1.一种体声波谐振器,包括:
基底;
声学镜;
底电极,设置在基底上方;
顶电极,与所述底电极对置;和
压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,
其中:
声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域;
所述谐振器邻近所述有效区域的边界且在边界之外设置有空气隙;
所述空气隙对应的表面中的至少一个表面为粗糙面,该粗糙面的粗糙度大于该粗糙面所在部件的该粗糙面周围部分表面的粗糙度。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器,其中:
所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部;
所述空气隙设置在所述连接部的下方以及压电层的上表面之间;
与空气隙对应的压电层上表面、连接部下表面、连接部上表面中的至少一个表面为所述粗糙面。
3.根据权利要求2所述的体声波谐振器,其中:
所述连接部包括第一连接部;
所述第一连接部邻近所述有效区域的边界形成桥翼结构,所述桥翼结构下表面以及压电层上表面之间形成所述空气隙。
4.根据权利要求2所述的体声波谐振器,其中:
所述连接部包括分别连接在主体部两侧的第一连接部和第二连接部;
所述空气隙包括第一空气隙和第二空气隙;
所述第一连接部邻近所述有效区域的边界形成第一桥翼结构,所述第一桥翼结构下表面与所述压电层上表面之间形成所述第一空气隙;
所述第二连接部邻近所述有效区域的边界形成第二桥翼结构,所述第二桥部翼结构下表面与所述压电层上表面之间形成所述第二空气隙。
5.根据权利要求3或4所述的体声波谐振器,其中:
与空气隙对应的压电层的上表面为所述粗糙面;
所述桥翼结构的末端边缘在基底的厚度方向上位于声学镜之内且桥翼结构在横向上具有桥翼宽度。
6.根据权利要求2所述的体声波谐振器,其中:
所述连接部包括第一连接部;
所述第一连接部邻近所述有效区域的边界形成桥部结构,所述桥部结构下表面以及压电层上表面之间形成所述空气隙。
7.根据权利要求6所述的体声波谐振器,其中:
与空气隙对应的压电层的上表面为所述粗糙面;
在基底的厚度方向上顶电极的主体部与连接部的连接处位于声学镜之内,所述连接处与声学镜边界之间具有第一横向距离,并且桥部结构跨越底电极,顶电极的连接部的末端与底电极的对应末端之间具有第二横向距离。
8.根据权利要求2所述的体声波谐振器,其中:
所述连接部包括分别连接在主体部两侧的第一连接部和第二连接部;
所述空气隙包括第一空气隙和第二空气隙;
所述第一连接部邻近所述有效区域的边界形成桥部结构,所述桥部结构下表面与所述压电层上表面之间形成所述第一空气隙;
所述第二连接部邻近所述有效区域的边界形成桥翼结构,所述桥翼结构下表面与所述压电层上表面之间形成所述第二空气隙。
9.根据权利要求8所述的体声波谐振器,其中:
与空气隙对应的压电层的上表面为所述粗糙面;
在基底的厚度方向上顶电极的主体部与连接部的连接处位于声学镜之内,所述连接处与声学镜边界之间具有第一横向距离,并且桥部结构跨越底电极,顶电极的连接部的末端与底电极的对应末端之间具有第二横向距离;
所述桥翼结构的末端边缘在基板的厚度方向上位于声学镜之内且桥翼结构在横向上具有桥翼宽度。
10.根据权利要求2-9中任一项所述的体声波谐振器,其中:
所述体声波谐振器还包括平坦层,所述平坦层设置在所述基底与所述压电层之间且与底电极厚度相同;
所述压电层上表面是平坦的。
11.根据权利要求1所述的体声波谐振器,其中:
所述空气隙在底电极的边缘附近设置在压电层下表面与底电极上表面之间。
12.一种体声波谐振器,包括:
基底;
声学镜;
底电极,设置在基底上方;
顶电极,与所述底电极对置;和
压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,
其中:
声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域,所述有效区域具有第一声阻抗;
所述谐振器邻近所述有效区域的边界且在边界之外设置有空气隙,与所述空气隙对应的表面中的至少一个表面为粗糙面,所述空气隙所在区域具有不同于第一声阻抗的第二声阻抗。
13.一种体声波谐振器,包括:
基底;
声学镜;
底电极,设置在基底上方;
顶电极,与所述底电极对置;和
压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,
其中:
声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域,所述有效区域具有第一声阻抗;
所述谐振器邻近所述有效区域的边界且在边界之外设置有粗糙面,所述粗糙面所在区域具有不同于第一声阻抗的第二声阻抗。
14.根据权利要求13所述的体声波谐振器,其中:
所述粗糙面设置在有效边界之外的顶电极的上表面或者下表面处、或者压电层的上表面或者下表面处、或者底电极的上表面或者下表面处。
15.根据权利要求1-14中任一项所述的体声波谐振器,其中:
所述粗糙面的粗糙度为
16.根据权利要求15所述的体声波谐振器,其中:
所述粗糙度为
17.一种滤波器,包括根据权利要求1-16中任一项所述的体声波谐振器。
18.一种电子设备,包括根据权利要求17所述的滤波器。