安装头部单元、安装装置、制造基板方法和旋转驱动机构与流程

本发明涉及用于将电子部件安装基板上的安装头部单元，涉及部件安装装置，涉及制造基板的方法，和涉及旋转驱动机构。

背景技术：
在相关领域中，公知的是日本专利第3750170号中描述的使用可旋转旋转头的部件安装机（下面称之为专利文件1）。在旋转的旋转头周围，布置了许多可上下移动的吸力喷嘴（suctionnozzle）。如专利文件1的图1所示，通过基座轴的旋转来旋转该旋转头的支撑部。设置于支撑部的吸力喷嘴旋转地移动。预定的吸力喷嘴位于吸力位置。位于吸力位置的吸力喷嘴吸附电子部件。而且，可与基座轴同轴旋转的旋转管在下端部（靠近支撑部的位置）设置有旋转盘。设置该旋转盘，使得所述旋转盘的外围面保持与设置于所述吸力喷嘴的摩擦环接触。当所述旋转盘旋转时，旋转力通过摩擦环施加给吸力喷嘴。这样，吸力喷嘴转动。因此，可以校正吸力喷嘴所吸附的部件的定向。

技术实现要素：
为了提高其上安装有电子部件的基板的产量，假定增加了吸力喷嘴的数量。然而，理想的是，减小旋转头的尺寸和重量。随着吸力喷嘴数量增加，很难减小旋转头的尺寸。鉴于上述情况，理想的是，提供能够减小尺寸同时增加用于保持部件等等的保持部数量的安装头部单元、部件安装装置、制造基板的方法和旋转驱动机构。根据本公开的实施例，提供一种包括主体部、多个保持部和驱动机构的安装头部单元。所述多个保持部配置成保持多个部件，所述多个保持部均具有纵方向并且由布置于与纵方向相交的方向上的主体部旋转地支撑。驱动机构包括多个旋转机构部，所述多个旋转机构部分别安装在所述多个保持部上，以旋转所述多个保持部中每个，从而所述旋转机构部安装在相互毗邻的所述保持部的所述纵方向上的不同安装位置。在这种安装头部单元中，旋转机构部分别安装在保持部上以旋转所述多个保持部中的每个。设置旋转机构部，这样所述旋转机构部安装在互相毗邻的保持部的纵方向上的不同安装位置。因此，所述多个保持部可以设置于所述主体部，这样相互毗邻的保持部在与纵方向相交的方向上足够靠近。结果是，可以增加保持部的数量而不增加主体部的尺寸。也就是说，可以减小安装头部单元的尺寸，同时增加用于保持部件等等的保持部数量。所述驱动机构可包括旋转驱动部，所述旋转驱动部配置成旋转安装在所述多个保持部上的所述多个旋转机构部中的每个。在这种安装头部单元中，所述旋转机构部旋转，从而旋转所述保持部。而且，提供配置成旋转所述多个旋转机构部中每个旋转机构部的旋转驱动部。这样，可以减小所述安装头部单元的尺寸。所述多个旋转机构部可以包括多个齿轮。在这种情况下，旋转驱动部可以包括接合所述多个齿轮中每个齿轮的驱动齿轮。可以设置所述驱动齿轮，其配置成旋转所述多个齿轮中的每个齿轮。这样，可以减小所述安装头部单元的尺寸。所述主体部可以包括具有旋转轴的旋转体。在这种情况下，所述旋转体的外周缘部支撑所述多个保持部。而且，所述驱动齿轮可以设置在多个保持部所包围的区域中，以可与旋转轴同轴旋转。通过设置可与旋转体同轴旋转的驱动齿轮，可以减小安装头部单元的尺寸。可以支撑所述多个保持部，使得所述纵方向相对于所述旋转轴倾斜。而且，所述安装头部单元可以进一步包括支撑体，所述支撑体配置成相对于竖直方向倾斜地支撑旋转轴，这样所述多个保持部中至少一个保持部的纵方向沿着所述竖直方向。相对于竖直方向倾斜地支撑旋转轴，因此，上述至少一个保持部设置在竖直方向而其余保持部设置在相对于竖直方向的更高位置。可以容易实现检查，并且实现在较高位置设置的保持部上的部件的保持状态等等。所述多个保持部可以倾斜地支撑于所述旋转体，这样多个保持部的一端部分相比于多个保持部的其他端部而更接近旋转轴，其他端部配置成，保持所述多个部件。在这种情况下，所述多个齿轮可配置成，以所述保持部的纵方向为轴线而单独旋转，其中保持部上安装许多齿轮。而且，所述驱动齿轮可以包括沿着纵方向的倾斜于旋转轴的方向的锥形接合面，以便与所述多个齿轮中的每个接合。所述多个齿轮可交替地安装在所述多个保持部的纵方向的第一安装位置和不同于第一安装位置的第二安装位置上。所述多个齿轮可交替地设置在所述第一安装位置或第二安装位置上。这样，容易在所述多个保持部上安装多个齿轮。而且，可以防止驱动机构的配置变复杂。所述驱动齿轮可以包括形成在锥形接合面上的齿，第一接合区域和第二接合区域之间的中间点为齿宽参考，其中，第一接合区域配置成与在第一安装位置安装的齿轮接合，第二接合区域配置成，与在第二安装位置安装的齿轮接合。在这种安装头部单元中，齿形成在锥形接合面上，第一接合区域和第二接合区域之间的中间点为齿宽参考。这样，所述驱动齿轮和交替安装在第一安装位置和第二安装位置上的多个齿轮之间的接合状态可良好。所述多个保持部可以包括配置成能够吸附多个部件的多个喷嘴。所述旋转机构部可以包括电机。根据本公开的另一个实施例，提供一种包括支撑单元、主体部、多个保持部和驱动机构的部件安装装置。所述支撑单元配置成支撑基板。所述主体部配置成可在由支撑单元所支撑的基板上移动。所述多个保持部配置成保持多个部件和将所保持的多个部件安装在所述基板上，所述多个保持部均具有纵方向和由布置于与纵方向相交的方向上的主体部旋转地支撑。所述驱动机构包括多个旋转机构部，其分别安装在所述多个保持部上以旋转多个保持部中的每个，这样旋转机构部安装在相互毗邻的保持部的纵方向上的不同安装位置。根据本公开的另一个实施例，提供通过包括支撑单元和安装头部单元的部件安装装置而制造基板的方法，其中，所述支撑单元配置成支撑所述基板，所述安装头部单元配置成将部件安装在所述基板上。