油墨涂布装置及油墨涂布方法与流程

本申请主张基于2018年5月17日申请的日本专利申请第2018-095507号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种油墨涂布装置及油墨涂布方法。

背景技术：

在制造印刷基板时用于蚀刻用掩模的抗蚀剂图案的形成、印刷基板的阻焊剂的形成等中使用喷墨头的油墨涂布技术备受瞩目。在下述专利文献1中公开了如下方法：将应形成薄膜的区域分为实体区域和边缘区域，并且抽取实体区域的像素而提取油墨的着落点。由此，实体区域内的着落点的分布密度变低，但通过加大液滴的体积能够将实体区域的膜形成为所期望的厚度。

专利文献1：国际公开第2013/11775号

抽取实体区域的像素而提取油墨的着落点的方法中，构成图像数据的像素的个数并不会减少。因此，若着眼于喷墨头的所有喷嘴孔而不是一个喷嘴孔，则控制喷墨头的吐出频率并不会下降。因此，难以加快扫描速度。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种能够缩短油墨涂布的处理时间的油墨涂布装置及油墨涂布方法。

根据本发明的一种观点，提供一种油墨涂布装置，其具有：

喷墨头，朝向支承于工作台上的涂布对象物吐出油墨；

移动机构，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动，以使针对所述涂布对象物的油墨的着落点在所述涂布对象物的表面上移动；及

控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，

所述控制装置如下控制所述喷墨头及所述移动机构：

使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动的同时使油墨着落于沿着应涂布的区域的边缘的边缘区域，从而在所述边缘区域形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个以比形成所述边缘部时的移动速度更快的移动速度移动的同时使油墨涂布于被所述边缘部包围的内部区域。

根据本发明的另一观点，提供一种油墨涂布方法，其中，

在涂布对象物的表面的、沿着应涂布油墨的区域的边缘的边缘区域中，使油墨的着落点移动的同时使油墨的液滴着落，从而形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，在被所述边缘部包围的内部区域中，使着落点以比形成所述边缘部时的着落点的移动速度更快的移动速度移动的同时使油墨的液滴着落，从而将油墨涂布于所述内部区域。

根据本发明的又一观点，提供一种油墨涂布装置，其具有：

喷墨头，将油墨液滴化后朝向支承于工作台的涂布对象物吐出；

移动机构，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动，以使针对所述涂布对象物的油墨的着落点在所述涂布对象物的表面上移动；及

控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，

所述控制装置如下控制所述喷墨头及所述移动机构：

使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动的同时使油墨着落于沿着应涂布油墨的区域的边缘的边缘区域的多个着落点，从而形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，使所述涂布对象物和所述喷墨头中的一个相对于另一个移动的同时使油墨着落于被所述边缘部包围的内部区域的多个着落点，从而将油墨涂布于所述内部区域，

使所述边缘区域的多个着落点沿与所述涂布对象物和所述喷墨头的相对移动方向平行的第1方向及与所述第1方向正交的第2方向周期性地配置，并且使所述内部区域的多个着落点以整体上比所述边缘区域的着落点的间距更大的间距沿所述第1方向及所述第2方向周期性地配置。

根据本发明的又一观点，提供一种油墨涂布方法，其中，

在涂布对象物的表面的、沿着应涂布油墨的区域的边缘的边缘区域中，使油墨的着落点移动的同时使油墨的液滴着落，从而形成由油墨构成的边缘部，

在形成所述边缘部之后，在被所述边缘部包围的内部区域中，使油墨的着落点移动的同时使油墨的液滴着落，从而将油墨涂布于所述内部区域，

使所述边缘区域的多个着落点沿彼此正交的第1方向及第2方向周期性地配置，并且使所述内部区域的多个着落点以整体上比所述边缘区域的着落点的间距更大的间距沿所述第1方向及所述第2方向周期性地配置。

由于在不同的工序中将油墨涂布于边缘区域和内部区域，因此能够以适于各个区域的条件涂布油墨。例如，针对边缘区域，能够以相对较高分辨率涂布油墨，针对内部区域，能够以相对较快的扫描速度涂布油墨。

