超声波等离子体设备的制作方法

本实用新型涉及等离子设备，特别是一种超声波等离子体设备。

背景技术：

低温等离子体技术由于其快速、高效地处理效果，能够满足不改变材料本身特点的基础上，又能赋予材料新的性能，已经广泛应用于材料表面的各种改性。

目前，绝大部分等离子体改性方式的等离子体源都采用低气压辉光放电的原理来进行的。在真空下，给等离子体反应腔内气体施加高频电场，气体在高频电场的作用下电离产生等离子体。很多情况下，改性所需试剂为液体时，就需要将液体原料气化来满足等离子体的发生条件。

另外，气体通入等离子体反应腔的具体位置对于腔体内的等离子体的利用率也会产生一定的影响，进而影响材料处理的程度。

技术实现要素：

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型之目的就是提供一种超声波等离子体设备，可有效解决等离子体的利用率低，材料处理效果差的问题。

本实用新型解决的技术方案是，包括气体进入装置、等离子体反应装置和真空泵装置，所述的气体进入装置包括储气罐、储液罐、控制阀和流量计，储气罐和储液罐相连通的管道上装有第一流量计、第二流量计，第一流量计和储气罐之间的管道上装有第一控制阀，第二流量计和储液罐之间的管道上装有第二控制阀，储液罐上装有超声波换能器，第一流量计、第二流量计之间的管道上装有与等离子体反应装置相连通的管道，管道上装有第三流量计；所述的等离子体反应装置包括壳体，壳体两侧分别有原料进口和原料出口，壳体上部内水平设置有高频电源正极，壳体底部内置有高频电源负极，高频电源正极和高频电源负极之间的壳体中部内设有正对原料进口和原料出口由电机带动的传送带，反应原料置于传送带的上带面；所述的真空泵装置是由真空泵经入口与真空泵上面的安全瓶相连通构成，安全瓶经等离子体反应装置的底部的抽气孔相连通。

本实用新型结构新颖独特，安装使用方便，有效解决了等离子体利用率低，材料处理效果差的问题，提高了等离子体的利用效果和气体的利用率，使用安全，生产效率高，有良好的经济和社会效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构主视图。

图2为本实用新型的另一实施例结构主视图。

具体实施方式

以下结合实施例对本实用新型的具体实施方式作详细说明。

由图1所示，本实用新型包括气体进入装置1、等离子体反应装置2和真空泵装置3，所述的气体进入装置1包括储气罐、储液罐、控制阀和流量计，储气罐1-1和储液罐1-6相连通的管道上装有第一流量计1-3、第二流量计1-4，第一流量计1-3和储气罐1-1之间的管道上装有第一控制阀1-2，第二流量计1-4和储液罐1-6之间的管道上装有第二控制阀1-5，储液罐1-6上装有超声波换能器1-7，第一流量计1-3、第二流量计1-4之间的管道上装有与等离子体反应装置2相连通的管道1-10，管道1-10上装有第三流量计1-11；所述的等离子体反应装置2包括壳体2-5，壳体2-5两侧分别有原料进口2-3和原料出口2-4，壳体2-5上部内水平设置有高频电源正极2-1，壳体2-5底部内置有高频电源负极2-2，高频电源正极2-1和高频电源负极2-2之间的壳体中部内设有正对原料进口2-3和原料出口2-4由电机带动的传送带2-8，反应原料2-7置于传送带的上带面；所述的真空泵装置是由真空泵3-2经入口与真空泵上面的安全瓶3-1相连通构成，安全瓶3-1经等离子体反应装置2的底部的抽气孔2-6相连通。

为了保证使用效果，所述的管道1-10外部装有保温套层1-8，管道1-10上设有弓形液体收集槽1-9，弓形液体收集槽下部的管道1-10上装有第三流量计1-11；

所述的壳体2-5呈上细下粗的锥形空腔体。

附图2给出的结构与附图1给出的结构，除弓形液体收集槽的结构略有不同外，其它均相同，只要看一下图1、图2便可一清二楚，这里不再重述。

本实用新型的工作情况是，反应原料为气体时，气体储存于储气罐中，通过第一流量计控制进入等离子反应系统中的气体量；反应原料为液体时，液体储存于储液罐中，储液罐上设有超声波换能器，超声波换能器对储液罐内的液体起到雾化作用，变成雾化分子，通过气体管道进入等离子体反应腔。在气体进入等离子体反应腔所需要通过的管道上面覆盖一层保温套层，防止气体冷凝，从而影响等离子体放电效果。为了保险起见，气体进入等离子体反应系统的通道上面设置弓形液体收集槽，即使雾化气体在流动的过程中凝结成液体，可以流入液体收集槽中，液体收集槽中的液体可以重新回到储液罐进行回用。在管道上靠近等离子体反应系统的部位安装流量计，对进入等离子体反应系统的气体流量进行实时监测，从而更准确的评价等离子体改性效果。

等离子体反应腔顶端设有高频电源正极，等离子体反应腔底端设有高频电源负极。其中，等离子体反应腔设置为锥体形，高频电源正极板上面设有进气孔，这样保证进入气体定向填充在高频电源正极和高频电源负极之间的区域，高频电源正极和负极之间形成一种锥形电场，这样的设置方式更有利于放电过程中对于腔体内气体的击穿作用，形成更多的等离子体活性基团，增大反应气体的利用率。

在等离子体反应腔的底部设置真空本抽气孔，真空泵连接安全瓶从抽气孔往外抽取气体，进一步保证等离子体反应腔中的低压环境，并且对于抽出气体在安全瓶部位进行收集，防止一些有毒物质污染环境。

等离子体反应腔中材料的输送采取连续性皮带传送，在等离子体反应腔侧面开口，分别设置入口和出口，可以控制反应时间，当反应结束时，进口和出口同时打开，将已处理材料送出，把未处理材料送入反应腔中，实现连续性处理。与现有技术相比，具有：

1、超声波换能器的使用解决了液体原料的进入方式问题。保温套层的使用是的雾化后的气体不易被冷凝，从而能够提高等离子体的效果。

2、气体进入孔的设置是得气体定向流入，提高了气体的利用率。

3、高频电源正极和高频电源负极的锥形设置，更利于高压放电过程中对气体的击穿作用，使用安全，工作效率高，节能环保，有良好的经济和社会效益。