所述安装头部单元包括主体部、多个保持部和驱动机构。所述主体部配置成，可在由支撑单元所支撑的基板上移动。所述多个保持部配置成，保持多个部件，所述多个保持部均具有纵方向和由布置于与纵方向相交的方向上的主体部旋转地支撑。所述驱动机构包括多个旋转机构部，其安装在所述多个保持部上以旋转多个保持部中的每个，这样旋转机构部安装在相互毗邻的保持部的纵方向上的不同安装位置。这种制造基板的方法包括，通过所述多个保持部保持所述多个部件。通过利用分别安装在驱动机构的多个保持部上的所述多个旋转机构部来旋转所述多个保持部中的每个，可以调整由所述多个保持部保持的多个部件中的每个的定向。所述主体部可在基板上移动且所述多个部件通过所述多个保持部安装在基板上。根据本公开的另一个实施例，提供一种包括主体部、多个构件和驱动机构的旋转驱动机构。所述多个构件均具有纵方向和由布置于与纵方向相交的方向上的主体部旋转地支撑。所述驱动机构包括：旋转机构部，旋转机构部分别安装在所述多个构件上以旋转多个构件中的每个，这样旋转机构部安装在相互毗邻的构件的纵方向上的不同安装位置；和旋转驱动部，用于旋转安装在所述多个构件上的多个旋转机构部中的每个，所述多个构件共用所述旋转驱动部。如上所述，根据本公开的实施例，可以减小尺寸，同时增加用于保持部件等等的保持部的数量。结合下列最佳模式实施例的详细说明，本发明的这些以及其他目标、特征、优势将更显而易见，如附图所示。附图说明图1示出了根据本公开一个实施例的部件安装装置的前视图；图2示出了图1中所示的部件安装装置的平面图；图3示出了图1中所示的部件安装装置的侧视图；图4是示出了根据该实施例的安装头部单元的配置的横截面图；图5是主要示出了转台（turret）和多个喷嘴单元的透视图；图6是主要示出了驱动机构和所述多个喷嘴单元的横截面图；图7是用于解释驱动齿轮和第一及第二齿轮之间位置关系的示意性透视图；图8是示出了驱动齿轮和第一及第二齿轮的示意性平面图；图9是示意性示出了驱动齿轮和第一齿轮之间的接合的横截面图；图10是示意性示出了驱动齿轮和第二齿轮之间的接合的横截面图；图11A和11B是用于解释驱动齿轮的锥形接合面上形成的齿的示意图；图12是用于解释驱动齿轮的锥形接合面上形成的齿的示意图；图13是示出了根据另一个实施例制造的驱动齿轮的透视图；图14是用于解释制造图13中所示的驱动齿轮的方法；图15是用于解释通过安装头部单元对电子部件进行的吸附操作的视图；和图16是用于解释安装头部单元对电子部件进行的安装操作的视图。具体实施方式下面，将参考附图说明本公开的实施例。部件安装装置的操作图1示出了根据本公开一个实施例的部件安装装置100的前视图。图2示出了图1中所示的部件安装装置100的平面图。图3示出了部件安装装置100的侧视图。所述部件安装装置100包括框架10、安装头部单元150、和带式给料器安装部20。所述安装头部单元150保持电子部件（未示出）并且将所述电子部件安装在作为安装目标的电路基板W上（以下简称为基板）。带式给料器90安装在带式给料器安装部20上。而且，部件安装装置100包括保持和输送基板W的输送器单元16（见图2）。框架10包括设置在底部的基座11和固定在基座11上的多个支撑柱12。多个支撑柱12的上部分设置有，例如，两个沿着图中X轴方向的X梁13。例如，在两个X梁13之间，Y梁14沿着Y轴方向。安装头部单元150连接到Y梁14上。X梁13和Y梁14分别配备了X轴移动机构和Y轴移动机构（未示出）。这些移动机构允许安装头部单元150沿着X轴和Y轴移动。尽管通常用滚珠丝杠驱动机构构成所述X轴移动机构和Y轴移动机构，但是还可以使用其他机构，例如，皮带驱动机构。提供多个安装头部单元150，主要为了提高产量。在这种情况下，所述多个安装头部单元150在X轴方向和Y轴方向上被单独驱动。如图2所示，部件安装装置100的前侧（图2中下侧）和后侧（图2中上侧）均设置有带式给料器安装部20。图中的Y方向就是部件安装装置100的前方和后方。在每个带式给料器安装部20中，所述多个带式给料器90沿着X轴方向布置和安装。例如，所述带式给料器安装部20中可以安装40至70个带式给料器90。在这种实施例中，总共可以安装116个带式给料器90（前面58个和后面58个）。注意到，尽管部件安装装置100的前侧和后侧上均设置带式给料器安装部20，但是带式给料器安装部20可以设置在前侧和后侧中的任一个上。带式给料器90在Y轴方向上较长。尽管附图中未详细示出，但是带式给料器90包括卷轴和容纳电子部件输送带绕在该卷轴周围，所述电子部件诸如电容器、电阻器、发光二级光（LED）和集成电路（IC）封装件。而且，带式给料器90包括用于以分步方式进给输送带的机构。对于每个进料分步，电子部件一个接一个供给。如图2所示，供给窗91形成在带式给料器90的盒子的端部的上表面。通过所述供给窗91供给电子部件。布置有多个供给窗91的区域用作电子部件的供给区S，其中，当布置多个带式给料器90时，该区域沿着X轴方向形成。注意，在一个带式给料器90的输送带上，容纳了大量同一类型的电子部件。待安装在带式给料器安装部20中的带式给料器90中，相同类型的电子部件可以容纳在多个带式给料器90上。输送器单元16设置在部件安装装置100的Y轴方向上的中心部分。所述输送器单元16沿着X轴方向输送基板W。