振动片、振子、振荡器、以及电子仪器的制作方法

专利名称：振动片、振子、振荡器、以及电子仪器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种例如由压电材料所组成的压电振动片等振动片、振子、振荡器 和使用这些元件的电子仪器。
背景技术：
以前，在利用弯曲振动模式和其他振动模式进行振动的振动片中，广泛使用一 种音叉型压电振动片，该音叉型压电振动片将一对振动臂从例如由水晶等压电材料所组 成的基材的基部平行延伸，并且使其在水平方向上朝着相互接近或者远离的方向进行振 动。安装了这种振动片的振动装置的各种产品，例如HDD(硬盘驱动器)、移动电脑、 或IC卡等小型的情报仪器；和移动电话、车载电话、或呼叫系统等移动通信仪器；以及 振动式陀螺传感器等，这些产品的小型化正在日益进步，随之也需要振动装置、和收容 在该振动装置中的振动片更加小型化。而且，小型化的其他课题还包括在使振动片的振动臂进行振动时，会产生振 动能量的损失，这是导致CI(晶体阻抗Crystal Impedance)值增大和Q值下降等振动片 的性能下降的原因。因此，为了实现振动片小型化的同时，更进一步防止或者减少振动 能量的损失，一直以来人们想出了各种各样的方法。例如已知有一种音叉型水晶振动片 (例如参照专利文献1)，该音叉型水晶振动片在振动臂的主面上设置长槽，并且在振动 臂延伸出的基部的两侧部分上形成切口部或具有一定深度的切口(切口槽)。对专利文献1所记载的音叉型水晶振动片，参照附图进行具体说明。图8为， 表示作为现有振动片之一例的音叉型水晶振动片的俯视图。在图8中，音叉型水晶振动片100具有基部121，其由水晶形成；一对振动臂 122，其从该基部121的一端部分相互平行延伸。各个振动臂122具有该振动臂122的两 个主面以及与所述两个主面相连接的两个侧面，并且在各个振动臂122上，沿着该振动 臂122的长边方向还设置了具有底部的长槽126，该长槽126在两个主面中的至少一个主 面上具有开口部。另外，虽然没有图示，但在包括长槽126的区域中，设有用于使振动 臂122振动的激励电极。并且，在与基部121的延伸出振动臂122的一端侧垂直的方向的另一端侧(两 边)上，沿着一条直线且在对置的方向上形成一对切口 141A、141B，以此在该基部121 的两个主面上出现被缩窄的形状。基部121包括第一部分121a以及第二部分121b， 所述第一部分121a和第二部分121b隔着一对切口 141A、141B并位于其两侧；连接部分 121c,其用于在一对切口 141A、141B之间对第一部分121a及第二部分121b进行连接。 在第二部分121b中，设置有与外壳等外部基板进行电连接的未图示的外部连接电极。音 叉型水晶振动片100是将其基部121的第二部分121b作为固定部，并被结合固定在例如 外壳等外部基板上，同时与外部基板实现电连接。由于这种音叉型水晶振动片100，通过在各个振动臂122中设置长槽126，从而 使振动臂122易于振动以进行有效的振动，所以具有能使振动损失降低并将CI值抑制在较低水平的特性。并且，在振动臂122的振动还包括垂直方向的成分的情况下，由于通过设置在 基部121上的一对切口 141A、141B，来切断各个振动臂122的振动传播，所以可以抑制 振动通过基部121而向外部传播的所谓振动泄漏，在具有防止CI值上升的效果的同时， 防止各个振动臂122之间的CI值的偏差。
现有技术专利文献1 日本特开2002-280870号公报。


发明内容
发明所要解决的课题但是，在专利文献1所记载的音叉型水晶振动片100中，具有以下的问题，艮口、 因形成在基部121上的切口 141A、141B，而使基部121的刚性下降并导致耐冲击性下降 的问题。具体来说，在图8所示的音叉型水晶振动片100中，当对激励电极施加预定的 驱动电压时，各个振动臂122，在图中箭头所示的水平方向上朝着相互接近或者远离的 方向进行振动。在与该振动方向相同的方向上，对音叉型水晶振动片100施加能使振动 臂122产生较大位移的冲击时，在基部121 —侧的局部产生较大的应力。S卩、当将基部 121的第二部分121b作为固定端而使各个振动臂122的前端侧产生较大位移时，在一对切 口 141A、141B中，应力集中在与振动臂122的位移方向相反一侧的切口 141A的前端部 142A、或者切口 141B的前端部142B处。特别是在水晶的情况下，由于对拉伸应力的机 械强度较弱，所以例如对音叉型水晶振动片100施加能使振动臂122在图中箭头的+X方 向(左方向)产生较大位移的冲击的情况下，对基部121在图中-X方向(右方向)的切 口 141B的前端部142B会受到较大的拉伸应力，从而可能会产生裂缝或破损。用于解决课题的方法本发明是为了解决上述至少一部分的课题而完成的，并可以通过以下的实施方 式或者应用例来实现。[应用例1]本应用例所涉及的振动片的特征在于，其具备基部；振动臂，其从所述基部 延伸；支承臂，其从所述基部延伸，且至少一部分与所述振动臂并行延伸；承接部，其 以使所述支承臂与所述振动臂之间的间隔变窄的方式，由所述支承臂的一部分以突起状 延伸而形成。根据该结构，因为由支承臂的一部分延伸而呈突起状的承接部，以与振动臂之 间的间隔变窄的方式设置，所以在对振动片施加冲击等从而使振动臂的位移超过通常振 动的振幅范围时，振动臂前端侧的位移被承接部限制，所以能够抑制对振动臂基部的根 部所施加的应力的增大，并能够防止裂缝和破损等故障的发生。[应用例2]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述承接部与所述振动臂相面对，并 被设置在由从外部施加的电场引起所述振动臂振动时的振幅范围之外，且在所述振动臂的位移超过所述振幅范围时与所述振动臂接触的位置上。根据该结构，当对振动片施加冲击等从而使振动臂的位移超过通常振动的振幅 范围时，由于振动臂前端侧的位移被承接部限制，所以抑制被施加于振动臂和基部之间 的根部的应力的增大，能够防止裂缝和破损等故障的产生。[应用例3]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述承接部被设置在所述支承臂的前 端侧上。