附图说明

图1a是基于实施例的油墨涂布装置的概要图，图1b是基于实施例的油墨涂布装置的工作台的平面图。

图2a是表示应涂布油墨的区域的平面图，图2b是表示应涂布油墨的区域为长方形时的边缘区域的像素的配置的图，图2c是表示应涂布油墨的区域为长方形时的内部区域的像素的配置的图。

图3是基于实施例的油墨涂布方法的流程图。

图4a是形成有边缘部的涂布对象物的、沿宽度方向剖切边缘部的剖视图，图4b是将油墨涂布于内部区域之后的涂布对象物的剖视图，图4c是使涂布于内部区域的油墨固化之后的涂布对象物的剖视图。

图5是表示通过基于比较例的方法将油墨涂布于内部区域(图2a)时的着落点的分布的图。

图6a是表示边缘区域的多个像素的配置的图，图6b是表示涂布于边缘区域的油墨的平面形状的图，图6c是表示内部区域的多个像素的配置的图，图6d是表示涂布于内部区域的液态的扩散的平面图，图6e是表示通过基于能够防止涂布遗漏的实施例的方法来涂布油墨时的油墨的扩散区域的平面图。

图7a是表示着落在内部区域的着落点上的油墨的扩散区域的一例的图，图7b是表示采用基于实施例的油墨涂布装置及油墨涂布方法时的油墨的扩散区域的图。

图8a是表示图1a～图4及图6e所示的实施例中使用的图像数据的像素及着落点的分布的图，图8b是表示其他实施例中使用的图像数据的像素及着落点的分布的图。

图9a是表示实施例中使用的图像数据的像素的分布的图，图9b是表示从喷嘴孔吐出油墨的时刻的时序图。

图10a是表示实施例中使用的边缘区域的像素的分布的图，图10b是图10a的单点划线10b-10b处的涂布对象物的剖视图，其表示油墨着落在边缘区域的最外侧着落点时的状态，图10c是表示油墨着落在从边缘区域的外侧开始数第2个着落点时的状态的剖视图，图10d是表示油墨着落在边缘区域的最内侧着落点时的状态的剖视图。

图11a是边缘区域用喷墨头的仰视图，图11b是内部区域用喷墨头的仰视图。

图中：10-台架，11-xy载台，12-θ载台，15-工作台，16-喷墨头，16e-边缘区域用喷墨头，16i-内部区域用喷墨头，17-框架，18-循环系统，19-循环路径，20、20e、20i-喷嘴孔，21、21e、21i-固化用光源，30-边缘区域的像素，31-内部区域的像素，32-间隙，40-控制装置，50-涂布对象物，51-应涂布油墨的区域，52-边缘区域，53-内部区域，55-边缘部，56-涂布于内部区域的液态油墨的膜，57-固化后的油墨的膜，58-油墨的扩散区域，61、62、63-着落于边缘区域的油墨。

具体实施方式

下面，参考图1a～图3，对基于实施例的油墨涂布装置进行说明。

图1a是基于实施例的油墨涂布装置的概要图。在台架10上，经由xy载台11及θ载台12支承有工作台15。涂布对象物50支承于工作台15的支承面上。涂布对象物50例如为印刷基板等基板。例如，工作台15包括真空卡盘机构，涂布对象物50真空吸附固定于支承面上。支承面例如相对于水平面平行，面朝铅垂方向上方。

xy载台11使工作台15相对于台架10沿与支承面平行且相互正交的两个方向平移移动。θ载台12改变以垂直于支承面的旋转轴为中心的工作台15的旋转方向上的姿势。

在工作台15的上方，通过框架17支承有喷墨头16。喷墨头16的朝向工作台15的面设置有多个喷嘴孔。循环系统18与喷墨头16一同构成油墨的循环路径19，并使油墨在该循环路径19中循环。