例如，如图2所示，输送器单元16的几乎位于X轴方向的中心位置处的区域充当安装区域M，输送器单元16所支撑的基板W位于所述区域上方。在安装区域M中，安装头部单元150通过进入该区域而执行电子部件的安装。如图1所示，部件安装装置100包括第一照相机52和第二照相机53。第一照相机52从侧面对保持电子部件的喷嘴单元70进行成像。第二照相机53从下面通过镜子54对喷嘴单元70进行成像。所述第一照相机52、第二照相机53和镜子54由支撑台36支撑。支撑台36连接至所述X轴移动机构和Y轴移动机构。所述支撑台36与安装头部单元150能够一体地移动。也就是说，第一照相机52、第二照相机53等等与安装头部单元150能够一体地移动。第一照相机52定位在这样的位置，使得第一照相机52可以从侧面对多个喷嘴单元70（图1中，喷嘴70在最左侧）中最高的喷嘴单元70进行成像。第二照相机53位于这样一个位置，使得第二照相机53可以从下面通过镜子54对所述多个喷嘴单元70中最高的喷嘴单元70进行成像。注意，下面，第一照相机52和第二照相机53所成像的喷嘴单元70的位置称作成像位置。第一照相机52和第二照相机53在所述成像位置实现成像。根据采集的图像，识别电子部件的吸力状态。例如，识别喷嘴单元70是否正常吸附电子部件。而且，识别喷嘴单元70所吸附电子部件的定向等等。例如，根据识别结果，喷嘴单元70适当地旋转，以校正所吸附电子部件的定向。可替换地，例如，可以识别所吸附电子部件是否有缺陷。第一照相机52和第二照相机53可由例如电荷耦合装置（CCD）或互补金属氧化物半导体（CMOS）构成。而且，部件安装装置100包括用于检测输送至安装区域M的基板W精确位置的基板照相机（未示出）。检测到基板W的精确位置之后，安装头部单元150开始电子部件的安装操作。所述基板照相机连接至所述X轴移动机构和Y轴移动机构，并且可以与所述安装头部单元150一体地移动。尽管稍后也将详细说明，但是安装头部单元150包括支架30、基座轴35和转台50。支架30连接至Y梁14的Y轴移动机构。基座轴35充当由支架30支撑的主旋转轴。转台50固定在基座轴35的下端部。而且，安装头部单元150包括多个连接至转台50外周缘部的喷嘴单元70。例如，提供了16个喷嘴单元70。喷嘴单元70的数量不受限制。注意，支架30可以连接至X轴移动机构。在这种情况下，Y轴移动机构沿着Y轴方向移动X轴移动机构和安装头部单元150。如上所述，安装头部单元150可沿着X轴方向和Y轴方向移动。喷嘴单元70在供给区域S和安装区域M之间移动。而且，喷嘴单元70在安装区域M内沿着X轴方向和Y轴方向移动，以便在安装区域M中实现安装。当旋转所述转台50时，安装头部单元150使得多个喷嘴单元70分别在单个步骤中连续不断地保持所述多个电子部件。而且，所述多个喷嘴单元70所吸附的多个电子部件持续不断地安装在一个基板W上。与此同时，所述多个喷嘴单元70中的每个都旋转，这样可以适当地调整由多个喷嘴单元所保持的多个电子部件的定向。尽管输送器单元16通常是皮带式输送器，但是本发明不作任何限制，和可以使用任何输送单元，例如辊式，在这种类型中，支撑基板W的支撑机构可滑动地移动，或者可使用非接触式。输送器单元16包括沿着X轴方向铺设的导轨16b和皮带部分16a。由于设置了导轨16b，所以可以在校正所输送基板W在Y轴方向的轴心差的同时输送基板W。升降机构（未示出）连接至皮带部分16a。基板W放置于皮带部分16a上。在这种状态下，通过在安装区域M中上升所述皮带部分16a，可以在所述基板W夹在皮带部分16a和导轨16b之间的同时保持所述基板W。在这种情况下，皮带部分16a和导轨16b充当基板的保持单元。也就是说，保持单元形成输送器单元16的一部分。安装头部单元的配置图4示出了根据该实施例的安装头部单元150的配置的横截面图。图5主要示出了转台50和多个喷嘴单元70的透视图。注意，在图4中，省略了为吸附电子部件而供给的空气的供给通道等等的说明。参考图4，如上所述，安装头部单元150包括支架30、由支架30所支撑的基座轴35、和设置在基座轴35的下端部的转台50。在转台50的外周缘部中，支撑所述多个喷嘴单元70。在该实施例中，基座轴35和转台50（作为旋转轴）对应主体部。主要地，基座轴35和转台50构成包括旋转轴的旋转体。如图4所示，支架30支撑基座轴35（与竖直方向（Z轴方向）正交地）。支架30通过轴承38而旋转地支撑基座轴35的上部分。在支架30的下部侧，皮带轮37固定于基座轴35。尽管附图中未示出，但是电机经由皮带而连接至皮带轮22。这样，可以旋转地驱动所述基座轴35。转台50包括主体55，其中，安装孔55a形成在主体中。基座轴35插入安装孔55a中并固定在其中。这样，基座轴35与转台50可一体地旋转，其中基座轴35成为中心旋转轴。转台50的主体55具有的形状使得直径在基座轴35的方向上朝向支架30的位置（向上）而减小。因此，主体55的外围面55b是锥形。在主体55的外周缘部，沿着外围面55b形成多个支撑孔55c。喷嘴单元70可旋转地设置于所述支撑孔55c。在该实施例中，所述多个喷嘴单元70对应于能保持供应至供给区域S的多个电子部件的多个保持部。每个喷嘴单元70包括喷嘴71和覆盖喷嘴71外圆周的喷嘴保持件73。喷嘴保持件73经由位于喷嘴保持件73两端部的轴承（未示出）而可旋转地连接到转台50。在喷嘴71的梢端部714中形成孔（未示出）。