弹性波装置的制作方法

本发明涉及具有wlp(waferlevelpackage，晶片级封装)构造的弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1记载了具有wlp构造的弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有设置在压电基板上的框构件和设置在框构件上的盖构件。设置有过孔电极，使得贯通框构件以及盖构件。过孔电极具有位于框构件中的第一柱部和位于盖构件中的第二柱部。第二柱部的侧面倾斜。由此，在对弹性波装置施加了应力时等，使过孔电极不易从框构件以及盖构件脱落。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-222886号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

在专利文献1记载的弹性波装置中，在第二柱部的侧面的倾斜角度小的情况下，具有过孔电极变得容易脱落的倾向。

本发明的目的在于，提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：压电基板；idt电极，设置在所述压电基板上；支承构件，设置在所述压电基板上，具有开口部，且在所述开口部处包围所述idt电极；覆盖构件，覆盖所述开口部，设置在所述支承构件上；以及过孔电极，贯通所述覆盖构件以及所述支承构件，且具有：一端部，位于所述压电基板侧；另一端部，位于与所述压电基板侧相反侧；以及侧面部，连结所述一端部和所述另一端部，所述过孔电极具有在俯视时从所述侧面部向外侧鼓出的鼓出部，所述鼓出部位于所述覆盖构件的内部。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面。在该情况下，能够有效地抑制过孔电极从支承构件以及覆盖构件脱落。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述鼓出面在与所述过孔电极延伸的方向正交的方向上延伸。在该情况下，能够更加有效地抑制过孔电极从支承构件以及覆盖构件脱落。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述覆盖构件具有：粘接层，与所述支承构件粘接；以及保护层，设置在所述粘接层上，所述粘接层的弹性模量比所述保护层的弹性模量低。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部位于所述粘接层的表面或所述粘接层的内部。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，所述鼓出面与所述覆盖构件中的所述保护层的所述粘接层侧的主面接触。在该情况下，鼓出面与弹性模量比粘接层高的保护层接触。因此，过孔电极更加不易从支承构件以及覆盖构件脱落。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，在将横穿所述过孔电极的方向设为宽度方向时，所述过孔电极的侧面部倾斜，使得所述过孔电极的宽度从位于所述压电基板侧的一端部起到所述鼓出面而变宽。在该情况下，过孔电极更加不易从支承构件以及覆盖构件脱落。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，所述过孔电极中的位于与所述压电基板侧相反侧的另一端部的平面面积大于所述过孔电极中的所述鼓出面所位于的部分的横截面积。在该情况下，能够在将凸块等与过孔电极的与压电基板相反侧的端部接合时有效地增大该端部与凸块等的接合力。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述粘接层由环氧类树脂构成，所述保护层由聚酰亚胺构成。

发明效果

根据本发明，能够提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。

图2是将本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

图3是将比较例的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

图4是本发明的第一实施方式中的过孔电极的俯视图。

图5是将本发明的第一实施方式的变形例涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

图6的(a)～图6的(d)是用于说明本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。

图7是将本发明的第二实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

具体实施方式

以下，通过参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。

另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。

弹性波装置1具有压电基板2。压电基板2例如由适当的压电单晶、压电陶瓷构成。在压电基板2上设置有idt电极3。通过对idt电极3施加交流电压，从而激励弹性波。

在压电基板2上设置有电极连接盘4a、4b。在本实施方式中，电极连接盘4a、4b与idt电极3电连接。

在压电基板2上设置有具有开口部5a的支承构件5。支承构件5设置为覆盖电极连接盘4a、4b。idt电极3位于开口部5a内，idt电极3被支承构件5包围。支承构件5由适当的树脂等构成。

在支承构件5上设置有覆盖构件6，使得覆盖开口部5a。由此，形成有被压电基板2、支承构件5以及覆盖构件6包围的中空空间。覆盖构件6具有与支承构件5粘接的粘接层6a。覆盖构件6具有设置在粘接层6a上的保护层6b。保护层6b的弹性模量比粘接层6a的弹性模量高。粘接层6a没有特别限定，例如由环氧类树脂构成。保护层6b没有特别限定，例如由聚酰亚胺构成。另外，覆盖构件6也可以不具有粘接层6a以及保护层6b。