喷墨头16将油墨液滴化后朝向支承于工作台15上的涂布对象物50吐出。控制装置40中存储有定义应形成的膜图案的平面形状的图像数据。该图像数据例如为多个像素沿行方向和列方向排列的光栅扫描形式的数据。控制装置40根据该图像数据控制xy载台11及喷墨头16，从而在涂布对象物50的上表面形成由油墨构成的膜图案。而且，控制装置40还控制循环系统18及θ载台12。

图1b是基于实施例的油墨涂布装置的工作台15的平面图。在工作台15的支承面上支承有涂布对象物50。在涂布对象物50的上方支承有喷墨头16。在各个喷墨头16的朝向下方的面设置有多个喷嘴孔20。喷墨头16从喷嘴孔20朝向支承于工作台15上的涂布对象物50吐出经液滴化的油墨。

此外，在喷墨头16的两侧(在图1b中为上侧和下侧)安装有用于固化油墨的固化用光源21。例如，油墨为紫外线固化型，固化用光源21为发射紫外线的led。

定义将与工作台15的支承面平行且相互正交的两个方向分别作为x方向及y方向并将支承面的法线方向作为z方向的xyz正交坐标系。多个喷嘴孔20沿x方向等间隔排列。控制装置40(图1a)使工作台15沿y方向(扫描方向)移动的同时使油墨按照对应于图像数据的时刻从喷嘴孔20吐出。由此，能够使油墨着落在支承于工作台15上的涂布对象物50的表面的规定位置(着落点)。

由图像数据在y方向上的像素间距确定工作台15的扫描速度及从喷嘴孔20吐出油墨的时间间隔。吐出油墨的时间间隔(油墨吐出间隔)的最小值作为喷墨头16的额定值而确定。工作台15的扫描速度基于y方向上的像素间距及喷墨头16的油墨吐出间隔的额定值来设定。

x方向上的像素间距依赖于喷嘴孔20在x方向上的间距。当所期望的像素间距比喷嘴孔20的间距窄时，将喷墨头16沿x方向错开像素间距的量并进行多次扫描。由此，在x方向上，能够以图像数据中设定的像素间距涂布油墨。

在图1a中，由xy载台11构成的移动机构使涂布对象物50相对于喷墨头16移动，由此使着落点在涂布对象物50的表面上移动。与此相反，移动机构也可以使喷墨头16相对于涂布对象物50移动，由此使着落点移动。即，只要使涂布对象物50与喷墨头16中的一个相对于另一个移动以使着落点在涂布对象物50的表面上移动即可。涂布对象物50与喷墨头16的相对移动方向相当于扫描方向(y方向)。

图2a是表示应涂布油墨的区域51的平面图。在涂布对象物50的表面定义有应涂布油墨的区域51。在图2a中，在应涂布油墨的区域51标注了阴影线。在本实施例中，将应涂布油墨的区域51区分为沿着边缘的边缘区域52及被边缘区域52包围的内部区域53，并将油墨涂布于边缘区域52之后，将油墨涂布于内部区域53。边缘区域52的油墨的涂布条件与内部区域53的油墨的涂布条件不同。

图2b是表示应涂布油墨的区域51为长方形时的边缘区域52的像素30的配置的图。在图2b所示的例子中，边缘区域52的宽度相当于一个像素30的大小。各个像素30的中心点相当于油墨的着落点ce。着落点ce沿x方向及y方向等间距且周期性地配置。pex表示边缘区域52的着落点ce在x方向上的间距，pey表示y方向上的间距。间距pex与间距pey相等。另外，也可以在边缘区域52的宽度方向上配置多个像素30以放大边缘区域52的宽度。

图2c是表示应涂布油墨的区域51为长方形时的内部区域53的像素31的配置的图。内部区域53的像素31大于边缘区域52的像素30。作为一例，内部区域53的一个像素31的大小相当于边缘区域52的4个像素30的大小。各个像素31的中心点相当于油墨的着落点ci。着落点ci沿x方向及y方向等间距且周期性地配置。pix表示内部区域53的着落点ci在x方向上的间距，piy表示y方向上的间距。间距pix与间距piy相等。并且，间距pix及间距piy比间距pex及间距pey宽。