梢端部714中的孔的尺寸适于保持尺寸小于例如1mm*1mm的电子部件。可以提供多个孔。如图5所示，盘簧76设置在喷嘴71的上部上。例如，喷嘴驱动单元（未示出）的压辊向下挤压喷嘴71的上端72部（克服盘簧76的偏置力）。当喷嘴71在喷嘴保持件73中移动和下降时，盘簧76压缩。当压辊的压力释放时，由于盘簧76的回复力，喷嘴71上升。作为喷嘴驱动单元，可以使用，例如已公开的日本专利申请No.2005-150638中所示的机构。所述多个喷嘴单元70均具有纵方向L并且由布置于与纵方向L相交的方向的转台50旋转地支撑。在该实施例中，与纵方向L相交的方向对应主体55的上表面55d的平面方向。尽管根据本实施例的上表面55d朝向基座轴35倾斜，但是上表面55d不限于这种形状。也就是说，对于所述多个喷嘴单元70的布置方向没有限制（与纵方向L相交的方向）。所述布置方向可以与纵方向L正交。所述布置方向不一定与纵方向L正交。所述多个喷嘴单元70间距相等地设置在圆周上，以基座轴35为中心。所述多个喷嘴单元70由转台50的外周缘部支撑，这样各个喷嘴单元70的纵方向L相对于基座轴35的方向倾斜。所述多个喷嘴单元70设置的方向使得所述多个喷嘴单元70的纵方向L以基座轴35为中心而径向地延伸。特别地，如图4等所示，支撑所述多个喷嘴单元70，使得保持电子部件的各个喷嘴71的梢端部714相反侧的上端部72更靠近所述基座轴35。喷嘴71的梢端部714位于远离基座轴35的位置。结果是，喷嘴71的梢端部714位于以基座轴35为中心的圆周（称为第一圆周）上。相反侧的上端部72位于以基座轴35为中心的圆周上，其半径小于所述第一圆周的半径。所述基座轴35由支架30支撑，使得所述多个喷嘴单元70中至少一个喷嘴单元70的纵方向沿着竖直方向（Z轴方向）。在所述多个喷嘴单元70中，一个喷嘴单元70A的纵方向L沿着Z轴方向，用于将电子部件安装在基板W上。通过转台50的旋转，选择任何一个喷嘴单元70A。所选的喷嘴单元70A进入带式给料器90的供给窗91，吸附和保持电子部件，移动至安装区域M，然后下降。通过这种方式，将电子部件安装在基板W上。下面，设置成纵方向L沿着Z轴方向的喷嘴单元70A的位置称之为喷嘴操作位置。位于喷嘴操作位置的喷嘴单元70A吸附电子部件和将电子部件安装在基板上。在该实施例中，上述成像位置位于喷嘴操作位置相对于转台50成几乎180°的相反位置。在该实施例中，相对于竖直方向倾斜地支撑基座轴35，因此成像位置上的喷嘴单元70位于相对于竖直方向的更高的位置上。当喷嘴单元70设置在更高位置上时，第一照相机52和第二照相机53容易实现成像和容易检查该部件的保持状态等等。而且，喷嘴单元70设置在最高位置上，因此对喷嘴单元70进行成像的第一照相机52和第二照相机53也变得更容易安装。第一照相机52和第二照相机53安装位置的选择范围扩大，并且可通过适当地设置安装位置而减小部件安装装置100的尺寸。驱动机构的配置根据本实施例的安装头部单元150包括用于使各个喷嘴单元70可旋转的驱动机构。下面将详细说明驱动机构。图6至图10是用于详细解释驱动机构的配置的示意性视图。驱动机构200包括齿轮201，其充当分别安装在各个喷嘴单元70上以旋转所述各个喷嘴单元70中的每个的旋转机构部。所述多个齿轮201以其喷嘴单元70的纵方向L为轴而独立旋转，多个齿轮201设置其上。因此，通过旋转各个齿轮201，喷嘴单元70以纵方向L为轴而旋转。所述多个齿轮201具有几乎相同的形状并且包括相同数量的齿。如图4等等所示，所述多个齿轮201安装在互相毗邻的喷嘴单元70的纵方向L的不同安装位置上。在该实施例中，所述多个齿轮201交替地安装在所述多个喷嘴单元上，以Z字形方式，在纵方向，第一安装位置311和不同于第一安装位置311的第二安装位置321上具有互相偏移。也就是说，所述多个齿轮201以Z字形方式安装在以基座轴35为中心的多个喷嘴单元70上。为了便于说明，如图6所示，所述多个喷嘴单元70按顺序编号。齿轮201安装在分别具有奇数号的喷嘴单元70的第一安装位置311上。如图5所示，第一安装位置311靠近喷嘴单元70纵方向L上的转台50的主体55的上表面55d。下面，安装在第一安装位置311上的齿轮201还称作第一齿轮211。齿轮201安装在分别具有偶数号的喷嘴单元70的第二安装位置321上。如图5所示，第二安装位置321远离转台50主体55上表面55d，所远离的量对应于喷嘴单元70的纵方向L上的第一齿轮211。第二安装位置321的位置使得，安装的齿轮201和相邻的第一齿轮211互不干扰。安装在第二安装位置321的齿轮201也称作第二齿轮221。上述多个齿轮201以Z字方式安装，因此可以增加喷嘴单元70的布置密度。结果是，可以增加喷嘴单元70的数量，而不增加转台50的尺寸。也就是说，可以减小安装头部单元150的尺寸，同时增加用于保持电子部件的喷嘴单元70数量。而且，在该实施例中，安装在各个喷嘴单元70上的齿轮201具有所谓的剪式齿轮配置。也就是说，齿轮201包括第一轮201a、在纵方向L上与第一轮201a毗邻的第二轮201b、和偏置构件（未示出）。盘簧等等可以用作偏置构件。所述第一轮201a和第二轮201b具有几乎相同的形状。因此，所述第一轮201a和第二轮201b具有相同数量的齿。第二轮201b设置成相对于第一轮201a可移动（可旋转的）。第二轮201b被一偏置构件相对于第一轮201a沿周向而弹性地偏置到一侧。