设置有过孔电极7a、7b，使得贯通支承构件5以及覆盖构件6。过孔电极7a、7b分别具有作为压电基板2侧的一端部的第一端部7a1、7b1以及作为与压电基板2侧相反侧的另一端部的第二端部7a2、7b2。过孔电极7a具有连结第一端部7a1和第二端部7a2的侧面部。同样地，过孔电极7b具有连结第一端部7b1和第二端部7b2的侧面部。过孔电极7a、7b的平面形状没有特别限定，在本实施方式中，上述平面形状为圆形。

过孔电极7a的第一端部7a1与上述电极连接盘4a连接。过孔电极7b的第一端部7b1与上述电极连接盘4b连接。在过孔电极7a、7b的第二端部7a2、7b2分别接合有凸块8。过孔电极7a、7b由适当的金属构成。凸块8由焊料等构成。

在安装弹性波装置1时，弹性波装置1经由凸块8与安装基板等接合。在本实施方式中，idt电极3经由电极连接盘4a、4b、过孔电极7a、7b以及凸块8与外部电连接。另外，在过孔电极7a、7b的第二端部7a2、7b2也可以接合有凸块8以外的导电性接合剂、端子。

图2是将第一实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

如图2所示，过孔电极7a具有第一端部7a1与第二端部7a2之间的一部分在俯视时从侧面部向外侧鼓出的鼓出部7a1。在本实施方式中，该鼓出部7a1具有在与过孔电极7a延伸的方向正交的方向上延伸的鼓出面7a2。另外，鼓出面7a2只要在与过孔电极7a延伸的方向交叉的方向上延伸即可。

鼓出部7a1位于覆盖构件6的内部。更具体地，鼓出部7a1位于覆盖构件6中的粘接层6a侧。鼓出面7a2与保护层6b的粘接层6a侧的面接触。

在此，将横穿过孔电极7a的方向设为过孔电极7a的宽度方向。此时，在本实施方式中，过孔电极7a的侧面部倾斜，使得过孔电极7a的宽度从第一端部7a1到鼓出面7a2而变宽。过孔电极7a的比鼓出面7a2靠第二端部7a2侧的部分的侧面部也倾斜，使得随着朝向第二端部7a2，宽度变宽。

图1所示的过孔电极7b也具有与过孔电极7a同样的结构。另外，弹性波装置1也可以具有过孔电极7a、7b以外的多个过孔电极。只要弹性波装置1中的多个过孔电极中的至少一个具有过孔电极7a的结构即可。

本实施方式的特征在于，过孔电极7a具有位于覆盖构件6的内部的鼓出部7a1。鼓出部7a1与覆盖构件6接触。因此，例如在对弹性波装置1施加了在过孔电极7a延伸的方向上拉伸的力时，过孔电极7a不易从支承构件5以及覆盖构件6脱落。以下，通过对本实施方式和比较例进行比较，从而更详细地说明本实施方式的效果。

图3是将比较例的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

比较例中的过孔电极107具有贯通支承构件105的第一部分107b以及贯通覆盖构件106的第二部分107c。第二部分107c的压电基板102侧的端部从覆盖构件106露出，并与支承构件105接触。过孔电极107不具有位于覆盖构件106的内部的鼓出部。第二部分107c的侧面部倾斜。在第二部分107c的与压电基板102侧相反侧的端部连接有端子108。

在比较例中，第二部分107c的侧面部在俯视时向内侧倾斜得越大，越能够使过孔电极107不易从支承构件105以及覆盖构件106脱落。然而，使第二部分107c的侧面部像上述的那样倾斜得越大，过孔电极107与端子108的接合面积变得越小。因此，过孔电极107与端子108的接合力变小。