根据该结构，当对振动片施加冲击等从而使振动臂的位移超过通常振动的振幅 范围时，由于振动臂前端侧的位移被承接部限制，所以能够抑制被施加于振动臂和基部 之间的根部的应力的增大，并能够防止裂缝和破损等故障的产生。并且，因为具备在 前端设有承接部的支承臂，所以通过使用该支承臂将振动片与外壳等外部进行接合，从 而能够使振动臂和基部以浮动状态而被保持在外部，因此能够防止因振动臂的振动传播 到基部而发生泄漏，或不需要的振动通过基部向振动臂传播而导致振动特性不稳定的现 象。因此，能够提供一种具有稳定的振动特性的同时，还具有良好耐冲击性的振动片。[应用例4]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，在所述支承臂上设置有多个所述承接 部，所述承接部被构成为，当所述振动臂产生所述弯曲变形时与所述振动臂的长度方向 上的多个位置相接触。根据该结构，在振动臂产生弯曲变形时，设置在支承臂上的多个承接部，与振 动臂在多个位置相接触。因此，能够防止或者缓和振动臂和承接部相接触时对振动臂的 局部施加冲击。[应用例5]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述振动臂具有两个主面和两个侧 面，所述两个侧面连接所述两个主面并向所述振动臂的长度方向延伸，并且，在所述振 动臂上沿着所述振动臂的所述长度方向设置有具有底部的长槽，所述长槽在所述两个主 面中的至少一个主面上具有开口部，所述承接部被设置为，当所述振动臂产生超过通常 振动时的所述振幅范围的位移而导致所述振动臂与所述承接部相接触时，所述承接部中 与所述振动臂的抵接部分，位于比形成有所述长槽的区域更靠前端侧的位置上。根据该结构，由于通过长槽而使振动臂易于移动而进行有效的振动，从而抑制 了 CI值的增大，并且在振动臂的位移被承接部限制时的振动臂与承接部的抵接部分，被 配置在位于比形成振动臂长槽的区域更靠前端侧的刚性较高的部分，所以能够抑制振动 臂的破损。[应用例6]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，在所述振动臂的前端侧上，设置有宽 度比所述振动臂的所述基部侧更宽的锤部，当所述振动臂上产生超过通常振动时的所述 振幅范围的位移而导致所述振动臂与所述承接部相接触时，所述承接部中与所述振动臂 的抵接部分被配置成，与所述锤部进行接触。根据该结构，由于作为振动臂的宽度较宽的部分且具有较高强度的锤部的侧面 成为与承接部的抵接部分，所以能够抑制振动臂的损伤并能提高振动片的耐冲击性。
[应用例7]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述承接部的所述抵接部分被配置 为，与所述振动臂的所述锤部的侧面进行面接触。例如，在被配置为由锤部形成的振动臂的角部与承接部的抵接部分相接触的情 况下，能够防止因角部引起的冲击压力集中从而导致角部和承接部的一部分产生破损， 并能够提高振动片的耐冲击性。[应用例8]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述支承臂具有比所述振动臂的所述 两个侧面之间最细部分的宽度更细的部分。根据该结构，由于支承臂比振动臂更容易弯曲，在振动臂与支承臂的承接部碰 撞时能够缓和对振动臂所施加的损伤，所以可以提供一种既防止振动臂破损又具有较高 的耐冲击性的振动片。[应用例9]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述承接部被形成为，其宽度小于所 述支承臂的所述基部侧的宽度。根据该结构，由于具有承接部的支承臂的前端侧，比支承臂的基部侧更容易弯 曲，在振动臂与支承臂的承接部碰撞时能够缓和对振动臂所施加的损伤，所以能够防止 振动臂的破损，并且能够提高振动片的耐冲击性。[应用例10]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，所述振动片是由压电材料形成的压电 振动片。根据该结构，能够提供一种耐冲击性较高且具有优良的振动特性的水晶振动片 等压电振动片。[应用例11]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，作为所述压电材料使用水晶，在所述 基部上具有一对切口，该一对切口分别被设置在，所述水晶的由X轴、Y轴以及Z轴所 组成的正交坐标系中沿着X轴方向的一条直线的相反方向上，以此在该基部的两个主面 上出现被缩窄的形状，所述振动臂从所述基部的Y轴方向的一端部向Y轴方向延伸，至 少在所述振动臂的+X —侧上，设置有具备所述承接部的所述支承臂。虽然水晶被广泛用于压电振动片的压电材料，但是如上述的结构所示，当通过 腐蚀而在晶轴的正交坐标系中沿着X轴方向形成切口时，因相对于水晶晶轴的腐蚀各向 异性，在从-X—侧进行切口加工所形成的切口的内壁的前端部(角部)上，将会产生不 希望的孔部和腐蚀残留部、即形成所谓的鳍部。在对振动片施加冲击时，该切口的鳍部 能够引起龟裂、折断，特别是在对鳍部施加拉伸应力时，该切口的鳍部是导致强度显著 劣化的主要原因。根据上述应用例的结构，在由水晶形成的振动片中，从产生鳍部的-X方向上 的切口的相反侧(+X方向)基部的端部中延伸出支承臂，在该支承臂的前端具有承接 部。因此，由于形成有承接部，该承接部用于限制在对鳍部施加拉伸应力的方向上产生 位移的振动臂的移动，所以尤其是能够提高对于在耐冲击性较弱的位移方向上的耐冲击性。而且，与从另一侧的端部形成支承臂，并且进一步在该支承臂上形成承接部的结构 相比，仅从基部的一侧端部形成具有承接部的支承臂的结构，能够达到振动片的更加小型化。[应用例12]上述应用例所涉及的振动片的特征在于，在所述抵接部分上设置有冲击缓冲构 件。根据该结构，因为在振动臂与承接部碰撞时能通过冲击缓冲构件来减少冲击， 所以可以抑制振动臂产生缺口、破损。[应用例13]本应用例所涉及的振子的特征在于，其具备上述应用例中任意一项所述的振 动片；外壳，其用于收纳所述振动片。根据该结构，因为具备上述应用例所述的振动片，所以能够提供一种具有稳定 的振动特性，且耐冲击性较高的振子。