弹性波装置及其制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及例如双工器等的多个弹性波元件所构成的弹性波装置及其制造方法。
【背景技术】
[0002]以往，弹性波装置被广泛应用于移动电话的双工器。例如，在下述的专利文献I中公开了如下的双工器，即，在同一压电基板上具备构成发送滤波器的弹性波元件部分和构成接收滤波器的弹性波元件部分。在专利文献I中，在发送滤波器部分与接收滤波器部分之间设置有屏蔽电极。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2010-98551号公报
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
[0007]在专利文献I所记载的双工器中，在发送滤波器与接收滤波器之间形成有屏蔽电极。由此，发送滤波器与接收滤波器之间的电磁场耦合被抑制。由此，可谋求隔离特性的改口 ο
[0008]然而，在专利文献I所记载的双工器中，虽然设置有上述屏蔽电极，但无法充分地抑制电磁场耦合，隔离特性依然是不充分的。
[0009]本发明的目的在于，提供一种可以更有效地抑制弹性波元件部分间的电磁场耦合的弹性波装置及其制造方法。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本发明所涉及的弹性波装置具有:压电基板；和被设置在压电基板上的第1、第2电极构造。第1、第2电极构造分别具有第1、第2弹性波元件部分。此外，在本发明中，在压电基板上设置有支承框。支承框被设置为包围设置有上述第I弹性波元件部分以及第2弹性波元件部分的部分。
[0012]在本发明中，在上述支承框上设置有覆盖层。覆盖层构成了第1、第2弹性波元件部分所面对的第1、第2中空部。
[0013]上述支承框具有对第I弹性波元件部分和第2弹性波元件部分进行区域划分的隔壁部，但在设置于该隔壁部的沟槽设置有由导电性材料构成的屏蔽电极。
[0014]在本发明所涉及的弹性波装置的某特定方面，屏蔽电极被设置在对支承框的隔壁部进行上下贯通的贯通沟槽的内侧。优选，屏蔽电极被设置为达到隔壁部的全长。
[0015]在本发明所涉及的弹性波装置的进一步的其他的特定方面，在所述支承框的一部分，与所述第I电极构造或者所述第2电极构造电连接的凸块下金属层被设置为从该支承框的上表面向上方突出，该凸块下金属层和所述屏蔽电极由相同的材料构成。
[0016]在本发明所涉及的弹性波装置的另外的特定方面，在压电基板上构成了至少一个第3弹性波元件部分。
[0017]在本发明所涉及的弹性波装置的进一步的另外的特定方面，所述第I弹性波元件部分为接收滤波器部，所述第2弹性波元件部分为发送滤波器部，从而构成了双工器。
[0018]在本发明所涉及的弹性波装置的进一步另外的特定的方面，所述屏蔽电极被连接至接地电位。
[0019]本发明的弹性波装置的制造方法是制造按照本发明所构成的弹性波装置的方法。本发明的制造方法具备:准备压电基板的工序；在所述压电基板上形成所述第I电极构造以及所述第2电极构造的工序；在所述压电基板上按照具有所述隔壁部的方式来形成所述支承框的工序；在所述支承框上按照具有所述第1、第2中空部的方式来设置所述覆盖层的工序；和在所述支承框的隔壁部设置所述屏蔽电极的工序。
[0020]在本发明所涉及的弹性波装置的制造方法的某特定方面，形成所述屏蔽电极的工序具备:在所述支承框的所述隔壁部，形成在所述隔壁部的上表面的一部分敞开的凹状沟槽或者贯通所述隔壁部的贯通沟槽的工序；和在所述凹状沟槽或者所述贯通沟槽埋入所述导电性材料来形成所述屏蔽电极的工序。