接着，参考图3～图4c，对基于实施例的油墨涂布方法进行说明。

图3是基于实施例的油墨涂布方法的流程图。首先，将涂布对象物50支承于工作台15(步骤s1)。然后，控制装置40控制xy载台11(图1a)使涂布对象物50沿y方向移动并且控制喷墨头16使油墨着落在边缘区域52(图2a)的着落点ce(图2b)(步骤s2)。此时，预先从固化用光源21向涂布对象物50照射固化用光。因此，着落在涂布对象物50的油墨在着落之后立即固化。

图4a是着落于边缘区域52的油墨固化后形成了边缘部55的涂布对象物50的、沿宽度方向剖切边缘部55的剖视图。在涂布对象物50的边缘区域52形成有边缘部55。在内部区域53尚未涂布有油墨。

在形成边缘部55之后，控制装置40控制xy载台11(图1a)使涂布对象物50沿y方向移动并且控制喷墨头16使油墨着落在内部区域53(图2a)的着落点ci(图2c)(步骤s3)。此时，以比形成边缘部55时的涂布对象物50的移动速度(扫描速度)更快的速度使涂布对象物50沿y方向移动。内部区域53的着落点ci在y方向上的间距piy(图2c)比边缘区域52的着落点ce在y方向上的间距pey(图2b)大，因此，即使加快扫描速度，也能够使油墨着落在着落点ci。在将油墨涂布于内部区域53时，固化用光源21不照射固化用光。

图4b是将油墨涂布于内部区域53之后的涂布对象物50的剖视图。由于尚未照射固化用光，因此着落在内部区域53的油墨在面内方向上扩散，油墨的多个液滴彼此一体化。其结果，涂布于内部区域53的油墨的表面变得平坦，形成液态的油墨的膜56。此时，边缘部55起到阻挡液态的油墨流出的作用。

在将油墨涂布于内部区域53之后，使涂布对象物50移动的同时从固化用光源21(图1b)向液态的油墨的膜56照射固化用光，由此使内部区域53的油墨固化(步骤s4)。

图4c是使涂布于内部区域53的油墨固化之后的涂布对象物50的剖视图。在内部区域53形成有表面平坦的膜57。

接着，参考图2c及图5，对本实施例的优异效果进行说明。

图5是表示通过基于比较例的方法将油墨涂布于内部区域53(图2a)时的着落点ci的分布的图。内部区域53的y方向上的像素31的间距与边缘区域52的像素30在y方向上的间距pey(图2b)相等。在比较例中，将从四个像素31中提取的一个像素31的中心点作为着落点ci。

着落点ci的分布密度在实施例(图2c)和比较例(图5)中相同。然而，在图5所示的比较例中，着落点ci在y方向上的间距的最小值与边缘区域52的着落点ce在y方向上的间距pey相同。因此，难以将向内部区域53涂布油墨时的扫描速度设为比向边缘区域52涂布油墨时的扫描速度快。

例如，在图5所示的例子中，若着眼于一个列，则着落点ci在扫描方向上的间距成为间距pey的两倍。然而，从内部区域53整体上看，着落点ci在扫描方向上的间距等于间距pey。相对于此，在本实施例中，内部区域53的着落点ci在y方向上的间距piy(图2c)在整体上看比边缘区域52的着落点ce在y方向上的间距pey大，例如为两倍。在此，“整体上看”是指并非只是将着落点ci的一个列作为对象，而是将所有列作为对象。

因此，能够将向内部区域53涂布油墨时的扫描速度设为比将向边缘区域52涂布油墨时的扫描速度快。通过加快将油墨涂布于内部区域53时的扫描速度，能够缩短涂布油墨所需时间。

并且，在本实施例中，如图4b及图4c所示，能够使形成于内部区域的油墨的膜的表面平坦化。因此，能够提高膜的外观性。在将该膜用作蚀刻掩模的情况下，由于膜的厚度均匀，因此，与表面形成有凹凸的膜相比，在蚀刻耐性的观点上能够提高可靠性。