[应用例14]本应用例所涉及的振荡器的特征在于，具备上述应用例中任意一项所述的振 动片；电路元件，其具有用于使所述振动片振荡的振荡电路；外壳，其用于收纳所述振 动片以及所述电路元件。根据该结构，因为具备上述应用例所述的振动片，所以能够提供一种具有稳定 的振动特性，且耐冲击性较高的振荡器。[应用例15]本应用例所涉及的电子仪器的特征在于，其具备上述应用例中任意一项所述 的振动片、上述应用例所述的振子、或上述应用例所述的振荡器中的任意一种。根据该结构，能够提供一种特性稳定，且可以确保耐冲击性的电子仪器。[应用例16]本应用例所涉及的振动片的特征在于，其具备基部；振动臂，其从所述基部 的一端部分延伸；支承臂，其从所述基部的另一端部分延伸，且至少一部分与所述振动 臂并行延伸；还具备设置在所述支承臂的前端侧上的承接部，所述承接部被配置在所述 振动臂的通常振动时的振幅范围之外，且被配置在所述振动臂的位移超过所述通常振动 的所述振幅范围时与所述振动臂接触的位置上。根据该结构，当对振动片施加冲击等从而使振动臂的位移超过通常振动的振幅范 围时，因为振动臂的前端侧的变形被承接部限制，所以能够抑制被施加到振动臂与基部之 间的根部部分的应力增大，并能够防止裂缝和破损等故障的产生。而且，因为具备在其前 端具有承接部的支承臂，所以通过利用该支承臂而使振动片与外壳等外部进行接合，由于 能够使振动臂和基部以浮动状态而被保持在外部，所以能够防止因振动臂的振动向基部传 播而发生泄漏，或不需要的振动通过基部向振动臂传播而导致的振动特性不稳定。因此， 能够提供一种具有稳定的振动特性的同时，还具有良好的耐冲击性的振动片。


图1为，用于模式化地说明从一方的主面一侧观察作为第一实施方式的振动片的水晶振动片的俯视图。图2为，用于模式化地说明水晶振动片的各部分的截面的示意图，(a)为图1的 a_a线的剖视图，(b)为图1的c-c线的剖视图，(c)为图1的b_b线的剖视图。图3为，从图1的箭头E方向观察振动臂侧面的一部分的局部放大图。图4为，用于模式化地说明作为振动片的水晶振动片的改变例的俯视图。图5为，用于模式化地说明作为第二实施方式的振动片的水晶振动片的俯视 图。图6为，表示第三实施方式的振子的概略结构的示意图，图6(a)为俯视图，图 6(b)为沿图6(a)的F-F线的剖视图。图7为，表示第四实施方式的振荡器的概略结构的示意图，图7(a)为俯视图， 图7(b)为沿图7(a)的G-G线的剖视图。图8为，模式化地表示作为现有振动片的音叉型水晶振动片的俯视图。符号说明20、50作为振动片的水晶振动片21、121 基部21a、121a 第一部分21b、121b 第二部分21c、121c 连接部分22、122 振动臂26a、26b、126 长槽27 角部29 锤部30、30b 支承臂31、31b 弯曲部32 宽部33 窄部35承接部35a折回部38冲击缓冲构件39固定部41A、41B、141A、141B 切口42A、42B、142A、142B(切口的)前端部43、44激励电极100作为现有振动片的音叉型水晶振动片
具体实施例方式以下参照附图，对将本发明的振动片具体化的实施方式进行说明。(第一实施方式)图1为，用于模式化地说明从一方的主面一侧观察作为第一实施方式的振动片的水晶振动片的俯视图。而且，图2为，用于模式化地说明水晶振动片的各部分截面的 图，(a)为图1的a-a线的剖视图，(b)为图1的c_c线的剖视图，(c)为图1的b_b线 的剖视图。在本例中，作为压电材料使用水晶为例进行说明。在图1中，水晶振动片20是由水晶组成的压电振动片。并且，作为构成本实施 方式的水晶振动片20的水晶原形的水晶晶片(水晶基材)，使用了以下所得的水晶晶片， 即、在由X轴、Y轴以及Z轴所组成的正交坐标系中，对于在以Z轴为中心顺时针旋转0 度-5度的范围内切割而成的水晶Z板，进行切割研磨加工成预定的厚度。本实施方式的 水晶振动片20被形成为，具有由基部21和一对振动臂22所组成的所谓音叉型的外型， 所述基部21通过对该水晶Z板进行加工而成；所述一对振动臂22从该基部21的一端侧 (图中的上端侧)分成两段，并且互相平行延伸。在基部21中，形成了沿着一条直线的相反方向上的一对切口 41A、41B，以此 在该基部21的两个主面上出现被缩窄的形状。基部21具有第一部分21a和第二部分 21b，所述第一部分21a和第二部分21b隔着一对切口 41A、41B并位于其两侧；连接部 分21c，其用于在一对切口 41A、41B之间对第一部分21a和第二部分21b进行连接。在本实施方式的水晶振动片20中，由于通过该切口 41A、41B，来切断各个振 动臂22的振动传播，所以能够抑制振动通过基部21和下述的支承臂30而向外部传播的 所谓振动泄漏，并能够防止CI值的上升。另外，一对切口 41A、41B的宽度(连接部分21c的宽度)，可以比与一对振动 臂22相对的侧面的间隔更小或更大，并且，也可以比一对振动臂22的互相相反的侧面的 距离更小或者更大。一对振动臂22，从基部21的第一部分21a向两个主面(纸面上向外和向里)平 行延伸。并且，各个振动臂22具有所述两个主面和两个侧面，所述两个侧面在两侧连接 两个主面。而且，在各个振动臂22的前端侧上，分别设置了宽度比振动臂22的基部21侧 更宽的锤部29。于是，通过使各个振动臂22的前端部分的锤部29发挥锤的功能，从而 无需使振动臂22的长度增大就能够降低频率。另外，虽然图示了本实施方式的振动臂22的除了锤部29以外的部分，具有一定 宽度的结构，但并不仅限于此，可以使振动臂22的主要部分(与锤部29不同的部分)为 前端变细的形状，例如，通过形成从振动臂22的基部21—侧向前端变细的锥体，从而能 够使振动臂22容易振动。如图1所示，在各个振动臂22的一个主面上，沿着各自的长度方向分别设置有 一条具有底部的长槽26a。而且，如图2(a)所示，在振动臂22的另一个主面上，也沿着 振动臂22的长度方向设置有一条长槽26b。通过设置在各个振动臂22上的长槽26a、26b，而使振动臂22容易移动并进行有 效的振动，从而能够降低CI值。另外，如图1所示，在本实施方式的振动臂22中，长槽26a(以及26b)的一端侧 (振动臂22的前端侧)，被形成在位于比其与振动臂22的锤部29的边界更靠前端侧(锤 部29—侧)的位置上。