[0021]在本发明所涉及的弹性波装置的制造方法的其他的特定方面，在所述支承框上设置了所述覆盖层之后形成从所述覆盖层至所述隔壁部的凹状沟槽或者贯通沟槽，由此来进行在所述隔壁部形成所述凹状沟槽或者所述贯通沟槽的工序。
[0022]在本发明所涉及的弹性波装置的制造方法的进一步的其他的特定方面，还具备:在形成从所述覆盖层至所述隔壁部的凹状沟槽或者贯通沟槽之际，形成贯通所述覆盖层并到达所述支承框的凸块下金属层用贯通孔的工序；和在所述凹状沟槽或者贯通沟槽填充所述导电性材料来形成屏蔽电极的工序中，向所述凸块下金属层用贯通孔也填充相同的导电性材料来形成凸块下金属层的工序。
[0023]在本发明所涉及的弹性波装置的制造方法的进一步的其他的特定方面，还具备:在所述凸块下金属层上形成用于与外部电连接的凸块的工序。
[0024]在本发明所涉及的弹性波装置的制造方法的进一步的其他的特定方面，作为所述第I弹性波元件部分而构成接收滤波器部，作为所述第2弹性波元件部分而构成发送滤波器部，由此获得双工器。
[0025]发明效果
[0026]在本发明所涉及的弹性波装置中，由于支承框具有隔壁部，并在该隔壁部的沟槽设置有由导电性材料构成的屏蔽电极，因此可以有效地抑制第I弹性波元件部分和第2弹性波元件部分的电磁场耦合。
【附图说明】
[0027]图1 (a)是本发明的第I实施方式所涉及的弹性波装置的正面剖视图，图1 (b)是除掉覆盖层以及凸块后的弹性波装置的示意性俯视图。
[0028]图2(a)?图2(d)是用于说明本发明的第I实施方式的弹性波装置的制造方法的各示意性正面剖视图。
[0029]图3是用于说明本发明的第I实施方式所涉及的弹性波装置的制造方法的示意性正面剖视图。
[0030]图4是本发明的第I实施方式的第I变形例所涉及的弹性波装置的正面剖视图。
[0031]图5(a)是本发明的第I实施方式的第2变形例所涉及的弹性波装置的正面剖视图，图5(b)是除掉覆盖层以及凸块后的弹性波装置的示意性俯视图。
[0032]图6是关于共模隔离特性而在本发明的第I实施方式所涉及的弹性波装置和比较例的弹性波装置中进行比较后的实验结果。
【具体实施方式】
[0033]以下，参照附图来说明本发明的【具体实施方式】，由此使本发明变得明了。
[0034]图1 (a)是本发明的一实施方式所涉及的弹性波装置的正面剖视图。此外，图1 (b)是在本实施方式的弹性波装置I中除去后述的凸块以及覆盖层后的构造的俯视图。另外，图1(a)是与沿着图1(b)的A-A线的部分相当的部分的正面剖视图。
[0035]另外，本实施方式的弹性波装置I被用作移动电话的双工器。
[0036]弹性波装置I具有压电基板2。压电基板2能够由1^了&03或LiNbO 3等压电单晶、或者压电陶瓷、或者在主面上设置有压电性薄膜的基板来构成。
[0037]在压电基板2上形成有第I电极构造3和第2电极构造4。第I电极构造3包含IDT电极、迂回布线。第I电极构造3被设置为构成作为第I弹性波元件部分的发送滤波器。由该第I电极构造3形成的发送滤波器的具体构成并未特别限定。例如，只要构成梯型电路结构的带通滤波器等的适当滤波器即可。按照与第I电极构造3电连接的方式设置有电极焊盘5、6。
[0038]另一方面，第2电极构造4构成了作为第2弹性波元件部分的接收滤波器。此外，第2电极构造4也包含IDT电极、迂回布线等。在本实施方式中，由第2电极构造4构成了接收滤波器。因此，第2电极构造4被设置为构成梯型电路结构的带通滤波器、纵耦合谐振器型电路结构的带通滤波器等的适当滤波器。与第2电极构造4电连接的电极焊盘7、8被设置在压电基板2上。
[0039]在本实施方式中，由第I电极构造3以及第2电极构造4分别构成了上述第1、第2弹性波元件部分。在此，第I弹性波元件部分以及第2弹性波元件部分包含至少一个弹性表面波元件。因此，需要不妨碍弹性表面波元件振动用的空间。为此，按