技术特征：
1.一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，包括：在柔性板的工具边上制作排气孔；排气孔制作完后，采用低压方式以及烘烤方式去除柔性板的内应力；对柔性板进行电金加工；进行柔性板外形制作，利用柔性板的圆形pad进行光学定位，采用激光切割的方式对柔性板进行切割，采用等离子处理的方式将切割过程中的碳粉去除，形成干净的板面。2.据权利要求1所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，制作方法还包括在柔性板的工具边上制作排气孔前，在需要制作排气孔的位置上贴附缓冲膜。3.据权利要求2所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，所述缓冲膜的厚度不超过所述柔性板的第一层的厚度，所述缓冲膜的大小比所述排气孔的孔径单边大0.3
‑
2mm。4.据权利要求2所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，所述缓冲膜的材质为聚酰亚胺。5.据权利要求1所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，所述排气孔的制作方式为冲切方式。6.据权利要求1所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，所述低压方式的磅力为70
‑
100psi。7.据权利要求1所述的一种高精度电金柔性板制作方法，其特征在于，所述烘烤方式的温度为75
‑
120℃。