通过这种方式，由于可以将振动臂22振动时所产生的应力的集中区域分散在振动臂22的延长方向上，所以能够避免应力集中在振动臂22的锤部29的 根部而导致的破损产生等故障。与此相反，长槽26a、26b的一端侧(振动臂22的前端侧)，也可以被形成在位 于比其与振动臂22的锤部29的边界更靠基部21 —侧的位置上，通过这种方式也可以获 得上述效果。即、由于通过将振动臂22振动时所产生的应力的集中区域分散在振动臂22 的延长方向上，从而能够避免应力集中在振动臂22的锤部29的根部而导致的破损产生等 故障，并且，各个振动臂22上的锤部29的质量付加效果也会增大，所以无需使水晶振动 片20的尺寸增大就能够实现低频率化。但是，在各个振动臂22中，即使将长槽26a、26b的一端侧(振动臂22的前端 侧)设置在位于其与振动臂22的锤部29的边界处的位置时，也不会因应力集中在振动臂 22的锤部29的根部而导致产生破损等情况，例如当在振动臂22具有满足足够刚性的宽度 的情况下、以及从振动臂22的基部21—侧向锤部29方向形成了宽度较宽的形状(例如 锥体形状等)的情况等，也可以将长槽26a、26b的一端侧(振动臂22的前端侧)设置在 其与振动臂22的锤部29的边界处的位置上。水晶振动片20具有从基部21的第二部分21b延伸出的一对支承臂30。一对 支承臂30，可以从基部21中的与一对振动臂22的延伸方向交差的方向上的两个端部，分 别沿着相反的方向进行延伸之后，在弯曲部31处沿着一对振动臂22的延伸方向进行弯曲 并延伸。通过使其进行弯曲，从而使支承臂30变得小型化。支承臂30是例如安装于外 壳(未图示)等外部基板时所使用的部分，通过粘合剂等将图中所示的固定部39和外部 基板的固定部进行粘合、固定，从而被安装在外部基板上。因此，在安装于外部基板上 的水晶振动片20中，能够使振动臂22和基部21处于浮动状态。如图2所示，在包括各个振动臂22的各个长槽26a、26b的表面上形成有激励电 极44，并且在包括两个侧面的各个表面上形成有激励电极43(在图1中省略图示)。在 其中一个振动臂22中，通过向激励电极43、44之间施加电压，使振动臂22的两个侧面 进行伸缩，从而使振动臂22振动。激励电极43、44可以通过以下的方法而形成，艮口、 对水晶进行腐蚀而形成水晶振动片20的包括长槽26a、26b的外形之后，例如将镍(Ni) 或铬(Cr)作为底层，在其上面通过蒸镀或者溅射，成膜为例如金(Au)的电极层，之后使 用光刻法形成图案。在这里，众所周知铬与水晶之间的附着力较高，并且，金因电阻低 而难以氧化。在各个支承臂30的前端侧上，设置有与振动臂22的振动方向相同方向的厚度被 缩小的部分，并在其中的一部分上设置了承接部35，所述承接部35以使支承臂30和振 动臂22之间的间隔变窄的方式，朝向振动臂22的方向进行弯曲而形成。换句话说，承 接部35，是支承臂30的一部分从支承臂30的延伸方向朝向振动臂22所形成的突起状的 凸部。该承接部35被配置在相邻的振动臂22的通常振动时的振幅范围之外，并且被配 置在相邻的振动臂22的位移超过规定量的通常振幅范围时与该振动臂22抵接的位置上。 另外，所述振动臂22的通常振动时的振幅范围是指，通过向水晶振动片20的激励电极 43、44施加驱动电压(电场)，而以规定的共振频率进行振动的振动臂22的振幅达到最 大时的振动臂22的振动区域。也就是说，被设置为，即使在以规定的共振频率进行振动 的振动臂22的振幅达到最大时，相邻的振动臂22与支承臂30的承接部35之间不会发生接触。而且，振动臂22的位移超过规定量的通常振幅范围的情况是指，因掉落等对水晶 振动片20施加冲击从而导致振动臂22产生较大位移的情况等。如图1所示，在水晶振动片20中，各个支承臂30被形成为，其具有比相邻的振 动臂22的两个侧面之间最细部分的宽度更细的部分。并且，在支承臂30中，承接部35和承接部35的基部21—侧的宽度，均小于支 承臂30的基部21侧的宽度。详细地说，在图1中，从基部21中沿着相反方向延伸并在弯曲部31处进行弯曲 的、且沿着与振动臂22平行的方向进行延伸的一对支承臂30，在基部21 —侧具有宽度较 宽的宽部32，在该宽部32的前端侧上形成有宽度被缩小的窄部33，该窄部33的更靠前 端侧为承接部35。 S卩、图2(b)所示的支承臂30的窄部33的宽度t2，与图2(c)所示的 支承臂30的宽部32的宽度t3之间，具有t2<t3的关系。另外，支承臂30的宽部32和 窄部33的截面，均不是如本实施方式所示的方形，例如在设置具有底部的槽的情况下、 以及具有相对于截面的假想中心线而非线性对称的截面形状的情况下，图2(b)所示的支 承臂30的窄部33的截面面积S2，与图2 (c)所示的支承臂30的宽部32的截面面积S3之 间，具有S2<S3的关系。而且，在图2(a)所示的振动臂22的两个侧面之间的宽度tl，与支承臂30在同一 方向上的宽度之间的关系中，至少与图2(b)所示的支承臂30的窄部33的宽度t2之间， 具有tl>t2的关系。并且，在本实施方式中，振动臂22的宽度tl，与图2(c)所示的支 承臂30的宽部32的宽度t3之间，也具有tl>t3的关系。另外，图2(a)所示的振动臂 22的截面面积Si，至少与图2(b)所示的支承臂30的窄部33的截面面积S2之间，具有 S1>S2的关系。并且，振动臂22的截面面积Si，与图2 (c)所示的支承臂30的宽部32 的截面面积S3之间，也可具有Sl > S3的关系。这样，在水晶振动片20中，通过使各个支承臂30具有比相邻的振动臂22的两 个侧面之间最细部分的宽度更细的窄部33 (以及宽部32)，从而使支承臂30呈现比振动臂 22更容易弯曲的弹性。因此，由于当振动臂22向支承臂30 —侧产生较大位移而与承接 部35进行碰撞时，能够减轻对振动臂22所施加的损伤，所以在防止振动臂22产生破损 的同时，对振动臂22的过度位移进行限制，从而能够提高水晶振动片20的耐冲击性。而且，由于通过使承接部35和承接部35的基部21侧的窄部33的宽度t2，小于 支承臂30的基部21侧的宽部32的宽度t3，具有承接部35的支承臂30的前端侧(窄部 33—侧)，呈现出比支承臂30的基部21—侧(宽部32侧)更容易弯曲的弹性，所以当 振动臂22向支承臂30 —侧产生较大位移并与承接部35碰撞时，可以减轻对振动臂22所 施加的损伤，在防止振动臂22破损的同时，提高水晶振动片20的耐冲击性。此外，在本实施方式中，各个支承臂30的宽度被缩小的窄部33，在前端侧上向 靠近相邻的振动臂22的方向进行弯曲之后，再在前端侧上以与相邻的振动臂22平行的方 式进行弯曲，从而形成承接部35。并且，在本实施方式中，在比支承臂30的承接部35更靠前端的一侧上，形成有 折回部35a，所述折回部35a沿着远离相邻的振动臂22的方向被弯曲，从而避免包括支承 臂30的最前端部的角部的折回部35a与振动臂22抵接，从而可以防止在支承臂30和振 动臂22上产生裂缝和破损。
