一种集成电路制造用静电防护装置的制作方法

文档序号:34654148发布日期:2023-06-29 22:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路制造用静电防护装置,包括壳体(1)、后端盖(2)和前端盖(5),其特征在于:所述壳体(1)的前后两侧分别设置有前端盖(5)和后端盖(2),所述后端盖(2)的内部设置有筛网(17),所述壳体(1)的内部设置有固定板(3),所述固定板(3)的内部贴合设置有离子风机(4),所述前端盖(5)的内部设置有第一固定道(6),所述前端盖(5)位于壳体(1)外部的一侧设置有角度调节机构,所述前端盖(5)位于壳体(1)内部的一侧设置有气体方向调节机构。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述第一固定道(6)等角度设置在前端盖(5)的内部,所述第一固定道(6)的内部交替设置有吸收层(7)和加热环(8),所述吸收层(7)的内部呈镂空状,所述加热环(8)呈螺旋形。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述吸收层(7)由海绵材料构成,所述吸收层(7)的内部储存有酒精与水的混合溶液。

4.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述第一固定道(6)与邻位的第一固定道(6)分别和第二固定道(9)相连接,所述第二固定道(9)呈“v”字形,所述第二固定道(9)的内部连接有角度调节机构。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述角度调节机构包括排风管(10)和扭簧(11),所述排风管(10)分为嵌入端与导流端,所述排风管(10)的嵌入端呈球形,所述排风管(10)的嵌入端侧面连接有扭簧(11),所述扭簧(11)的另一端和前端盖(5)相连接,所述排风管(10)的嵌入端呈漏斗状,所述排风管(10)的导流端内部呈镂空状。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述气体方向调节机构包括风扇(12)、固定环(13)和固定孔(14),所述风扇(12)转动设置在前端盖(5)的侧面,所述风扇(12)的侧面设置有固定环(13),所述固定环(13)与前端盖(5)为贴合连接,所述固定环(13)的内部等角度开设有若干个固定孔(14)。

7.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述壳体(1)的侧面设置有固定柱(15),所述固定柱(15)的内部设置有支撑柱(16),所述固定柱(15)的内部直径大于支撑柱(16)的外部直径。


技术总结
本发明公开了一种集成电路制造用静电防护装置,包括壳体、后端盖和前端盖,所述壳体的前后两侧分别设置有前端盖和后端盖,所述后端盖的内部设置有筛网,所述壳体的内部设置有固定板,所述固定板的内部贴合设置有离子风机,所述前端盖的内部设置有第一固定道;当气体与吸收层接触时会增加气体中水与酒精的混合溶液含量,大部分气体会被喷出至外界与集成电路进行接触,从而使得溶液覆盖在集成电路的表面,水分子可以进行导电来避免集成电路表面的电荷出现聚集的现象,而酒精可以起到消毒的作用,而少部分气体会与加热环接触,而加热环可以对与其接触的溶液进行气化,达到提高加热环周围区域温度的效果。

技术研发人员:杨帆,孙丽丽,邢红飞,晁娟,曾德琴,郑益,杜文汉
受保护的技术使用者:常州鼎先电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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