一种考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法与流程

文档序号:12480067阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:包括以下步骤制成:

1)对设计图形进行异形补偿;

2)菲林图形的输出,采用激光光绘机,若采用LDI设备曝光则取消菲林输出;

3)干膜贴附或湿膜涂布,采用贴膜机或湿膜涂布机,膜厚10~100um;

4)对贴附干膜或涂布湿膜的线路基板进行曝光,应用步骤2)输出的菲林曝光需采用平行曝光机,或采用激光直接成像设备进行曝光;

5)显影,蚀刻,退膜,采用DES设备,考虑蚀刻精度能力,蚀刻设备需要二流法喷淋及真空吸流设备;

6)采用酸性溶液去除铜面氧化物,加大铜面粗糙程度;

7)在形成线路的基板表面贴附保护膜或涂覆油墨,用于保护焊盘以外的连接线路;

8)对裸露焊盘进行表面处理工艺,表面处理包括抗氧化、化学纯锡、电镀纯锡、电镀镍金、化学镍金、化学镍钯金中的一种或多种处理。

2.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:选用基材:所述基材为聚酰亚胺、涤纶树脂、液晶聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚四氟乙烯、环氧玻璃布层压板中的任意一种,所述基材的介质层厚度为8μm-500μm,铜层厚度为4μm-35μm。

3.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:线宽/线距为100um/100um时,异形补偿20um。

4.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:线宽/线距为75um/75um时,异形补偿15um。

5.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:线宽/线距为50um/50um时,异形补偿10um。

6.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:线宽/线距为25um/25um时,异形补偿5um。

7.根据权利要求1所述的考虑蚀刻因子的线路板焊盘的异形补偿方法,其特征是:线宽/线距为15um/15um时,异形补偿3um。

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