另外，在具有所述承接部35的支承臂30的结构中，用于将水晶振动片20与外 壳等外部基板进行固定的固定部39，是支承臂30的宽部32，并且被配置在比承接部35 更靠近基部21的一侧。因此，承接部35能够以固定部39作为支点对振动臂22的位移 进行限制，从而能够缓和冲击。并且，参照图1和图3，对水晶振动片20中的承接部35的配置进行说明。在这 里，新参照的图3为，用于模式化地说明在振动臂22中的支承臂30的承接部35的抵接 部分的配置图，并且是从图1的箭头E方向，来观察一个振动臂22的一部分侧面的局部 放大图。在图1和图3所示的水晶振动片20中，当振动臂22向相邻的支承臂30 —侧产 生较大位移而与支承臂30的承接部35进行接触时，承接部35被配置为，该承接部35与 振动臂22的抵接部分位于如下所示的位置处。S卩、在振动臂22产生较大位移时，支承臂30的承接部35被配置在比形成长槽 26a、26b的区域更靠前端的一侧上。因此，由于当振动臂22产生较大位移从而与相邻的 支承臂30的承接部35接触时，振动臂22与承接部35的抵接部分被配置为，位于比形成 有长槽26a、26b的区域更靠前端侧的刚性较高的部分上，所以能防止振动臂22出现破损 等故障，并且能获得提高水晶振动片20的耐冲击性的效果。而且，在振动臂22产生较大位移时，支承臂30的承接部35被配置为，位于与 作为振动臂22前端侧的宽部、即锤部29进行接触的位置上。并且，承接部35被配置 为，与振动臂22的锤部29的两个侧面中承接部35—侧的侧面进行面接触。换句话说， 在水晶振动片20中，支承臂30的承接部35被配置成避开角部27，所述角部27形成在振 动臂22的锤部29的一端。因此，由于作为振动臂22的宽部且具有较高强度的锤部29的 侧面，与承接部35进行面接触，所以可以抑制振动臂22的损伤。而且，通过配置成避 开由锤部29形成的振动臂22的角部27，从而能够防止当与承接部35的抵接部分接触时 因角部27和承接部35的一部分接触而产生破损的情况，并且能够提高水晶振动片20的 耐冲击性。并且，在本实施方式的水晶振动片20中，将冲击缓冲构件38设置在作为承接部 35中与相邻振动臂22的抵接部分的面上。优选为，冲击缓冲构件38由振动臂22产生较 大位移而与承接部35接触时能够缓和该冲击的材料所构成，并且与振动臂22的抵接部分 的面平行且具有一定的面积，以便在振动臂22的抵接部分上确保尽可能大的接触面积并 与其进行面接触。虽然用于冲击缓冲构件38的材料，可以使用橡胶和树脂等高弹性的材料，但并 不仅限于这些材料，也可以使用金等比较柔软的金属膜。在由金属膜形成冲击缓冲构件 38时，通过在例如水晶振动片20的激励电极43、44(参考图2(a))等电极制备工序中同 时形成该冲击缓冲构件38，从而能够不增加制造工序就可以设置冲击缓冲构件38。于是，通过在承接部35中的与相邻振动臂22的抵接部分上设置冲击缓冲构件 38，从而能够缓和振动臂22与承接部35碰撞时的冲击，并能够抑制振动臂22和支承臂 30的承接部35产生缺口和破损的现象。如以上说明，根据上述实施方式的水晶振动片20，因其具备切口 41A、41B、长 槽26a、26b、锤部29等，所以能够抑制振动泄漏、CI值的上升、或者Q值的下降，并且因为具有在因水晶振动片20掉落等冲击而使振动臂22产生较大位移时，用于缓和冲击 且对振动臂22的位移进行限制的承接部35，所以能够提供一种具有稳定的振动特性、且 耐冲击性较高的水晶振动片20。作为用上述实施方式所说明的振动片的水晶振动片20(压电振动片)，也可以用 以下的改变例来实施。(第一实施方式的改变例)在上述实施方式中，对于在一对振动臂22的两侧设置了具有承接部35的支承臂 30的水晶振动片20进行了说明。除此以外，若考虑到构成水晶振动片的水晶材料(压电 材料)的晶轴方向，则通过在振动臂的振动方向中的任意一侧设置承接部，从而能够提 高耐冲击性。图4为，用于模式化地说明仅在振动臂的振动方向的一侧，配置了具有承接部 的支承臂的水晶振动片的改变例的俯视图。在用于说明本改变例的图4中，对于与上述 实施方式相同的结构，标记相同的符号，并省略其说明。在图4中，水晶振动片50是以规定的厚度对水晶Z板进行切割研磨加工所得 的水晶基材，其具有基部21; —对振动臂22，其从该基部21的一端侧(在图中朝上 (Y-方向)的一端侧)分成两段且互相平行延伸。在基部21上形成有一对切口 41A、 41B，该一对切口 41A、41B被设置在由水晶的X轴、Y轴以及Z轴所组成的正交坐标系 中沿着X轴方向的一条直线的相反方向上，以此在该基部21的两个主面上出现被缩窄的 形状。基部21具有第一部分21a和第二部分21b，其用于隔着一对切口 41A、41B并 位于其两侧；连接部分21c，其用于在一对切口 41A、41B之间对第一部分21a和第二部 分2 Ib进行连接。在一对振动臂22的前端一侧，分别设置作为宽部的锤部29。而且，在各个振动 臂22的主面上，沿着各自的长度方向分别设置有一条具有底部的长槽26a。另外，虽然 没有图示，但是在包括各个振动臂22的各个长槽26a和两个侧面的表面上，形成有激励 电极。水晶振动片50具有从基部21的第二部分21b中延伸出的一对支承臂30、 30b。各个支承臂30、30b,是从基部21中的与一对振动臂22的延伸方向交叉方向上的 两个端部，分别相互沿着相反的方向延伸后，在弯曲部31、31b处沿着一对振动臂22的 延伸方向弯曲、再进行延伸。在一对支承臂30、30b中，支承臂30的前端侧上具有承接部35，所述支承臂30 从水晶正交坐标系中的-X方向切入所形成的切口 41B的相反一侧的基部21的端部(+X 一侧)延伸。