金属膜21露出。
[0065]然后，如图3所示，从贯通孔23a填充用于构成凸块下金属层16?19以及屏蔽电极22的金属材料。该方法并不特别限定，在整个面成膜了金属膜之后，可通过利用剥离(lift-off)法除去贯通孔外的金属膜的方法等的适当方法来进行。
[0066]然后，形成图1(a)所示的凸块24。如此，能够获得弹性波装置I。
[0067]另外，上述弹性波装置I的制造方法为一例，制造弹性波装置I的方法本身并未特别限定。不过，在上述制造方法中，由于凸块下金属层16?19由与屏蔽电极22相同的金属材料构成，因此能够以相同的工序来形成。因此，可起到制造工序的简化以及成本降低的效果。
[0068]此外，在本实施方式中，如前所述，金属膜21与金属膜12?15同样地，由与构成凸块下金属层16?19以及屏蔽电极22的金属的密接性方面优异的材料构成。因此，能够提高屏蔽电极22相对于金属膜21的密接性。因此，能够遍及设置有屏蔽电极22的部分中的整个区域地有效提尚电磁屏蔽效应。
[0069]在图6中示出本发明的第I实施方式的弹性波装置和比较例的弹性波装置的共模隔离特性。本发明的第I实施方式的弹性波装置的结构设为:发送侧的频带为704?716MHz、接收侧的频带为734?746MHz的通信标准Bandl7的平衡型双工器。在比较例中，除了省略贯通孔以及屏蔽电极22之外，设为与本发明的第I实施方式的弹性波装置相同。另外，在图6中，虚线表示本发明的第I实施方式，实线表示比较例。
[0070]由图6可知，根据本发明的实施方式，与比较例相比，发送侧以及接收侧的频带中的衰减量较大，共模隔离特性方面优异。
[0071]另外，在上述实施方式中，虽然说明了应用于移动电话的双工器的实施方式，但本发明并不限定于双工器。即，一般可以适用于在压电基板上设置有多个弹性波元件部分的弹性波装置。
[0072]因此，第I弹性波元件部分以及第2弹性波元件部分并不限于带通滤波器、低通滤波器、高通滤波器、带阻滤波器，也可以是谐振器、弹性波延迟线等的具有多种功能的元件部分。
[0073]此外，在上述实施方式中，虽然第1、第2弹性波元件部分为弹性表面波元件部分，但也可以为弹性边界波元件部分、体弹性波元件部分。
[0074]符号说明
[0075]I...弹性波装置
[0076]2...压电基板
[0077]3、4…第1、第2电极构造
[0078]5?8...电极焊盘
[0079]11...支承框
[0080]11a...隔壁部
[0081]Ilb.…贯通沟槽
[0082]Ilx…凹状沟槽
[0083]12?15…金属膜
[0084]16?19...凸块下金属层
[0085]20、21…金属膜
[0086]22...屏蔽电极
[0087]23...覆盖层
[0088]23a...贯通孔
[0089] 24.??凸块
【主权项】
1.一种弹性波装置，其特征在于，具备: 压电基板； 第I电极构造，其设置在所述压电基板上，且构成第I弹性波元件部分； 第2电极构造，其设置在所述压电基板上，且构成第2弹性波元件部分； 支承框，其按照将设置有所述第I弹性波元件部分以及所述第2弹性波元件部分的部分包围的方式设置在所述压电基板上；和 覆盖层，其设置在所述支承框上，且构成第I弹性波元件部分、第2弹性波元件部分所面对的第I中空部、第2中空部， 所述支承框具有对所述第I弹性波元件部分和所述第2弹性波元件部分进行区域划分的隔壁部，在设置于该隔壁部的沟槽，设置有由导电性材料构成的屏蔽电极。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中， 所述屏蔽电极被设置在将所述支承框的所述隔壁部进行上下贯通的贯通沟槽的内侧。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中， 所述屏蔽电极被设置为达到所述隔壁部的全长。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的弹性波装置，其中， 在所述支承框的一部分，与所述第I电极构造或者所述第2电极构造电连接的凸块下金属层被设置为从该支承框的上表面向上方突出，该凸块下金属层和所述屏蔽电极由相同的材料构成。
5.根据权利要求1?4中任一项所述的弹性波装置，其中， 在所述压电基板上构成至少一个第3弹性波元件部分。
6.根据权利要求1?5中任一项所述的弹性波装置，其中， 所述第I弹性波元件部分为接收滤波器部，所述第2弹性波元件部分为发送滤波器部，从而构成双工器。
7.根据权利要求1?6中任一项所述的弹性波装置，其中， 所述屏蔽电极被连接至接地电位。
8.一种弹性波装置的制造方法，是权利要求1?7中任一项所述的弹性波装置的制造方法，其特征在于，包括: 准备压电基板的工序； 在所述压电基板上形成所述第I电极构造以及所述第2电极构造的工序； 在所述压电基板上按照具有所述隔壁部的方式来形成所述支承框的工序； 在所述支承框上按照具有所述第I中空部、第2中空部的方式来设置所述覆盖层的工序；和 在所述支承框的隔壁部设置所述屏蔽电极的工序。
9.根据权利要求8所述的弹性波装置的制造方法，其中， 形成所述屏蔽电极的工序包括: 在所述支承框的所述隔壁部，形成在所述隔壁部的上表面的一部分敞开的凹状沟槽或者贯通所述隔壁部的贯通沟槽的工序；和 在所述凹状沟槽或者所述贯通沟槽埋入所述导电性材料来形成所述屏蔽电极的工序。
10.根据权利要求8所述的弹性波装置的制造方法，其中， 在所述支承框上设置了所述覆盖层之后形成从所述覆盖层至所述隔壁部的凹状沟槽或者贯通沟槽，由此来进行在所述隔壁部形成所述凹状沟槽或者所述贯通沟槽的工序。
11.根据权利要求9所述的弹性波装置的制造方法，其中， 所述弹性波装置的制造方法还包括: 在形成从所述覆盖层至所述隔壁部的凹状沟槽或者贯通沟槽之际，形成贯通所述覆盖层而到达所述支承框的凸块下金属层用贯通孔的工序；和 在所述凹状沟槽或者贯通沟槽填充所述导电性材料来形成屏蔽电极的工序中，向所述凸块下金属层用贯通孔也填充相同的导电性材料来形成凸块下金属层的工序。
12.根据权利要求11所述的弹性波装置的制造方法，其中， 所述弹性波装置的制造方法还包括:在所述凸块下金属层上形成用于与外部电连接的凸块的工序。
13.根据权利要求8?12中任一项所述的弹性波装置的制造方法，其中， 作为所述第I弹性波元件部分而构成接收滤波器部，作为所述第2弹性波元件部分而构成发送滤波器部，由此获得双工器。
【专利摘要】本发明提供一种可抑制弹性波元件部分间的电磁场耦合的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上形成有第1电极构造(3)以及第2电极构造(4)，由第1电极构造(3)以及第2电极构造(4)分别构成了第1、第2弹性波元件部分，按照包围第1弹性波元件部分以及第2弹性波元件部分的方式在压电基板(2)上形成有支承框(11)，该支承框(11)具有对第1弹性波元件部分和第2弹性波元件部分进行区域划分的隔壁部(11a)，在设置于该隔壁部(11a)的沟槽，设置有由导电性材料构成的屏蔽电极(22)。
【IPC分类】H03H9-72, H03H9-25, H03H3-08
【公开号】CN104662797
【申请号】CN201380049377
【发明人】稻手谦二
【申请人】株式会社村田制作所
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年8月2日
【公告号】US20150194948, WO2014050307A1