因此，第一轮201a和第二轮201b夹住与第一轮201a和第二轮201b接合的轮齿。剪式齿轮等配置不受限制。例如，第一轮201a可固定在喷嘴单元70上而第二轮201b可以相对于喷嘴单元70移动。可替换地，第一轮201a和第二轮201b都可安装成相对于所述喷嘴单元70而可移动。而且，偏置构件的偏置方向通常与喷嘴单元70的旋转方向相反。然而，这些不受限制和可以适当地设置。驱动机构200包括旋转驱动部，其旋转安装在所述多个喷嘴单元70上的多个齿轮201。在该实施例中，与所述多个齿轮201接合的驱动齿轮250用作旋转驱动部。如图4所示，外层管40连接到基座轴355的外围面上，在由支架30支撑基座轴35的位置与基座轴35的连接有转台50的位置之间。外层管40经由轴承43和44连接至基座轴35上并且相对于基座轴35而可旋转。旋转驱动单元例如使用皮带轮和皮带（未示出）可以连接至外层管40。保持所述轴承43和44的管套46设置在例如基座轴35和外层管40之间。在转台50一侧上的外层管40的端部处形成的凸缘40a中，外层管40和驱动齿轮250用螺钉41固定。这样，所述外层管40和大直径齿轮42一体地旋转。如上所述，在该实施例中，驱动齿轮250设置在多个喷嘴单元70所包围的区域中，可与基座轴35同轴地旋转。驱动齿轮250与所述基座轴35同轴布置，充当转台50的旋转轴，因此容易实现转台50和驱动齿轮250能够共同旋转的配置，例如，使用单个驱动源，如电机。这样，可以减小所述安装头部单元150的尺寸。图7是用于解释驱动齿轮250和第一齿轮211及第二齿轮221之间位置关系的示意性透视图。图8是其平面图，和图9及图10是横截面视图如图7所示，驱动齿轮250包括用于与所述多个齿轮201接合的锥形接合面251。如上所述，多个齿轮201以喷嘴单元70的纵方向L为轴而旋转，多个齿轮201安装在喷嘴单元70上。因此，驱动齿轮250的锥形接合面251设置在沿纵方向L的方向上，以倾斜于基座轴35。如图7和图9所示，驱动齿轮250d锥形接合面251的第一接合区域260与安装在喷嘴单元70de第一安装位置321上的第一齿轮211接合。所述第一接合区域260是锥形接合面251下侧的一个区域。第一接合区域260是靠近转台50的上表面55d的一个区域。锥形接合面251周围的第一接合区域260与分别安装在所述多个喷嘴单元70上的多个第一齿轮211接合。如图7和图10所示，驱动齿轮250的锥形接合面251的第二接合区域270与位于喷嘴单元70的第二安装位置321的第二齿轮221接合。所述第二接合区域270是锥形接合面251的上侧上的一个区域。第二接合区域270是远离转台50的上表面55d的一个区域。锥形接合面251周围的第二接合区域270与分别安装在所述多个喷嘴单元70上的多个第二齿轮221接合。如上所述，以Z字形方式安装在多个喷嘴单元70上的第一齿轮211和第二齿轮221与驱动齿轮250的第一接合区域260和第二接合区域270接合。因此，如图8所示，彼此足够近地布置喷嘴单元70，使得第一齿轮211的旋转范围和第二齿轮221的旋转范围互相重叠。结果是，可以增加喷嘴单元70的数量而不增加转台50的尺寸。这样，可以减小安装头部单元150的尺寸。图11A、图11B和图12是用于解释驱动齿轮250的锥形接合面251上形成的齿的示意图。例如，如图11A所示，待作为驱动齿轮250的构件250a的中心轴O（旋转轴）是倾斜的，使得锥形接合面251平行于由交替的长短虚线所指示的水平方向。构件250a的中心轴O由交替的长线和两条短虚线所指示。通过刀片900以水平方向进入所述水平方向上设置的锥形接合面251，实现齿轮切割。这里，假定所使用的刀片900用于形成通用正齿轮。当构件250a的中心轴O旋转时，循序地实现齿轮切割。通过这种方式，可以制造在锥形接合面251上形成有齿的驱动齿轮250。图11B是受到图11A所示方法的齿轮切割的驱动齿轮250的平面图。图11B中所示的锥形接合面251上的彩色部分是由刀片900切割的切割部分252。切割部分252之间的部分是齿253。图11B中交替的长短虚线示出了以水平方向进入的刀片900的进入方向。可由能够在进入方向上沿着锥形接合面251的表面方向进行切割的多个刀片在单个步骤中实现齿轮切割，并且形成多个齿253。图12是示出了图11B中所示的驱动齿轮250的锥形接合面251的放大图（放大状态）。如图12所示，在该驱动齿轮250中，所形成的齿253的齿宽从驱动齿轮250的上表面254到下表面255而逐渐增加。也就是说，与第一齿轮211接合的第一接合区域260和与第二齿轮221接合的第二接合区域270中的齿253的齿宽不同。结果是，在某些情况下，必须做出调整等等，使得第一齿轮211和第二齿轮221中的每个与驱动齿轮250接合。例如，在第二接合区域270的上表面254侧上，互相毗邻的齿互相影响。而且，第一接合区域260的下表面255上，齿宽可能太大，这样会影响与第一齿轮211的接合。鉴于此，下面将说明形成驱动齿轮250的齿的另一个实施例。注意，根据该实施例，通过上述齿轮切割步骤可以适当地制造所述驱动齿轮250。图13是示意性示出了根据另一个实施例制造的驱动齿轮250的透视图。图14是用于解释根据该实施例的驱动齿轮250的制造方法的视图。