接着，参考图6a～图6e，对另一实施例进行说明。以下，省略对与图1a～图4c所示的实施例相同的结构的说明。

图6a是表示边缘区域52的一部分上的多个像素30的配置的图。多个像素30排列配置，各个像素30的中心相当于着落点ce。图6b是表示涂布于边缘区域52的油墨的平面形状的图。着落于涂布对象物50的油墨扩散成大致圆形，着落在相邻的两个着落点ce的油墨彼此连续而形成边缘部55。

图6c是表示内部区域53的一部分上的多个像素31的配置的图。多个像素31沿x方向及y方向二维分布。像素31大于边缘区域52的像素30(图6a)。因此，内部区域53的着落点ci的间距比边缘区域52的着落点ce的间距大。

图6d是表示涂布于内部区域53的液态油墨的扩散的平面图。着落于涂布对象物50的油墨扩散成大致圆形。将油墨扩散的区域称为扩散区域58。根据着落点ci的间距和油墨的液滴的体积，油墨的扩散区域58有时无法完全覆盖内部区域53的整个区域，会产生涂布遗漏。

图6e是表示通过能够防止涂布遗漏的本实施例的方法来涂布油墨时的油墨的扩散区域的平面图。在本实施例中，将着落于内部区域53的着落点ci上的油墨的液滴的体积设为大于着落于边缘区域52的着落点ce(图6a)上的油墨的液滴的体积。液滴的体积设定为油墨的扩散区域58能够完全覆盖整个内部区域53的大小。

接着，对本实施例的优异效果进行说明。在本实施例中，通过将着落于内部区域53的着落点ci上的油墨的液滴的体积设为大于着落于边缘区域52的着落点ce上的油墨的液滴的体积，能够抑制在内部区域53产生油墨的涂布遗漏。作为加大着落于着落点ci上的油墨的液滴的体积的方法，可以加大一个液滴的体积，也可以加大着落于一个着落点ci的液滴的数量来加大液滴的总体积。

接着，参考图7a～图8b，对又一实施例进行说明。以下，省略对与图1a～图4及图6e所示的实施例相同的结构的说明。

图7a是表示着落在内部区域53的着落点ci上的油墨的扩散区域58的一例的图。若加大着落于着落点ci上的油墨的液滴的体积，则扩散区域58也会变大，有时会出现越过边缘部55而扩散至外侧的情况。

图7b是表示采用基于本实施例的油墨涂布装置及油墨涂布方法时的油墨的扩散区域58的图。在本实施例中，为了防止着落在内部区域53的着落点ci上的油墨的扩散区域58越过边缘部55而扩散至外侧，与图7a的结构相比，使内部区域53的最外侧的着落点ci更远离边缘部55。

图8a是表示图1a～图4及图6e所示的实施例中使用的图像数据的像素及着落点的分布的图。边缘区域52的着落点ce沿x方向及y方向隔着间距pe而配置。内部区域53的着落点ci则沿x方向及y方向隔着间距pi而配置。在此，gx表示内部区域53的最外周的着落点ci与在x方向上相邻于该着落点ci的边缘区域52的着落点ce之间的x方向上的间隔。位于内部区域53的最外周的像素31与边缘区域52的像素30接触，因此间隔gx等于间距pe的1/2与间距pi的1/2之和。在y方向上也相同。

图8b是表示本实施例中使用的图像数据的像素及着落点的分布的图。在本实施例中，在x方向及y方向上缩小了构成内部区域53的多个像素31所占据的区域。因此，在位于内部区域53的最外周的像素31与边缘区域52的像素30之间形成有间隙32。因此，间隔gx比间距pe的1/2与间距pi的1/2之和更大。对应于最外周的像素31的位移，将除了最外周以外的内侧的像素31的位置调整为像素31均匀地分布。在y方向上也相同。控制装置40根据调整后的像素31的位置控制油墨的吐出时刻及应吐出油墨的喷嘴孔20。

在本实施例中，通过在x方向及y方向上缩小构成内部区域53的图像数据的多个像素31，使位于内部区域53的最外周的着落点ci的位置向远离边缘区域52的方向位移。由此，如图7b所示，能够抑制着落在内部区域53的油墨扩散至边缘部55的外侧。

