侧从共用接地布 线部分18c的另一端向接地端子6延伸。然后，第一、第二分支布线部18a、18b的端部即第二接地布线18的第二端部与接地端子6连接。在本实施方式中，如上所述地形成第二接地布线18，所以能够实现频带外衰减量 的扩大。在压电基板2上形成上述电极构造，由此，在本实施方式中，形成图4所示的滤波 电路。即，形成在不平衡端子3和第一、第二平衡端子4、5之间连接5IDT型的纵耦合谐振 器型弹性边界波滤波部12的具有平衡_不平衡变换功能的弹性边界波滤波装置，该5IDT 型的纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部12具有与不平衡端子连接的IDT和与第一、第二平 衡端子分别连接的第一、第二平衡侧IDT。此外，虽然1端口型弹性边界波谐振器11并非必须设置，但通过设置该弹性边界 波谐振器11，可增大通带高频侧附近的衰减量。同样，1端口型弹性边界波谐振器16也并 非必须设置，但通过设置1端口型弹性边界波谐振器16，可正大通带低频侧附近的衰减量， 从而优选。参照图5(a)以及(b)来说明本实施方式的弹性边界波滤波装置1的立体构造。图5(a)以及(b)是概略示出弹性边界波滤波装置1的一部分的正面剖视图以及 放大其主要部分示出的部分切掉正面剖视图。在弹性边界波滤波装置1中，在压电基板2 上形成图5(a)所示的电极31。作为该电极31，形成图1以及图4所示的电极构造。并且，在图5(a)中概略地示出设有不平衡端子3以及接地端子6的部分。接地端 子6如图所示由与电极31连接的接地用电极焊盘构成。同样，不平衡端子3也由与电极31 连接的电极焊盘形成。然后，在弹性边界波滤波装置1中，在压电基板2上层叠电介质32， 以覆盖上述电极31。在压电基板2和电介质32的界面上形成有包含IDT21 25等的电 极。作为构成上述压电基板2的材料，可举出LiTaO3及LiNbO3等压电单结晶。另外，作为 电介质32可举出Si02、SiN等适当的电介质材料。在本实施方式中，通过激励在上述压电基板2和电介质32的界面上形成的 IDT21 25来传播弹性边界波。另一方面，为了覆盖上述电介质32，而层叠吸音膜33。吸音膜33由适当的合成树 脂、玻璃或绝缘性陶瓷构成。另外，形成露出接地端子6以及不平衡端子3的贯通孔，以使上述吸音膜33以及 电介质32贯通。在该贯通孔内，填充贯通导体34、35。并且，在贯通导体34、35上分别形成 图1所示的凸点10以及凸点7。关于形成上述凸点10、7的材料，可举出焊锡、Au等适合的金属。另外，关于在压电基板2上形成的电极31及形成端子的电极焊盘以及上述接地布 线17、18、贯通导体34以及35等，由Al、Cu、Au、Pt、Ti、Ni、Cr或它们的合金等适合金属构 成。另外，可通过层叠有多个金属膜的层叠金属膜，来形成这些电极及布线等。此外，在图1中，用虚线示出的不平衡侧信号布线13、第一、第二平衡侧信号布线 14、15等，实际上与第一、第二接地布线17、18同样由具有某程度宽度的导体图案形成。在 图1中，为了简化图示且明确特征，而用虚线简略地示出这些信号布线图案13、14、15。接着，在第一实施方式的弹性边界波滤波装置1中，为了如上所述地形成第二接 地布线18可扩大频带外衰减量的情况，通过与图6以及图7所示的尚未已知的比较例的弹 性边界波滤波装置1101以及1201对比来变得更加明确。
另外，在1端口型弹性边界波谐振器11中，电极指的对数为55，电极指交叉宽度为 100 μ m，占空比为0. 6。在1端口型弹性边界波谐振器16中，电极指的 对数为20，电极指交叉宽度为 50 μ m,占空比为0. 6。另外，作为滤波部及谐振器的电极材料，采用了从压电基板2上朝向上方依次层 叠了 Ti/Pt/Au/Pt/Ti/NiCr的层叠金属膜。膜厚依次为10/10/150/10/10/17 (单位都是
nm) ο另外，关于吸音膜33形成了 7 μ m的聚酰亚胺膜。此外，接地端子6等的电极焊盘部分采用了在厚度40nm的Ti基层上层叠1600nm 的AlCu而成的层叠金属膜。另外，由SiO2构成的电介质32的厚度为6 μ m。此外，接地布线17、18及信号布线等采用了从压电基板2侧向上层依次层叠Ti/ AlCu/Ti/Pt的层叠金属膜。膜厚依据上述顺序为20/1000/50/100 (单位都是nm)。在信号 布线上还层叠厚度40nm的Ti和1600nm的AlCu来降低电阻。图6是示出第一比较例的弹性边界波滤波装置1101的电极构造的示意俯视图。第一比较例的弹性边界波滤波装置1101除了纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部 12的接地布线不同之外，都与上述实施方式的弹性边界波滤波装置1相同。即，如图6所 示，共用连接与平衡侧的IDT即第二、第三IDT22、23的接地电位连接的端部，形成第一接地 布线1102。