振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及振动元件、具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002] 由于激励作为主振动的厚度剪切振动的AT切石英振子适宜小型化、高频化，并且 呈现频率温度特性优异的三次曲线，因此用于振荡器、电子设备等多方面。特别是，近年来 伴随着传送通信设备和0A设备的处理速度的高速化、或者通信数据和处理量的大容量化 的推进，对于作为用于该情况的基准频率信号源的AT切石英振子，高频化的要求强烈。因 此，通过使以厚度剪切振动进行激励的振动部分的厚度变薄，而实现高频化。
[0003] 专利文献1公开了如下的AT切石英振动元件：其利用具有薄壁的振动部和沿振动 部的外缘的整周设置的厚壁部的逆台面构造来实现高频化，并具有：在振动部的彼此处于 正背关系的第1主面和第2主面上分别设置的一对激励电极；和从各激励电极延伸的一对 引出电极。在振动元件的俯视时，一对激励电极彼此大小不同，大的一方的激励电极将小的 一方的激励电极包围。
[0004] 专利文献1:日本特开2012-253630号公报
[0005] 然而，在专利文献1所述的振动元件中，由于具有从设置于一方的主面的较小一 方的激励电极延伸的引出电极与设置于另一方的主面的较大一方的激励电极相重叠的区 域，因此存在如下问题：该区域作为与由一对激励电极夹着的振动区域不同的振动区域发 挥功能，从而在共振频率附近产生不必要的寄生振荡（parasitic)。
【发明内容】
[0006] 本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下的方式或者应 用例来实现。
[0007][应用例1]本应用例的振动元件的特征在于，所述振动元件包含：基板，其包含彼 此处于正背关系的第1主面和第2主面；第1激励电极，其设置于所述第1主面；第2激励 电极，其设置于所述第2主面；以及第1引出电极，其设置于所述第1主面，与所述第1激励 电极连接，所述第1引出电极包含：第1电极部；以及第2电极部，其从所述第1电极部沿第 1方向延伸，与所述第1激励电极连接，所述第2电极部的与所述第1方向交叉的第2方向 的宽度比所述第1电极部窄，当使所述第1激励电极的面积为S1，使所述第2电极部与所述 第2激励电极重叠部分的面积为S2时，满足（S2/S1) < 0. 1。
[0008] 由此，得到能够降低共振频率附近的不必要寄生振荡的产生的振动元件。
[0009][应用例2]根据上述应用例的振动元件，其特征在于，所述重叠部分的沿着所述 第1方向的长度为20μL?以下。
[0010] 由此，能够降低引出电极的电阻。
[0011][应用例3]根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在俯视时，所述第1激励电 极配置在所述第2激励电极的范围内。
[0012] 由此，能够稳定地发挥期望的振动特性。
[0013][应用例4]根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在设所述基板的厚度为 t，设所述第1激励电极的沿着所述第2方向的长度为a时，满足（_1049Xt+57) < (a/ t) ^ (-64. 4Xt+57) 〇
[0014] 由此，得到稳定的振动特性。
[0015][应用例5]根据上述应用例的振动元件，其特征在于，在设所述基板的厚度为 t，设所述第1激励电极的沿着所述第1方向的长度为b时，满足（_823Xt+42) < (b/ t)彡（_120Xt+42)。
[0016] 由此，得到稳定的振动特性。
[0017][应用例6]本应用例的振子的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件以及 收容所述振动元件的封装。
[0018] 由此，得到可靠性高的振子。
[0019][应用例7]本应用例的振荡器的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件以 及驱动所述振动元件的电路。
[0020] 由此，得到可靠性高的振荡器。
[0021] [应用例8]本应用例的电子设备的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元 件。
[0022] 由此，得到可靠性高的电子设备。
[0023][应用例9]本应用例的移动体的特征在于，其具有上述应用例所述的振动元件。
[0024] 由此，得到可靠性高的移动体。
【附图说明】
[0025] 图1示出本发明的第1实施方式的振动元件的简要结构，其中，（a)是示意俯视图， (b)是P-P线的示意剖面图，（c)是Q-Q线的示意剖面图。
[0026] 图2是对AT切石英基板与石英的晶轴之间的关系进行说明的图。
[0027] 图3是示出振动部的厚度与激励电极的大小之间的关系的图。
[0028] 图4是示出振动部的厚度与激励电极的大小之间的关系的图。