为了抑制油墨扩散至边缘部55的外侧，优选将间隔gx设为着落于内部区域53的油墨的一个液滴能够扩散的圆形区域的半径以上。并且，若过于加大间隔gx，则会导致在边缘区域52与内部区域53之间的边界产生未涂布油墨的区域。间隔gx的上限值优选设为不会产生未涂布油墨的区域的程度。

接着，参考图9a及图9b，对又一实施例进行说明。以下，省略对与图8b所示的实施例相同的结构的说明。

图9a是表示本实施例中使用的图像数据的像素的分布的图。在图8b所示的实施例中，在x方向及y方向这两个方向上缩小了构成内部区域53的多个像素31所占据的区域。在本实施例中，在x方向(与扫描方向正交的方向)上缩小了构成内部区域53的多个像素31所占据的区域，但在y方向(扫描方向)上则并未缩小。因此，位于内部区域53的最外周的像素31与在y方向上相邻于该像素的边缘区域52的像素30彼此接触。

图9b是表示从喷嘴孔20(图1b)吐出油墨的时刻的时序图。以下，对着落点朝向图9a的y轴的正方向移动从而将油墨着落于沿y方向排列成一列的七个像素31时的扫描的例子进行说明。七个像素31中的两端的像素31位于内部区域53的最外周。沿着y轴的正方向依次给排列成一列的七个像素31附加1至7的编号。c(i)表示第i个像素31的中心位置，ci(i)表示与第i个像素31相对应的着落点。

图9b的上段的时序图表示对应于图像数据的吐出时刻，下段的时序图表示实际的吐出时刻。将着落点ci(1)的吐出时刻设为比与像素31的中心位置c(1)相对应的吐出时刻延迟。并且，将着落点ci(7)的吐出时刻设为比与像素31的中心位置c(7)相对应的吐出时刻提前。关于除了两端的着落点ci(1)及ci(7)以外的内侧的着落点ci(2)～ci(6)的吐出时刻，使其以使实际的吐出时刻的时间间隔成为恒定的方式从与中心位置c(2)～c(6)相对应的吐出时刻错开。

如此，通过错开实际的吐出时刻，能够使位于内部区域53的最外周的着落点ci(1)、ci(7)远离边缘区域52。其结果，与图8b所示的实施例同样地，能够抑制着落在内部区域53的油墨扩散至边缘部55的外侧。

接着，参考图10a～图10d，对又一实施例进行说明。以下，省略对与图1a～图4c所示的实施例相同的结构的说明。

图10a是表示本实施例中使用的边缘区域52的像素30的分布的图。在图2b所示的实施例中，边缘区域52的各边的宽度为一个像素30的量。在本实施例中，边缘区域52的各边在其宽度方向上排列有多个像素30，例如三个像素30。即，沿边缘区域52的各边的宽度方向排列有多个着落点ce。从外侧朝向内侧对沿宽度方向排列的三个着落点ce附加编号。内部区域53被边缘区域52包围。

接着，参考图10b～图10d，对将油墨着落于沿边缘区域52的各边的沿宽度方向排列的多个着落点ce的顺序进行说明。

图10b是图10a的单点划线10b-10b处的涂布对象物50的剖视图，其表示油墨着落在边缘区域52的最外侧着落点ce(1)上的状态。着落在着落点ce(1)的油墨61在固化之前沿面内方向扩散而到达超过相邻的着落点ce(2)的位置。因此，形成以着落点ce(1)的位置为中心的油墨的凸部。相邻的着落点ce(2)位于与由油墨61形成的凸部的斜面相对应的部位。

图10c表示油墨62着落在从边缘区域52的外侧起数第2个着落点ce(2)时的状态。着落在着落点ce(2)的油墨沿着由前一次吐出的油墨61形成的凸部的斜面而朝向内部区域53流动而到达超过相邻的着落点ce(3)的位置。