与此相对，从水晶的所述正交坐标系中的-X方向的切口 41B—侧的基部 21的端部中延伸出的另一个支承臂30b，比具有所述承接部35的支承臂30更短，该支承 臂30b不具有承接部，但具有固定部39。在由水晶Z板所形成的水晶振动片50中，在从基部21的X轴方向的两个方向上 切入而形成的一对切口 41A、41B中，通过腐蚀，形成沿着晶轴正交坐标系中的-X方向 上的切口 41B时，根据水晶Z板的腐蚀各向异性，在切口 41B内壁的前端部(角部)42B 上，将会产生不希望的孔部和腐蚀残留部、即形成所谓的鳍部。当因掉落等对水晶振动 片50施加冲击时，在该切口 41B中所产生的鳍部，能够引起龟裂和折断，特别是对鳍部施加拉伸应力时，即、振动臂22沿着+X方向产生较大位移时，该鳍部是导致强度显著 劣化的主要原因。根据本改变例的水晶振动片50的结构，在一个支承臂30的前端侧上具有承接部 35，所述支承臂30是从发生鳍部的沿-X方向切口的相反侧的基部21端部(+X方向)中 延伸而出。而另一个支承臂30b具有作为水晶振动片50的支承结构而发挥功能的固定 部39，所述支承臂30b的结构为，比支承臂30更短、且在前端侧上不具有承接部。因 此，当振动臂22沿着作为对鳍部所施加拉伸应力的方向即+X方向上产生较大位移时， 该振动臂22的位移被承接部35限制，从而能够防止在耐冲击性特别弱的鳍部上产生龟裂 折断等。在这里，由于在与造成鳍部的-X—侧的切口 41B成对的、切口 41A的内壁的角 部42A处不会产生鳍部、且难以引起强度下降，因此可以在设于基部21的-X —侧的另 一个支承臂30b上不设置承接部，也可以缩短支承臂30b的长度。因而，与在振动臂22 的两侧上设置承接部35的支承臂30的结构相比，能够制成小型且具有良好耐冲击性的水 晶振动片50。以上对发明人所完成的本发明的实施方式进行了具体说明，但是本发明并不仅 限于上述实施方式，在不脱离本发明要旨的范围内，可以施加各种变形。例如，在上述实施方式和改变例中，作为能明显发挥本发明效果的实施方式， 对在基部21上设置了具有抑制振动泄漏效果的切口 41A、41B的水晶振动片20、50进行 了说明。但并不仅限于所述结构，在基部上不设置切口的结构中，例如在基部的与振动 臂的振动方向相同方向上的宽度较窄、且刚性较小的振动片中，也能够提高耐冲击性。另外，虽然在上述实施方式及改变例中，以具有长槽26a、26b和锤部29的振动 臂22的水晶振动片20、50为例进行了说明，但即使在不具有这些结构的振动片中，也可 以获得本发明的效果。而且，在上述实施方式及改变例中，在具有承接部35的支承臂30中，对于在承 接部35中的与振动臂22的抵接部分上设置冲击缓冲构件38的结构进行了说明。但并不 仅限于该结构，即使是没有设置冲击缓冲构件38的结构，也比不具有承接部35的振动 片，具有更高的提高耐冲击性的效果。并且，关于在比支承臂30的承接部35更靠前端的一侧上所设置的折回部35a， 也可以采用不设置该折回部35a的结构。而且，在上述实施方式中，以弯曲振动模式的水晶振动片20为例进行了说明。 但并不仅限于此，在扭转振动模式和切变振动模式等，弯曲振动模式以外的振动模式的 振动片中，通过使其具备本发明特征的结构，也能够获得与上述实施方式和改变例相同 的提高耐冲击性的效果。并且，在上述实施方式和改变例中，对所谓音叉型的水晶振动片20、50的本发 明的实施方式和改变例进行了说明，所述音叉型的水晶振动片20、50是从基部21中，两 个振动臂22相互平行延伸而形成的。但不仅限于此，即使是具有作为固定端的基部的仅 由一个振动臂所构成的所谓梁式振动片等，或者是具有三个以上的振动臂的振动片，也 能够获得与上述实施方式和改变例相同的效果。虽然在上述实施方式和改变例中，对于由压电材料之一的水晶所组成的水晶振动片20、50进行了说明，但并不仅限于此，也可以由钽酸锂、铌酸锂等水晶以外的压电 材料所组成。并且，即使是由压电材料以外的、例如硅半导体所组成的振动片，也能够 获得与上述实施方式和改变例相同的效果。上述实施方式和改变例所说明的水晶振动片20、50，可以用于压电仪器、以及 压电仪器以外的各种电子仪器。特别是，当一种振荡器中，所述水晶振动片20、50中的 任意一个压电振动片以其支承臂30作为固定部而被接合在外壳内，并且至少安装有用于 使该水晶振动片20、50进行振荡的振荡电路元件，这种振荡器可以抑制CI值上升、Q值 下降、或者振动泄漏，在实现高性能化的同时，还能够实现小型化。(第二实施方式)以下，对作为第二实施方式的振动片的水晶振动片进行说明。图5为，表示第 二实施方式的振动片的俯视图。关于以下所要说明的第二实施方式的水晶振动片，将重点说明与上述实施方式 的不同点，对于相同的情况，省略其说明。本实施方式的水晶振动片70设有两个振动臂78、79，其从基部77的端部中 延伸；一对(两个)支承臂(外侧臂部)74B、75B，其相对于振动臂78、79在X轴方向 的两个外侧上与振动臂78、79平行。在两个振动臂78、79中，分别设置有在主面上具 有开口部的有底的长槽72、73。两个支承臂74B、75B被设置为，从基部77中分别沿Y 轴方向延伸，并且排列在X轴方向上。在本实施方式中，支承臂74B、75B被设定为，其前端部具有与振动臂78、79 的前端部相对的长度。而且，支承臂74B、75B相互之间的间隔距离，在其前端侧比基端侧更宽。并且，在支承臂74B的前端部上，设置了具有吸收冲击性能的承接部(缓冲 部)241B，在支承臂74B的中途，也设置了具有吸收冲击性能的承接部(缓冲部)242B。 同样在支承臂75B的前端部上，设置了具有吸收冲击性能的承接部(缓冲部)251B，在支 承臂75B的中途，也设置了具有吸收冲击性能的承接部(缓冲部)252B。承接部(缓冲部)241B、242B被形成为，使支承臂74B的宽度尺寸变大，并使 支承臂74B和振动臂78之间的间隔变窄。换句话说，承接部(缓冲部)241B、242B上 形成有凸部，所述凸部被设置在支承臂74B中的从支承臂74B朝向振动臂78的方向、且 呈突起状。同样，承接部(缓冲部)251B、252B被形成为，使支承臂75B的宽度尺寸变 大，并使支承臂75B和振动臂79之间的间隔变窄。换句话说，承接部(缓冲部)251B、 252B上形成有凸部，所述凸部被设置在支承臂75B中的从支承臂75B朝向振动臂79的方 向、且呈突起状。此外，虽然本例的承接部(缓冲部)241B、242B、251B、252B，是在 与从所述支承臂74B、75B向振动臂78、79的方向相反的方向上也设置了凸部的结构， 但如上所述，也可以是仅在从支承臂74B、75B朝向振动臂78、79的方向上设置了凸部 的结构。在这里，支承臂74B、75B的前端部分的承接部(缓冲部)241B、251B以及中途 部分的承接部242B、252B与各个振动臂78、79相分离，并构成了阻止部(限制部)，当 各个振动臂78、79沿着X轴方向产生弯曲变形时，所述阻止部(限制部)与振动臂78、 79中的至少一个振动臂进行接触，从而阻止(限制)过度的弯曲变形。