在该实施例中，齿形成在锥形接合面251上，其中，与安装在第一安装位置311的第一齿轮211接合的第一接合区域260和与安装在第二安装位置321的第二齿轮221接合的第二接合区域270之间的中间点300作为齿宽参考。“中间点300作为齿宽参考”意味着，实现齿轮切割步骤，使得中间点300处，形成在第一接合区域260的齿253的齿宽几乎等于形成在第二接合区域270的齿的齿宽。如上所述，齿253形成在锥形接合面251上，第一接合区域260和第二接合区域270之间的中间点300作为齿宽参考。这样，可以充分地抑制驱动齿轮250和交替安装在第一安装位置311和第二安装位置321上的第一齿轮211和第二齿轮221之间的接合的变化。这些齿轮之间的接合状态能够保持良好。而且，如图14所示，第一齿轮211与驱动齿轮250之间的中心距离D2不同于第二齿轮221与驱动齿轮250之间的中心距离。也就是说，第一接合区域260和第二接合区域270具有不同的节圆直径（PCD）的驱动齿轮250。中心距离（或节圆直径）不同，因此必须调整第一齿轮211和第二齿轮221的齿的数量、形状等等。然而，齿253形成在锥形接合面251上，中间点300处的齿宽为基准，其可以因中心距离的不同而抑制影响等等。第一齿轮211和第二齿轮221布置在更靠近中间点300的位置，这样其充分抑制该影响等等。结果是，使用具有相同数量的齿和几乎相同形状的齿轮作为第一齿轮211和第二齿轮221。也就是说，第一齿轮211和第二齿轮221对于驱动齿轮250可以具有恒定齿轮比。结果是，对应驱动齿轮250的旋转，第一齿轮211和第二齿轮221各自旋转相同的角度。因此，容易控制第一齿轮211和第二齿轮221的旋转操作。这有利于校正电子部件的定向，下文将详细叙述。在该实施例中，中间点300几乎设置在锥形接合面251的正中。这样，容易形成齿253，其具有中间点300处的作为基准的齿宽。而且，容易抑制第一齿轮211和第二齿轮221与驱动齿轮250之间接合的变化。然而，中间点300的位置不受限制。例如，第一接合区域260和第二接合区域270可以布置成，使得中间点300位于锥形接合面251上的任意位置。可以适当设置中心点300处齿宽，以变为基准。根据关于第一齿轮211和第二齿轮221直径等等的各种条件，可以设置驱动齿轮250的直径和齿轮比以及锥形接合面251的角度。安装头部单元的操作（制造基板的方法）将描述根据该实施例说明安装头部单元的操作。图15的（A）至（H）和图的（A）至（H）是用于解释通过安装头部单元对电子部件的吸附操作和安装操作的示意图。通过图15的（A）至（H）和图16的（A）至（H）所示的操作，电子部件安装在供应至部件安装装置100的基板W上并且制造所述基板W。在图15的（A）至（H）和图16的（A）至（H）中，以喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70A为基准，喷嘴单元以顺时针方向标注为70B到70H。图15的（A）至（H）示出了安装头部单元150对电子部件的吸附操作的视图。首先，在输送器单元16的安装区域M中，布置并保持基板W。安装头部单元150通过X轴移动机构和Y轴移动机构在水平面内移动至电子部件的供给区域S。当安装头部单元150达到供给区域S时，如图15（A）所示，位于喷嘴操作位置400的喷嘴单元70吸附电子部件。喷嘴驱动单元的压辊推下喷嘴单元70A的喷嘴71。适当地向喷嘴单元70A提供负压空气。由于负压力，喷嘴71吸附电子部件。接下来，安装头部单元150以基座轴35为中心将转台50旋转一个预定角度，并且移动后续（相邻的）的喷嘴单元70H至喷嘴操作位置400（图15（B））。位于喷嘴操作位置400的喷嘴单元70H吸附后续的电子部件。然后，相类似地实现位于喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70G和70F对转台50的旋转和电子部件的吸附（图15（C）和（D））。如图15（E）所示，当转台50旋转几乎180o时，吸附电子部件的第一喷嘴单元70A位于成像位置500。第一照相机52和第二照相机53对位于成像位置500的喷嘴单元70A成像并且识别电子部件的吸附状态。在该实施例中，如图6和图7等等所示，安装在多个喷嘴单元70上的多个第一齿轮211和多个第二齿轮221均与驱动齿轮250接合。因此，当转台50旋转且喷嘴单元70移动（下文中，还称为喷嘴单元的回转）时，每个喷嘴单元70旋转（对应一个回转角度）。因此，在成像位置500上对吸附状态的成像和识别的执行考虑了，作为识别目标的电子部件通过喷嘴单元70的回转而旋转了多少。特别地，当识别了所吸附的电子部件的定向时，重要的是，获取喷嘴单元70的旋转角度。旋转角度信息适当用于计算用于校正电子部件定向的信息。根据计算的校正信息，校正安装的电子部件的定向，因此可以实现高精确度的安装过程。根据例如用于旋转该转台50的基座轴35的旋转角度、驱动齿轮250的旋转角度等等，可以计算由于喷嘴单元70回转导致的旋转角度，该驱动齿轮用于旋转在其他喷嘴操作位置400上进行安装的其他喷嘴单元70。例如，对应于基座轴35的旋转角度的喷嘴单元70的旋转角度可以预先定义。例如，如果当转台50旋转时驱动齿轮250设计为不旋转，则可以根据齿轮比而轻易地计算出对应回转角度的旋转角度。即使驱动齿轮250设计为由于基座轴35旋转而沿相反方向旋转，只要相对旋转角度恒定，仍可以计算由于回转引起的旋转角度。