另一方面，在使第二部分107c的侧面部像上述的那样倾斜得大时，在使第二部分107c的压电基板102侧的端部的平面面积增大的情况下，该端部与支承构件105的接触面积变大。因此，覆盖构件106与支承构件105的接合面积变小，覆盖构件106与支承构件105的接合力变小。

另外，过孔电极107由金属构成，支承构件106由树脂构成。因此，过孔电极107的上述端部与支承构件105难以接合。若上述端部与支承构件105的接触面积变大，则存在支承构件105和覆盖构件106变得容易剥离的倾向。

相对于此，在图1所示的本实施方式中，过孔电极7a具有位于覆盖构件6的内部的鼓出部7a1。因此，能够在不使支承构件5与覆盖构件6的接合力减小的情况下有效地使过孔电极7a不易从支承构件5以及覆盖构件6脱落。

除此以外，在本实施方式中，无需减小过孔电极7a的第二端部7a2与凸块8的接合面积。因此，能够在不使过孔电极7a与凸块8的接合力减小的情况下得到上述效果。

鼓出部7a1优选具有鼓出面7a2。由此，能够有效地抑制过孔电极7a从支承构件5以及覆盖构件6脱落。更优选地，鼓出面7a2最好在与过孔电极7a延伸的方向正交的方向上延伸。鼓出面7a2与覆盖构件6接触。由此，例如，在对弹性波装置1施加了在过孔电极7a延伸的方向上拉伸的力时，能够更进一步抑制过孔电极7a从支承构件5以及覆盖构件6脱落。

鼓出部7a1可以位于粘接层6a的表面或粘接层6a的内部。在像本实施方式这样鼓出部7a1具有鼓出面7a2的情况下，优选鼓出面7a2与保护层6b的粘接层6a侧的主面接触。因为鼓出面7a2与弹性模量比粘接层6a高的保护层6b接触，所以过孔电极7a更加不易从支承构件5以及覆盖构件6脱落。

另外，在鼓出面7a2在与过孔电极7a延伸的方向正交的方向上延伸的情况下，能够使鼓出面7a2适当地与保护层6b的上述主面接触。

在本实施方式中，过孔电极7a的侧面部像上述的那样倾斜。由此，过孔电极7a更加不易从支承构件5以及覆盖构件6脱落。除此以外，如图4的俯视图所示，过孔电极7a中的第二端部7a2的平面面积大于鼓出面7a2所位于的部分的横截面积。因此，能够增大过孔电极7a与凸块8的接合面积。因此，能够有效地增大过孔电极7a与凸块8的接合力。

优选在覆盖构件6中的多个过孔电极所位于的部分以外，粘接层6a的保护层6b侧的整个面与保护层6b的粘接层6a侧的整个面接合。由此，粘接层6a和保护层6b不易剥离。

另外，像图5所示的第一实施方式的变形例那样，过孔电极17a的侧面部也可以不倾斜。

以下，对本实施方式的弹性波装置1的制造方法的一个例子进行说明。

图6的(a)～图6的(d)是用于说明第一实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。

如图6的(a)所示，准备压电基板2。接着，在压电基板2上设置idt电极3以及电极连接盘4a、4b。idt电极3以及电极连接盘4a、4b例如能够通过溅射法、cvd法等设置。

接着，在压电基板2上设置支承构件5，使得具有包围idt电极3的开口部5a。此时，将支承构件5设置为覆盖电极连接盘4a、4b的至少一部分。由此，在后述的工序中，能够将过孔电极和电极连接盘4a、4b连接。支承构件5例如能够通过光刻法设置。

接着，如图6的(b)所示，在支承构件5上设置粘接层6a，使得覆盖开口部5a。接着，形成过孔9aa、9ba，使得贯通粘接层6a以及支承构件5。将过孔9aa、9ba形成为，在过孔9aa、9ba中电极连接盘4a、4b分别从支承构件5露出。过孔9aa、9ba能够通过激光的照射来形成。或者，也可以通过进行机械切削等而形成过孔9aa、9ba。