图10d表示油墨63着落在边缘区域52的最内侧着落点ce(3)时的状态。着落在着落点ce(3)的油墨沿着前一次吐出并固化的油墨62的斜面而朝向内部区域53流动。通过使着落在着落点ce(1)～ce(3)的油墨61、62、63固化，形成边缘部55。

接着，对本实施例的优异效果进行说明。在本实施例中，在边缘区域52的各边的宽度方向上，使油墨从外侧的着落点ce(1)朝向内侧的着落点ce(3)依次着落。由于后着落的油墨沿着先着落并固化的油墨的斜面而朝向内部区域53(图10a)流动，因此，边缘部55(图10d)的内部区域53侧斜面的倾斜度比外侧斜面的倾斜度平缓。换言之，能够使边缘部55的外侧斜面的倾斜度变得陡峭。

在图10b～图10d中，对与x方向平行的边(与扫描方向正交的边)进行了说明。针对与y方向(扫描方向)平行的边，使油墨从外侧朝向内侧依次着落在沿宽度方向排列的多个着落点ce即可。例如，在通过多次扫描使油墨着落在边缘区域52的着落点ce时，在第1次扫描中使油墨着落在最外侧的着落点ce，通过之后的扫描将油墨依次着落在内侧的着落点ce即可。

接着，参考图11a及图11b，对又一实施例进行说明。以下，省略对与图1a～图4c所示的实施例相同的结构的说明。在图1a～图4c所示的实施例中，为了将油墨涂布于边缘区域52及内部区域53(图2a)，使用了共同的喷墨头16(图1b)。在本实施例中，设置有用于将油墨涂布于边缘区域的喷墨头及用于将油墨涂布于内部区域的喷墨头。

图11a是边缘区域用喷墨头16e的仰视图，图11b是内部区域用喷墨头16i的仰视图。在边缘区域用喷墨头16e的底面设置有沿x方向排列的多个喷嘴孔20e，在内部区域用喷墨头16i的底面设置有沿x方向排列的多个喷嘴孔20i。喷嘴孔20i在x方向上的间距比喷嘴孔20e在x方向上的间距大。并且，内部区域用喷墨头16i所吐出的油墨的液滴的体积大于边缘区域用喷墨头16e所吐出的油墨的液滴的体积。

在边缘区域用喷墨头16e的两侧分别配置有固化用光源21e。在内部区域用喷墨头16i的两侧也分别配置有固化用光源21i。固化用光源21e、21i朝向涂布对象物50照射使油墨固化的固化用光。

内部区域用喷墨头16i的喷嘴孔20i与固化用光源21i之间的y方向上的间隔wiy大于边缘区域用喷墨头16e的喷嘴孔20e与固化用光源21e之间的y方向上的间隔wey。

在图3所示的实施例中，在步骤s3中进行将油墨涂布于内部区域53的扫描之后，在步骤s4中使内部区域53的油墨固化。在本实施例中，在使用内部区域用喷墨头16i进行将油墨涂布于内部区域53的扫描时，从固化用光源21i向涂布对象物50照射固化用光。

接着，对本实施例的优异效果进行说明。

由于间隔wiy大于间隔wey，因此，油墨着落到内部区域53直至固化为止的时间比油墨着落到边缘区域52直至固化为止的时间更长。由此，可以在着落于内部区域53的油墨扩散而油墨的膜的上表面变得大致平坦之后使油墨固化。其结果，与图4a～图4c所示的实施例同样地，能够使内部区域53的油墨的膜57的表面平坦化。在本实施例中，无需单独进行用于固化油墨的处理，因此能够缩短处理时间。

由于从内部区域用喷墨头16i吐出的油墨的液滴的体积大于从边缘区域用喷墨头16e吐出的油墨的液滴的体积，因此能够防止内部区域53(图2a)的涂布遗漏。

上述各实施例为示例，理所当然，不同的实施例中所示的结构可以进行部分置换或组合。针对多个实施例的基于相同结构的相同的作用效果，不在每个实施例中依次提及。此外，本发明并不只限于上述实施例。例如，可以进行各种变更、改良、组合等，这对本领域技术人员来说是显而易见的。