如图5等等所示，第一齿轮211和第二齿轮221具有剪式齿轮配置。这样，可以实现高精确度的旋转角度的计算等等。在图15（E）所示的状态中，没有为安装电子部件而旋转的喷嘴单元70，只需适当地计算和使用对应于180°回转角度的旋转角度（例如，90°）信息。注意，在图15（E）所示的状态中，同时执行位于喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70E的吸附操作和位于成像位置500上的喷嘴单元70A的成像操作。于是，实现了部件识别操作，同时实现部件吸附操作，因此无须额外设定用于部件识别的时间。结果是，部件安装装置100可在短时间内实现部件安装。如图15（F）到（H）所示，相继执行喷嘴操作位置400上的电子部件的吸附操作和成像位置500上的喷嘴单元70的成像操作。在图15（H）的状态中，喷嘴单元70B到70E未经历部件识别。图16的（A）至（H）是用于解释通过安装头部单元150对电子部件进行安装操作的视图。当电子部件的吸附操作完成时，安装头部单元150通过X轴移动机构和Y轴移动机构在安装区域M上移动。如图16（A）所示，喷嘴驱动单元的压辊按压并压下位于喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70A的喷嘴71。喷嘴71所吸附的电子部件布置于基板W上的预定安装位置。与此同时，喷嘴单元70E的成像操作在成像位置500执行。接下来，安装头部单元150通过X轴移动机构和Y轴移动机构移动至待安装的相邻喷嘴单元70H所保持的电子部件所在的位置。在该移动期间和之后，转台50旋转，并且另一个喷嘴单元70H位于喷嘴操作位置400。喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70H安装电子部件（图16（B））。与此同时，喷嘴单元70D的成像操作在成像位置500执行。之后，如图16（C）到（D）所示，相继执行喷嘴操作位置400上的电子部件的安装操作以及成像位置500上的喷嘴单元70的成像操作。如图16（E）所示，当转台50旋转几乎180°时，其上安装了电子部件的喷嘴单元70A首先位于成像位置500。第一照相机52和第二照相机53对喷嘴单元70A成像并且检查喷嘴71的状态。这样，可以判断，安装过程是否正确执行。例如，如果喷嘴71仍然吸附电子部件，则判断，安装过程未正确执行。另外，可以检测喷嘴71的缺陷等等，例如变形。注意，在图16（E）所示的状态中，同时实现喷嘴操作位置400上的喷嘴单元70E的安装操作和成像位置500上的喷嘴单元70A的成像操作。之后，如图16（F）到（H）所示，相继实现喷嘴操作位置400上的电子部件的安装操作和成像位置500上的喷嘴单元70的成像操作。在图16（H）的状态中，尚未检查喷嘴单元70B到70E的喷嘴状态。当电子部件的安装操作完成时，安装头部单元150通过X轴移动机构和Y轴移动机构移动在供给区域S上。然后，再次实现图15的（A）至（H）中的吸附操作。在图15的（A）至（D）中，只需检查喷嘴单元70B到70E的喷嘴状态。当预定数量的电子部件以上述方式安装在基板W上时，输送器单元16将基板W卸载到部件安装装置100外。在该实施例中，在安装头部单元150在供给区域S和安装区域M之间移动时，可以在一系列运动中执行电子部件的吸附操作和安装操作。例如，无须将安装头部单元150移动和停止在成像区域以进行部件识别。结果是，可以在短时间内实现部件安装过程。如上所述，在根据该实施例的安装头部单元150中，为了旋转多个喷嘴单元70中的每个，齿轮201安装在各个喷嘴单元70上。齿轮201安装在互相毗邻的喷嘴单元70的纵方向L上的不同安装位置上。因此，所述多个喷嘴单元70可以设置于转台50，这样互相毗邻的喷嘴单元70可以在与纵方向L相交的方向上足够靠近。结果是，可以增加喷嘴单元70的数量而不增加转台50的尺寸。也就是说，可以减小安装头部单元150的尺寸同时增加用于保持电子部件等的喷嘴单元70的数量。在该实施例中，所述多个齿轮201交替地设置在第一安装位置311和第二安装位置321上。于是，齿轮201安装在喷嘴单元70上（两个不同安装位置），因此容易将多个齿轮201安装到多个喷嘴单元70上。也就是说，相比多个齿轮201安装在多个喷嘴单元70上的许多不同安装位置的情况，这种安装工作更加容易。而且，可以防止驱动机构200的配置变复杂。注意，安装位置可以设置为许多不同位置。修正示例根据本公开的实施例不限于上述实施例，可以有各种变体。在上述各个实施例中，转台的外围面是锥形的，所支撑的喷嘴单元倾斜于转台的旋转轴。然而，转台的旋转轴和喷嘴单元的旋转轴可以设置为互相平行。所述多个喷嘴单元的旋转轴和纵方向可以都设置为沿着竖直方向。在这种情况下，接合面的方向沿竖直方向的驱动齿轮可以设置在由所述多个喷嘴单元所包围的区域中。如上所述，所述多个喷嘴单元布置在转台的外周缘部，并且转台旋转。因此，电子部件的吸附操作和安装操作由多个喷嘴单元实现。也就是说，在该实施例中，旋转头用作安装头部单元。然而，线性头可以用作安装头部单元。例如，所述多个喷嘴单元由沿着X轴方向的可移动主体部支撑。充当旋转机构部的皮带轮等等安装在多个喷嘴单元中的每个上。所述皮带轮等等安装在喷嘴单元上，这样所述皮带轮等等安装在互相毗邻的喷嘴单元的纵方向的不同安装位置上。这种皮带轮均由包括皮带等等的旋转驱动部旋转。