接着，如图6的(c)所示，在粘接层6a上层叠保护层6b。接着，在俯视下与过孔9aa重叠的位置形成过孔9ab，使得贯通保护层6b。将过孔9ab形成为，过孔9ab的压电基板2侧的端部的宽度比过孔9aa的保护层6b侧的端部的宽度窄。此时，在俯视时，在粘接层6a与保护层6b粘接的部分，过孔9aa的外周缘位于比过孔9ab的外周缘靠外侧。

同样地，在俯视下与过孔9ba重叠的位置形成过孔9bb，使得贯通保护层6b。过孔9ab、9bb例如能够通过激光的照射、机械切削来形成。

在本实施方式中，将过孔9aa、9ab、9ba、9bb形成为，过孔9aa、9ab、9ba、9bb的侧面部倾斜。另外，也可以不使过孔9aa、9ab、9ba、9bb的侧面部倾斜。此外，上述的过孔的形成方法是一个例子，并不限定于上述的方法。

接着，如图6的(d)所示，在过孔9aa、9ab内设置过孔电极7a。在本实施方式中，过孔电极7a包含粘接层6a与保护层6b粘接的部分中的、从过孔9aa的外周缘沿着过孔9ab的外周缘形成的部分。该部分为过孔电极7a的上述鼓出面7a2。

同样地，在过孔9ba、9bb内设置过孔电极7b。由此，将过孔电极7a、7b分别与电极连接盘4a、4b连接。过孔电极7a、7b例如能够通过电解镀覆法等进行设置。接着，在过孔电极7a、7b的第二端部7a2、7b2分别接合凸块8。

另外，在准备压电基板2的工序中，也可以准备母压电基板。即，也可以通过在母压电基板上同时形成多个弹性波装置1并进行单片化，从而得到各弹性波装置1。

图7是将第二实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。

本实施方式与第一实施方式的不同点在于，过孔电极27a的鼓出部27a1具有第一鼓出面27a2和第二鼓出面27a3。除了上述的方面以外，第二实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。

第一鼓出面27a2以及第二鼓出面27a3在与过孔电极27a延伸的方向正交的方向上延伸。第一鼓出面27a2位于第二端部7a2侧，第二鼓出面27a3位于第一端部7a1侧。另外，第一鼓出面27a2以及第二鼓出面27a3只要在与过孔电极27a延伸的方向交叉的方向上延伸即可。

第一鼓出面27a2与图1所示的第一实施方式中的鼓出面7a2同样地，与保护层6b的粘接层6a侧的面接触。另一方面，第二鼓出面27a3与支承构件5的粘接层6a侧的面接触。由此，过孔电极27a更加不易脱落。

像上述的那样，在本实施方式中，过孔电极27a在第一鼓出面27a2以及第二鼓出面27a3处与保护层6b的粘接层6a侧的面以及支承构件5的粘接层6a侧的面的双方接触。由此，过孔电极27a与覆盖构件6以及支承构件5的界面处的、从第二端面7a2到第一端面7a1的沿面距离长。因此，即使在从外部侵入了水分的情况下，也能够减缓水分的侵入速度，布线电极不易腐蚀。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2：压电基板；

3：idt电极；

4a、4b：电极连接盘；

5：支承构件；

5a：开口部；

6：覆盖构件；

6a：粘接层；

6b：保护层；

7a、7b：过孔电极；

7a1、7b1：第一端部；

7a2、782：第二端部；

7a1：鼓出部；

7a2：鼓出面；

8：凸块；

9aa、9ab、9ba、9bb：过孔；

17a：过孔电极；

27a：过孔电极；

27a1：鼓出部；

27a2、27a3：第一鼓出面、第二鼓出面；

102：压电基板；

105：支承构件；

106：覆盖构件；

107：过孔电极；

107b、107c：第一部分、第二部分；

108：端子。