换句话说，承接部241B、251B、242B、252B被配置在相邻的振动臂78、79的 通常振动时的振幅范围之外，并且，承接部241B、251B、242B、252B，被设置在相邻 的振动臂78、79的位移超过规定量的通常振幅范围时与振动臂78、79抵接的位置上。此外，上述振动臂78、79的通常振动时的振幅范围是指，与上述实施方式相 同，通过从外部施加驱动电压(电场)，以规定的共振频率进行振动的振动臂78、79的振 幅达到最大时的振动臂78、79的振动区域。即被设置为，即使在以规定的共振频率进行 振动的振动臂78、79的振幅达到最大时，相邻的振动臂78、79与承接部241B、251B、 242B、252B之间也不会发生接触。当振动臂78超过通常振动的振幅范围而在支承臂74B —侧上产生X轴方向的弯 曲变形时，设置在支承臂74B的前端部上的承接部241B中的振动臂78 —侧部分2411B， 与振动臂78进行接触。与此同时，当振动臂78在支承臂74B—侧上产生X轴方向的弯 曲变形时，设置在支承臂74B中途的承接部242B的振动臂78 —侧部分2421B，与振动臂 78进行接触。同样，当振动臂79超过通常振动的振幅范围而在支承臂75B —侧上产生X轴方 向的弯曲变形时，设置在支承臂75B的前端部上的承接部251B中的振动臂79 —侧部分 2511B，与振动臂79进行接触。与此同时，当振动臂79在支承臂75B—侧上产生X轴 方向的弯曲变形时，设置在支承臂75B中途的承接部252B的振动臂79 —侧部分2521B， 与振动臂79进行接触。于是，支承臂74B、75B的部分2411B、2421B、2511B、2521B (阻止部)被构 成为，由于如上所述的振动臂78、79的弯曲变形，而与振动臂78、79的长度方向上的 多个位置相接触。因此，当振动臂78、79与支承臂74B、75B的部分2411B、2421B、 2511B、2521B (阻止部)进行接触时，能够防止或者缓和对振动臂78、79的施加局部冲 击的现象。而且，支承臂74B、75B的中途(阻止部)的部分2421B、2521B，分别形成了向 振动臂78、79 —侧凸起的弯曲凸面。因此，支承臂74B的中途(阻止部)的部分2421B， 由于所述振动臂78的弯曲变形而与振动臂78进行面接触。同样，支承臂75B的中途(阻 止部)的部分2521B，由于所述振动臂79的弯曲变形而与振动臂79进行面接触。因此， 当振动臂78、79与支承臂74B、75B的中途(阻止部)的部分2421B、2521B进行接触 时，能够防止或者缓和对振动臂78、79施加局部冲击的现象。根据以上说明的第二实施方式，可以发挥与所述第一实施方式相同的效果。(第三实施方式)以下，对作为第三实施方式，具有作为所述实施方式中的振动片的水晶振动片 的振子进行说明。图6为，表示第三实施方式的振子的概略结构的示意图，图6(a)为俯视图，图 6(b)为图6(a)的F-F线的剖视图。另外，在本实施方式中，以作为在所述第一实施方 式中已经说明的振动片的水晶振动片20为例，说明其结构。如图6所示，作为振子的水晶振子5具备第一实施方式的水晶振动片20和用 于收纳水晶振动片20的外壳80。外壳80由外壳基座81、接缝圈82、盖体85等所组成。 在外壳基座81上，形成有能够收纳水晶振动片20的凹部，在该凹部上设置有两个连接垫88，所述连接垫88连接在水晶振动片20的未图示的贴装电极(mounting electrode)。连 接垫88被构成为，其连接在外壳基座81内的配线，且能够与设置在外壳基座81的外周 部上的外部接线端子83进行导通。在外壳基座81的凹部周围上，设置有接缝圈82。并且，在外壳基座81的底部 上，设置有贯通孔86。水晶振动片20通过导电性粘合剂84而被粘合固定在外壳基座81 的连接垫88上。而且，外壳80中，盖体85和接缝圈82被缝焊，所述盖体85用于覆盖 外壳基座81的凹部。在外壳基座81的贯通孔86中，填充了由金属材料等组成的密封材 料87。该密封材料87在减压环境内熔融后并被固化，从而对贯通孔86进行气密封装， 以便能够维持外壳基座81内是减压状态。通过外部接线端子83的来自外部的驱动信号， 对水晶振动片20进行激励，使水晶振子5以规定频率(例如32kHz)进行振荡(共振)。如上所述，由于水晶振子5具有在所述实施方式中进行说明的水晶振动片20， 所以能够提供一种具有稳定的振动特性且耐冲击性较高的水晶振子5。另外，即使水晶振子5使用例如水晶振动片70等其他方式的振动片，来代替水 晶振动片20，也可以获得同样的效果。并且，虽然在本实施方式中，说明了将水晶振动片20固定在设于两处的连接垫 88上的结构，但连接垫88并不仅限于两处，也可以设置所需要的个数，并且与水晶振动 片20之间的连接也可在所希望的连接位置上进行。(第四实施方式)其次，对作为第四实施方式，具有作为上述已说明的振动片的水晶振动片的振 荡器进行说明。图7为，表示第四实施方式的振荡器的概略结构的示意图，图7(a)为俯视图， 图7(b)为图7(a)的G-G线的剖视图。另外，在本实施方式中，以在所述第一实施方式 中已经说明的作为振动片的水晶振动片20为例，说明其结构。作为振荡器的水晶振荡器6的结构为，在上述水晶振子5的结构中还具有电路元 件。并且，对于与水晶振子5的共通部分，标记相同的符号，并省略详细的说明。如图7所示，水晶振荡器6具备第一实施方式的水晶振动片20 ；作为电路元 件的IC芯片91，其具有使水晶振动片20振荡的振荡电路；外壳80，其用于收纳水晶振 动片20及IC芯片91。