1.一种集成电路制造用静电防护装置,包括壳体(1)、后端盖(2)和前端盖(5),其特征在于:所述壳体(1)的前后两侧分别设置有前端盖(5)和后端盖(2),所述后端盖(2)的内部设置有筛网(17),所述壳体(1)的内部设置有固定板(3),所述固定板(3)的内部贴合设置有离子风机(4),所述前端盖(5)的内部设置有第一固定道(6),所述前端盖(5)位于壳体(1)外部的一侧设置有角度调节机构,所述前端盖(5)位于壳体(1)内部的一侧设置有气体方向调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述第一固定道(6)等角度设置在前端盖(5)的内部,所述第一固定道(6)的内部交替设置有吸收层(7)和加热环(8),所述吸收层(7)的内部呈镂空状,所述加热环(8)呈螺旋形。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述吸收层(7)由海绵材料构成,所述吸收层(7)的内部储存有酒精与水的混合溶液。
4.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述第一固定道(6)与邻位的第一固定道(6)分别和第二固定道(9)相连接,所述第二固定道(9)呈“v”字形,所述第二固定道(9)的内部连接有角度调节机构。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述角度调节机构包括排风管(10)和扭簧(11),所述排风管(10)分为嵌入端与导流端,所述排风管(10)的嵌入端呈球形,所述排风管(10)的嵌入端侧面连接有扭簧(11),所述扭簧(11)的另一端和前端盖(5)相连接,所述排风管(10)的嵌入端呈漏斗状,所述排风管(10)的导流端内部呈镂空状。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述气体方向调节机构包括风扇(12)、固定环(13)和固定孔(14),所述风扇(12)转动设置在前端盖(5)的侧面,所述风扇(12)的侧面设置有固定环(13),所述固定环(13)与前端盖(5)为贴合连接,所述固定环(13)的内部等角度开设有若干个固定孔(14)。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用静电防护装置,其特征在于:所述壳体(1)的侧面设置有固定柱(15),所述固定柱(15)的内部设置有支撑柱(16),所述固定柱(15)的内部直径大于支撑柱(16)的外部直径。