另外，共用连接与不平衡侧的第一、第四以及第五IDT21、24以及25的接地电位 连接的一侧的端部，并与第二接地布线1103连接。这里，第一接地布线1102以及第二接地 布线1103在连接点1104上共用连接，并利用共用接地布线1105与接地端子6连接。艮口， 与第一 第五IDT21 25的接地电位连接的一侧的全部端部在连接点1104共用连接，并 利用共用接地布线1105与接地端子6连接。如图6所示，通过公用接地布线，可实现小型化。但是，在弹性边界波滤波装置 1101中，频带外衰减量是不充分的。另一方面，在图7所示的弹性边界波滤波装置1201中，连接平衡侧的IDT和接地 端子6的第一接地布线1202与共用连接不平衡侧的IDT21、24、25的接地电位并与接地端 子6连接的第二接地布线1203分离。即，在平衡侧和不平衡侧，接地布线1202、1203分离。 关于其它结构，弹性边界波滤波装置1201与弹性边界波滤波装置1以及1101相同。图8示出上述第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一、第二平衡端子 间的差动特性，图9示出第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第一平衡端子的输 出特性，图10示出来自第一、第二比较例的弹性边界波滤波装置中的第二平衡端子的输出 特性。如第二比较例的弹性边界波滤波装置1201那样，通过分离与不平衡端子连接的第二接地布线和与平衡端子连接的第一接地布线，来确认改善频带外的共模电平的情况。但 是，由图8 图10可知，关于频带外衰减量，无论是分离还是非分离，都不那么大。例如，在 6GHz附近，在任意的情况下，衰减量的差动特性都处于30dB左右。图11 图13是分别示出上述第一实施方式的弹性边界波滤波装置1以及上述第 二比较例的弹性边界波滤波装置1201中的第一、第二平衡端子间的差动特性、来自第一平 衡端子的输出特性以及来自第二平衡端子的输出特性的图。由图11 图13可知，特别是由图11的差动特性可知，在第一实施方式的弹性边 界波滤波装置1中，可显著改善通带外的衰减量。例如可知，在6GHZ下，在第二比较例中， 衰减量是30dB，与此相对在本实施方式中是50dB以上，变大了 20dB以上。即可知，通过将与不平衡侧IDT21、24以及25连接的第二接地布线设置为具有上 述分支布线部18a、18b，可显著改善频带外衰减量。这是因为，设置分支布线部18a、18b，分 支布线部18a、18b通过设有IDT21 25的区域两侧，由此在设有IDT21 25的区域两侧， 与接地布线相对的寄生电容相等，所以可认为能够改善第一、第二平衡端子间的差动特性。 差动特性是第一平衡端子的输出特性与第二平衡端子的输出特性之差。由图12以及图13 可知，在第一实施方式中，高频侧的频带外衰减特性大致相同。因此，能够改善差动特性。与 此相对，在第二比较例中高频侧的频带外衰减特性大不相同。因此，差动特性恶化。如上所 述，根据第一实施方式，仅仅改变了第二接地布线的图案，就能够获得大幅改善频带外衰减 量这样的显著效果。图14(a)以及(b)是本发明第二实施方式的弹性边界波滤波装置的示意俯视图以 及示出其主要部分的部分切掉剖视图。在本实施方式的弹性边界波滤波装置101中，配置为第一接地布线17与第二接地 布线18的一部分重合。即，第二接地布线18的第一分支布线部18a的一部分为了通过第 一接地布线17的上方而相对于第一接地布线17层叠。但是，为了实现两者之间的电绝缘， 而形成绝缘层102。即，在压电基板2上形成第一接地布线17，在第一接地布线17上层叠 绝缘层102，在绝缘层102上连接第二接地布线18的第一分支布线部18a。由此，实现第一 接地布线17与第二接地布线18的第一分支布线部18a的电绝缘。这样，除了第一分支布 线部18a的一部分经由绝缘层102在第一接地布线17上层叠之外，本实施方式的弹性边界 波滤波装置101与第一实施方式的弹性边界波滤波装置1同样地构成。此外，对于构成上述绝缘层102的材料没有特别限定，可由聚酰亚胺树脂、环氧树 脂或丙烯树脂等适当合成树脂或氧化铝等绝缘性陶瓷形成。图15(a)以及(b)是示出第二实施方式的弹性边界波滤波装置101的变形例的弹 性边界波滤波装置111的示意俯视图以及示出其主要部分的部分切掉剖视图。这里与第二 实施方式的弹性边界波滤波装置101情况相反，在第二接地布线18的第一分支布线部18a 上层叠绝缘层112，在绝缘层112上层叠第一接地布线17。这样，在第一接地布线17与第 一分支布线部18a的一部分层叠的情况下，可都位于下方。在第二实施方式的弹性边界波滤波装置101以及上述变形例的弹性边界波滤波 装置111中，层叠第一接地布线17和第二接地布线18的第二分支布线部，因此能够提高电 极图案的形成密度，由此可促进小型化。