IC芯片91被固定在外壳基座81的底部，且通过金线等金属导线 92而被连接在其他的配线上。通过来自IC芯片91的振荡电路的驱动信号，对水晶振动 片20进行激励，使水晶振荡器6以规定的频率(例如32kHz)进行振荡(共振)。如上所述，由于水晶振荡器6具备在所述实施方式中说明的水晶振动片20，所 以能够提供一种具有稳定的振动特性且耐冲击性较高的水晶振荡器6。另外，即使水晶振荡器6使用水晶振动片70来代替水晶振动片20，也能够获得 同样的效果。并且，虽然在本实施方式中，已经说明了将水晶振动片20固定在设于两处的连 接垫88上的结构，但连接垫88并不仅限于两处，也可以设置所需要的个数，并且与水晶 振动片20之间的连接也可在所希望的连接位置上进行。(产业上的可利用性)当作为所述振动片的水晶振动片20、70因掉落等冲击而使振动臂产生较大位移时，由于具有能够缓和冲击并对振动臂的位移进行限制的承接部，所以能够确保耐冲击 性，并且能够维持稳定的振动特性。 因此，安装了该水晶振动片20、70的水晶振子5或者水晶振荡器6，作为计时 设备等，而广泛用于数字移动电话、个人电脑、电子表、录像机、电视机等电子仪器。 并且，能够适合用于这些电子仪器的小型化等，特别是用于需要耐冲击性的携带式仪器寸。
权利要求
1. 一种振动片，其特征在于，具有基部；振动臂，其从所述基部延伸；支承臂，其从所述基部延伸，且至少一部分与所述振动臂并行延伸； 承接部，其以使所述支承臂与所述振动臂之间的间隔变窄的方式，由所述支承臂的 一部分以突起状延伸而形成。
2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，所述承接部与所述振动臂相面对，并被设置在，由从外部施加的电场引起所述振动 臂振动时的振幅范围之外，且在所述振动臂的位移超过所述振幅范围时与所述振动臂接 触的位置上。
3.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述承接部被设置在所述支承臂的前端侧上。
4.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，在所述支承臂上设置有多个所述承接部，所述承接部被构成为，当所述振动臂产生 弯曲变形时与所述振动臂的长度方向上的多个位置相接触。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的振动片，其特征在于，所述振动臂具有两个主面和两个侧面，所述两个侧面连接所述两个主面并向所述振 动臂的长度方向延伸，并且，在所述振动臂上沿着所述振动臂的所述长度方向设置有具有底部的长槽，所 述长槽在所述两个主面中的至少一个主面上具有开口部，所述承接部被设置为，当所述振动臂产生超过通常振动时的所述振幅范围的位移而 导致所述振动臂与所述承接部相接触时，所述承接部中与所述振动臂的抵接部分，位于 比形成有所述长槽的区域更靠前端侧的位置上。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的振动片，其特征在于，在所述振动臂的前端侧上，设置有宽度比所述振动臂的所述基部侧更宽的锤部， 当所述振动臂上产生超过通常振动时的所述振幅范围的位移而导致所述振动臂与所 述承接部相接触时，所述承接部中与所述振动臂的抵接部分被配置成，与所述锤部进行 接触。
7.如权利要求6所述的振动片，其特征在于，所述承接部的所述抵接部分被配置为，与所述振动臂的所述锤部的侧面进行面接触。
8.如权利要求1至7中任意一项所述的振动片，其特征在于，所述支承臂具有比所述振动臂的所述两个侧面之间最细部分的宽度更细的部分。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的振动片，其特征在于，所述承接部被形成为，其宽度小于所述支承臂的所述基部侧的宽度。
10.如权利要求1至9中任意一项所述的振动片，其特征在于， 所述振动片是由压电材料形成的压电振动片。
11.如权利要求10所述的振动片，其特征在于， 作为所述压电材料使用水晶，在所述基部上具有一对切口，该一对切口分别被设置在，所述水晶的由X轴、Y轴 以及Z轴所组成的正交坐标系中沿着X轴方向的一条直线的相反方向上，以此在该基部 的两个主面上出现被缩窄的形状，所述振动臂从所述基部的Y轴方向的一端部向Y轴方向延伸， 至少在所述振动臂的+X —侧上，设置有具备所述承接部的所述支承臂。
12.如权利要求1至11中任意一项所述的振动片，其特征在于， 在所述抵接部分上设置有冲击缓冲构件。
13.—种振子，其特征在于，具备权利要求1至12中任意一项所述的振动片； 外壳，其用于收纳所述振动片。
14.一种振荡器，其特征在于，具备权利要求1至12中任意一项所述的振动片； 电路元件，其具有用于使所述振动片振荡的振荡电路； 外壳，其用于收纳所述振动片以及所述电路元件。
15.—种电子仪器，其特征在于，其具备权利要求1至12中任意一项所述的振动片、权利要求13所述的振子或权利 要求14所述的振荡器中的任意一种。
全文摘要
本发明提供耐冲击性较高的小型振动片。水晶振动片(20)具备基部(21)；一对振动臂(22)，其从该基部(21)的一端侧分成两段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿着一条直线的相反方向上形成一对切口(41A)、(41B)，以此在该两个主面上出现被缩窄的形状。一对支承臂(30)被设置为，基部(21)中的与一对振动臂(22)的延伸方向交叉的方向上的两个端部，分别在相反的方向延伸后，在弯曲部(31)处弯曲，并与一对振动臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端侧上设置有承接部(35)，其被配置在相邻振动臂(22)的通常振动时的振幅范围之外，且在相邻振动臂(22)的位移超过通常振幅范围时与该振动臂(22)抵接的位置上。
文档编号H03H9/00GK102025342SQ201010286678
公开日2011年4月20日 申请日期2010年9月17日 优先权日2009年9月18日
发明者吉田周平, 山田明法 申请人:精工爱普生株式会社