一种低温等离子体发生器的制作方法

本实用新型涉及低温等离子体技术领域，具体的说是一种低温等离子体发生器。

背景技术：

低温等离子体加工产业始于20世纪30年代。20世纪50年代，自由电子束技术被广泛应用于医疗器械，化妆品和医药产品的灭菌。自此，低温等离子体技术在工业应用中被广泛推广，如热固性树脂固化，半导体增强，和食品加工。一些关于低温等离子体在环境领域的应用，如空气及水处理，特别是污水处理，理论上被证明是可行的，但是由于产生低温等离子体的设备十分昂贵，使该应用成本过高。此外，电子在与空气的接触过程中会失去一部分能量，所以多数电子束的操作需在真空中完成。

当气体中产生自由电子，气体分子将离子化。这种离子化(通常大于1％被离子化)的气体被称为低温等离子体。低温等离子体在一个大气压及温度为10-40℃的条件下，被认为是冷等离子体。

当电流穿过电介质气体或液体(一种不导电材料)时将会产生等离子体。电势差和电场使电子流向正极(带正电)，原子流向负极(带负电)。随着电压的增加，电压超过介质(电极化)的极限负荷将击穿介质，产生电火花。这时介质会从绝缘体变成导体(随着电离化的加强)。

最常见的产生低温等离子体的方法叫做电晕放电。电晕放电是一种在接近大气压条件下产生的相对低能量的放电。导体边缘的强电场可以产生电晕放电，比如，小半径的曲率材料(如回形针)上的电极。直流电不能作为平行板电极。此类电晕放电取决于尖锐电极的极性，且可以据此区分正极或负极电晕。多点-板的电极构造更加具有实用性，这种构造中，单位体积产生的电荷密度比单点电极要高，加工复杂。

低温等离子体是近年开始开发的，尽管一些文献提到了几种产生方法，但并没有更加深入的了解它。目前它的用途主要限于少数低功率应用，如等离子电视，复印机，和空气净化器。使用自由电子束及低温等离子体最主要的缺点 是产品必须直接置于放电路径中。此外，能量无法储存也是一个限制方面。目前由于缺乏可靠，低成本，易操作的方法来产生低温等离子体，故其尚未有大规模工业应用。

在等离子体生产中，通常需要将外部的气体导入到等离子体腔内进行处理。然而，直接将外部气体通入到等离子体腔内常常会引起气体的不均匀分布，会出现气体局部集中或者出现气体死区(没有气体流入)等情况，严重影响了等离子体腔内处理效果和反应效率。从而影响等离子体的产生效率，造成资源上的浪费。

技术实现要素：

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种低温等离子体发生器，以解决上述背景技术中高成本，结构复杂，物品需放入放电路径中，等离子体产生效率低，无法形成规模工业化，对气体的供应要求比较严格，需要有固定的气源的问题。

本实用新型的技术方案是：

一种低温等离子体发生器，包括机架和外部电源，所述机架内包括空气过滤装置、干燥装置、风机和等离子箱，所述机架底部设有可锁万向轮，所述空气过滤装置通过管道连通风机，所述空气过滤装置和风机之间设有干燥装置，所述风机通过绝缘管与所述等离子箱的进风口连通，所述等离子箱内进风口处设有绝缘的半球状分流器，所述半球状分流器开设有若干个分流孔，所述等离子箱内设有至少两个电级，相邻的电极之间设有绝缘的隔离介质，所述等离子箱的出气口连接有柔性绝缘管，所述相邻的两个电极分别连接到所述外部电源的两极。

作为一种优选方案，所述电极为耐腐蚀材质的电极，所述电极为片状、棒状、丝状或者网状其中的一种。

作为一种优选的方案，所述机架侧面开设有维修门。

作为一种优选的方案，所述干燥装置为吸附式除湿箱，所述吸附式除湿箱底部开设有抽拉门。

作为一种优选的方案，所述柔性绝缘管远离所述等离子箱一端设有绝缘的软管接头。

作为一种优选的方案，所述半球状分流器为半球状分流网。

作为一种优选的方案，所述等离子箱为PVC材质的等离子箱。

由于采用了上述技术方案，一种低温等离子体发生器，包括机架和外部电源，所述机架内包括空气过滤装置、干燥装置、风机和等离子箱，所述机架底部设有可锁万向轮，所述空气过滤装置通过管道连通风机，所述空气过滤装置和风机之间设有干燥装置，所述风机通过绝缘管与所述等离子箱的进风口连通，所述等离子箱内进风口处设有绝缘的半球状分流器，所述半球状分流器开设有若干个分流孔，所述等离子箱内设有至少两个电级，相邻的电极之间设有绝缘的隔离介质，所述等离子箱出气口连接有柔性绝缘管，所述相邻的两个电极分别连接到所述外部电源的两极，该实用新型可以在任意环境下进行工作，且不需要其他供气装置，结构简单，价格低廉，移动方便，等离子体可以用于离产生源较远的地方使用，可以在工业领域中广泛应用，从而使等离子体应用更具有规模化，气体能够均匀快速进入等离子箱内，气体会在电极与介质形成的间隙中穿过，并接触电极表面，产出等离子体，避免气体的部分集中，或者出现无气区，从而提高了等离子体的产生效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型半球状分流器的结构示意图；

其中：1-机架；2-空气过滤装置；3-干燥装置；4-风机；5-等离子箱；6-柔性绝缘管；7-电极；8-隔离介质；9-进风口；10-出气口；11-绝缘管；12-半球状分流器；13-外部电源；14-可锁万向轮；15-分流孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例进一步说明本实用新型。

如图1和图2所示，一种低温等离子体发生器，包括机架1和外部电源13，所述机架1内包括空气过滤装置2、干燥装置3、风机4和等离子箱5，所述机架1底部设有可锁万向轮14，所述空气过滤装置2通过管道连通风机4，所述空气过滤装置1和风机4之间设有干燥装置3，直接使用环境中的空气作为气源， 省去了固定气源连接步骤，简化了工作程序，提高了工作效率，同时经过空气过滤装置2和干燥装置3对空气中含有的杂质和潮湿度比较高的空气进行除杂和排湿，避免了空气中含有的杂质和水分腐蚀机器，造成机器的损坏，所述风机4通过绝缘管11与所述等离子箱5的进风口9连通，所述等离子箱5内进风口9处设有绝缘的半球状分流器12，所述半球状分流器12开设有若干个分流孔15，所述风机4进来的空气通过半球状分流器12穿过分流孔15进行多方向均匀分流，避免了气体分布不均匀无法穿过电极7或者出现气体死区现象，从而提高了等离子体生产效率，所述等离子箱5内设有至少两个电级7，相邻的电极7之间设有绝缘的隔离介质8，所述等离子箱5的出气口10连接有柔性绝缘管6，所产生的等离子体经过柔性绝缘管6输送给消耗设备，达到远程输送的目的，所述相邻的两个电极7分别连接到所述外部电源13的两极。

所述电极7为耐腐蚀材质的电极7，所述电极7为片状、棒状、丝状或者网状其中的一种，增加及其使用寿命。

所述机架1侧面开设有维修门，方便检修。

所述干燥装置3为吸附式除湿箱，所述吸附式除湿箱底部开设有抽拉门，方便维护和更换吸附剂。

所述柔性绝缘管6远离所述等离子箱5一端设有绝缘的软管接头，方便与消耗设备连接。

所述半球状分流器12为半球状分流网。

所述等离子箱5为PVC材质的等离子箱。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。