此外，在第一接地布线17与第二接地布线18的一部分经由绝缘层102、112层叠的情况下，有可能由于两者之间的电容而导致特性劣化。但是，即使在上述第二实施方式的弹性边界波滤波装置101以及上述变形例的弹性边界波滤波装置111中，与上述第二比较 例的弹性边界波滤波装置1201相比，能够显著改善差动特性。上述内容在图16 图18中 示出。图16 图18分别示出第二实施方式的弹性边界波滤波装置101以及上述第二比 较例的弹性边界波滤波装置1201中的第一、第二平衡端子间的差动特性、来自第一平衡端 子的输出特性以及来自第二平衡端子的输出特性。实线示出第二实施方式的结果，虚线示 出第二比较例的结果。由图16 图18可知，特别是由图16的差动特性可知，即使在第二实施方式中，与 第二比较例相比可知，能够显著改善通带外衰减量。即，即使在6GHz的频域下，即使在第二 实施方式中，与第二比较例相比可知，能够改善衰减量30dB以上。因此，能够既实现小型 化，又实现通带外衰减量的扩大。在上述的第一、第二实施方式以及变形例中，对弹性边界波滤波装置进行了说明， 但本发明不仅能适用于弹性边界波滤波装置，还能够适用于利用了弹性表面波的弹性表面 波滤波装置。即，将图1所示的电极构造全部形成在压电基板上，并且在电介质上未形成接 地布线，所以能够形成具有同样构造的弹性表面波滤波装置。因此，图1预先指出可以是示出关于弹性表面波滤波装置的压电基板以及电极构 造的图的情况。另外，在上述实施方式的弹性边界波滤波装置1中，配置了 5个IDT21 25，不过 本发明可广泛应用于具备具有3个以上奇数IDT的纵耦合谐振器型弹性边界波滤波部的弹 性边界波滤波装置。S卩，本发明可广泛应用于如下的弹性波滤波装置，该弹性波滤波装置为了在不平 衡端子与第一、第二平衡端子之间具有至少3个IDT中的与不平衡端子连接的IDT和与第 一、第二平衡端子连接的IDT，而连接具有至少3个IDT的纵耦合谐振器型的弹性波滤波部。 此外，第一纵耦合谐振器型弹性波滤波部与不平衡端子和第一平衡端子之间连接、第二纵 耦合谐振器型弹性波滤波器与不平衡端子和第二平衡端子连接的如专利文献2所述的弹 性波滤波装置，在以本发明为对象的弹性波滤波装置和实现平衡_不平衡变换功能的电极 构造中是完全不同的，因此预先指出不能同样地进行考虑。
权利要求
一种弹性波滤波装置，具备不平衡端子和第一、第二平衡端子，并具有平衡-不平衡变换功能，其特征在于，具有压电基板；纵耦合谐振器型弹性波滤波部，其形成在上述压电基板上，连接在上述不平衡端子与上述第一、第二平衡端子之间，并具有至少3个IDT；第一接地布线，其形成在上述压电基板上，具有第一端部以及第二端部，并且第一端部连接在上述至少3个IDT内的与上述第一或第二平衡端子连接的IDT的接地侧端部；第二接地布线，其形成在上述压电基板上，具有第一、第二端部，并且第一端部连接在与上述不平衡端子连接的IDT的接地侧端部；以及第一、第二接地用电极焊盘，其形成在上述压电基板上，并电连接于上述第一、第二接地布线的各第二端部，上述第二接地布线在从上述第一端部朝向第二端部的中途分成第一、第二分支布线部，第一、第二分支布线部被配置成夹着设有上述至少3个IDT的区域。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波装置，其特征在于，上述第一、第二接地用电极焊盘由1个电极焊盘构成的。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波装置，其特征在于，上述第一接地布线具有经由绝缘膜与上述第一分支布线部的一部分层叠的部分。
4.根据权利要求1 3中任意一项所述的弹性波滤波装置，其特征在于，还具有与压电基板层叠的电介质，并且在上述压电基板与上述电介质之间形成至少3 个上述IDT。
5.根据权利要求1 3中任意一项所述的弹性波滤波装置，其特征在于，该弹性波滤波装置是弹性表面波滤波装置。
全文摘要
提供能实现频带外衰减量扩大的具有平衡不平衡变换功能的弹性波滤波装置。弹性波滤波装置(1)在不平衡端子(3)和第一、第二平衡端子(4、5)间，形成具有IDT(21～25)的5IDT型纵耦合谐振器型弹性波滤波部(12)，使IDT(21、24、25)连接不平衡端子(3)、IDT(22、23)分别连接第一、第二平衡端子(4、5)，连结与不平衡侧IDT(21、23、25)的接地电位连接的一侧端部和接地端子(6)的第二接地布线(18)与第一接地布线(17)分离，第二接地布线(18)具有第一、第二分支布线部(18a、18b)，第一、第二分支布线部(18a、18b)被设置为夹着设有IDT(21～25)的区域。
文档编号H03H9/145GK101874348SQ20098010109
公开日2010年10月27日 申请日期2009年3月6日 优先权日2008年3月27日
发明者春田一政 申请人:株式会社村田制作所