这样，所述多个喷嘴单元变得独立旋转。同样，对于这种配置，可以增加所述多个喷嘴单元的的布置密度。在上述各个实施例中，齿轮用作旋转机构部并且齿轮由驱动齿轮旋转以旋转所述喷嘴单元。作为旋转机构部的另一个示例，电机可以安装在各个喷嘴单元上。电机可以被致动，以旋转各个喷嘴单元。当电机安装在互相毗邻的喷嘴单元的纵方向的不同安装位置上时，可以增加所述喷嘴单元的布置密度。额外地，能够在喷嘴单元中产生力矩的机构可以适当用作旋转机构部。尽管在上述各个实施例中，所述多个齿轮以Z字型方式一个接一个布置在多个喷嘴单元上（沿纵方向），也就是说，一个上，一个下，一个上，一个下，…，但是所述多个齿轮的布置不限于此。所述多个齿轮可以在纵方向上布置在三个高度级上，具体地，在喷嘴单元的纵方向的上、中、下、上、中、下，…，或者，上、中、下、中、上，…。额外地，只要互相毗邻的齿轮可以操作而不互相影响，则齿轮的安装位置不受限制。转台、喷嘴单元、驱动机构等等的结构不限于上述结构，并且可以适当改变设计。尽管在上述各个实施例中，当安装电子部件时，安装头部单元在大体上平行于基板安装面的平面（X-Y平面）上移动，基板可以在该平面上移动。可替换地，安装头部单元和基板都可以在该平面上移动。例如，基座轴的上部分和下部分可以由支撑体支撑。通过使用这种两端支撑结构，安装头部单元能够具有简单、紧凑和高硬性的结构。在上述各个实施例中，说明了用于旋转安装头部单元的各个喷嘴单元的驱动机构。然而，上述技术可以用于安装头部单元之外的装置等等。例如，多个构件均由主体部可旋转地支撑。所述多个构件均具有纵方向并且由布置于与纵方向相交的方向上的主体部支撑。所述多个构件用于皮带等，其旋转例如作为输送器构的一部分以输送部件等等。可替换地，所述多个构件用于旋转安装在所述多个构件上的部件。可替换地，所述多个构件的使用不受限制。驱动机构用于旋转各个构件。驱动机构包括旋转机构部和旋转驱动部。旋转机构部分别安装在所述构件上，这样所述旋转机构部安装在互相毗邻的构件的纵方向上的不同安装位置。旋转驱动部用于旋转安装在所述多个构件上的多个旋转机构部中的每个。所述多个构件共用所述旋转驱动部。根据上述各个实施例，具有这种配置的装置可以用作旋转驱动机构。在这种旋转驱动机构中，所述多个构件可以设置于主体部，这样在与纵方向相交的方向上互相毗邻的构件互相足够靠近。结果是，可以增加构件数量而不增加主体部的尺寸。也就是说，可以减小旋转驱动机构的尺寸同时增加构件数量。在上述各个实施例的特征中，可以组合至少两个特征。应当注意，本公开还可以采用下面的配置。（1）一种安装头部单元，包括：主体部；多个保持部，所述多个保持部配置成能够保持多个部件，所述多个保持部均为纵方向的并且由待布置于与所述纵轴相交的方向上的所述主体部可旋转地支撑；和驱动机构，所述驱动机构包括多个旋转机构部，所述多个旋转机构部分别安装在所述多个保持部上，以旋转所述多个保持部中每个，从而所述旋转机构部安装在相互毗邻的所述保持部的所述纵方向上的不同安装位置。（2）根据项（1）所述的安装头部单元，其中，所述驱动机构包括旋转驱动部，所述旋转驱动部配置成旋转安装在所述多个保持部上的所述多个旋转机构部中的每个。（3）根据项（2）所述的安装头部单元，其中，所述多个旋转机构部包括多个齿轮，并且所述旋转驱动部包括驱动齿轮，所述驱动齿轮配置成与所述多个齿轮中的每个接合。（4）根据项（3）所述的安装头部单元，其中，所述主体部包括具有旋转轴的旋转体，所述多个保持部由所述旋转体的外周缘部所支撑，并且所述驱动齿轮设置在由所述多个保持部所包围的区域中，以能够与所述旋转轴同轴地旋转。（5）根据项（4）所述的安装头部单元，其中，支撑所述多个保持部，使得所述纵方向相对于所述旋转轴倾斜，并且所述安装头部单元进一步包括支撑体，所述支撑体配置成相对于竖直方向倾斜地支撑所述旋转轴，从而所述多个保持部中至少一个保持部的纵方向沿着所述竖直方向。（6）根据项（5）所述的安装头部单元，其中，所述多个保持部由所述旋转体倾斜地支撑，使得所述多个保持部的一个端部比所述多个保持部的其他端部更靠近所述旋转轴，所述其他端部配置成保持所述多个部件，所述多个齿轮配置成独立地旋转，以安装有所述多个齿轮的所述保持部的所述纵方向为轴线，并且所述驱动齿轮包括锥形接合面，所述锥形接合面设置在沿所述纵方向的方向上，以相对于所述旋转轴倾斜，从而与所述多个齿轮中的每个接合。（7）根据项（6）所述的安装头部单元，其中，所述多个齿轮交替地安装在所述多个保持部的纵方向的第一安装位置以及不同于所述第一安装位置的第二安装位置上。（8）根据项（7）所述的安装头部单元，其中，所述驱动齿轮的齿形成在所述锥形接合面上，第一接合区域与第二接合区域之间的中间点为齿宽参考，所述第一接合区域配置成与安装在所述第一安装位置的所述齿轮接合，所述第二接合区域配置成与安装在所述第二安装位置的所述齿轮接合。（9）根据项（1）至（8）中的任一项所述的安装头部单元，其中，所述多个保持部包括配置成能够吸附所述多个部件的多个喷嘴。（10）根据项（1）至（9）中任一项所述的安装头部单元，其中，所述旋转机构部包括电机。本公开包含的主题涉及2012年3月27日向日本专利局提出的日本优先权专利申请JP2012-070862的主题，其全文通过引用结合于此。本领域技术人员应当理解，根据设计需要和其他因素，只要在所附权利要求及其等同物的保护范围内，可以进行各种修改、组合、子组合和替换。