技术特征：
技术总结
本发明公开了一种LTCC基悬臂梁结构的制造方法，属于微机械三维结构制造领域，主要包括：在经过孔金属化和导体图形印刷后的每一层生瓷片上采用机械或激光切割方式加工加宽的悬臂梁和增加的辅助梁，层压后对辅助梁激光或机械设备进行切除，经烧结致密化后分别印刷和涂覆玻璃焊接浆料和互联浆料，采用倒装贴片机进行合体后进行中温烧结焊接。本发明的优点是本发明在常规机械加工手段的一系列工艺问题上采用激光切割的方法，并增加了辅助梁和加宽悬臂梁的方法实现层压过程的良好控制。因此本发明提出的方法相比于常规制作方法操作成品率更高、精度更高、控制容易、成本更低。此外应用本发明制作的质量块因为采用了增加辅助梁和加宽悬臂梁的方法，极大提高制造控制的一致性，同时大幅度提高了产品率。
技术研发人员：唐小平;严英占;卢会湘;党元兰;赵飞;李攀峰;武云超
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第五十四研究所
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.04.16