[0029] 图5是示出图1的振动元件的变形例1的示意俯视图。
[0030] 图6是示出图1的振动元件的变形例2的示意俯视图。
[0031] 图7是示出图1的振动元件的变形例3的示意俯视图。
[0032] 图8是示出图1的振动元件的变形例4的示意俯视图。
[0033] 图9是示出图1的振动元件的变形例5的示意俯视图。
[0034] 图10是示出图1的振动元件的变形例6的示意俯视图。
[0035] 图11是示出图1的振动元件的变形例7的示意俯视图。
[0036] 图12是示出图1的振动元件的变形例8的示意俯视图。
[0037] 图13是示出本发明的第2实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。
[0038]图14是示出本发明的第3实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。
[0039]图15是示出本发明的第4实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。
[0040]图16是示出本发明的第5实施方式的振动元件的简要结构的示意俯视图。
[0041] 图17示出本发明的第6实施方式的振动元件的简要结构，其中，（a)是示意俯视 图，（b)是P-P线的示意剖面图，（C)是Q-Q线的示意剖面图。
[0042] 图18是示出本发明的一实施方式的振子的简要结构的示意剖面图。
[0043] 图19是示出本发明的一实施方式的振荡器的简要结构的示意剖面图。
[0044] 图20是示出应用了具有本发明的一实施方式的振动元件的电子设备的便携式 (或者笔记本型）的个人计算机的结构的立体图。
[0045] 图21是示出应用了具有本发明的一实施方式的振动元件的电子设备的移动电话 (也包含PHS)的结构的立体图。
[0046] 图22是示出应用了具有本发明的一实施方式的振动元件的电子设备的数码照相 机的结构的立体图。
[0047] 图23是概略地示出作为具有本发明的一实施方式的振动元件的移动体的一例的 汽车的立体图。
[0048] 标号说明
[0049] 1 :振动元件；2 :基板；3 :电极；4 :封装；10 :振子；20a:第1主面；20b:第2主面； 21 :振动部；21a、21b:第1外缘；21c、21d:第2外缘；21e:第3外缘；21f:第4外缘；22 :振 动区域；23 :厚壁部；24 :第1厚壁部；24a:倾斜部；24b:厚壁部主体；25 :第2厚壁部；25a: 倾斜部；25b:厚壁部主体；26 :外缘部；27a、27b:端部；29 :缝隙；31 :第1激励电极；32 :第 2激励电极；33、34 :衬垫电极；35a:第1电极部；35b:第2电极部；36 :第1引出电极；37 : 第2引出电极；38 :外缘部；41 :基底；42 :盖；43 :凹部；44、45 :内部端子；46、47 :外部安装 端子；51 :导电性粘接剂；52 :键合线；100 :振荡器；110 :IC芯片；120 :内部端子；130 :键 合线；1000 :显示部；1100 :个人计算机；1102 :键盘；1104 :主体部；1106 :显示单元；1200 : 移动电话；1202 :操作按钮；1204 :听筒口；1206 :话筒口；1300 :数码照相机；1302 :壳体； 1304 :受光单元；1306 :快门按钮；1308 :存储器；1312 :视频信号输出端子；1314 :输入输出 端子；1330 :电视监视器；1340 :个人计算机；1400 :汽车；Dl、D2 :分离距离；R:区域；S:收 纳空间。
【具体实施方式】
[0050] 以下，根据附图对本发明的实施方式详细地进行说明。另外，在以下所示的各图 中，为了使各结构要素为在附图上能够识别的程度的大小，存在以适当使各结构要素的尺 寸和比例与实际的结构要素不同的方式进行记载的情况。
[0051] <振动元件>
[0052][第1实施方式]
[0053] 首先，作为本发明的第1实施方式的振动元件的一例，列举出在基板的中央部具 有凹陷部的逆台面构造的振动元件，关于其简要结构，参照图1进行说明。另外，在之后的 对振动元件的简要结构进行说明的图中，为了便于说明，图示出X轴、Y'轴和Z'轴作为彼 此垂直的3个轴，将该图示出的箭头的末端侧设为"+侧"，将基端侧设为侧"。并且，将 与X轴平行的方向称为"X轴方向"，将与Y轴平行的方向称为"Y轴方向"，将与Z轴平行的 方向称为"Z轴方向"。并且，将设置有凹陷部侧的主面设为第1主面20a，将平坦侧的主面 设为第2主面20b进行说明。
[0054]图1示出本发明的第1实施方式的振动元件的简要结构，图1的（a)是振动元件的 示意俯视图，图1的（b)是图1的（a)中的P-P线的示意剖面图，图1的（c)是图1的（a) 中的Q-Q线的示意剖面图。图2是对AT切石英基板与石英的晶轴之间的关系进行说明的 图。图3和图4是分别示出振动部的厚度与激励电极的大小之间的关系的图。
[0055] 如图1所示，振动元件1具有基板2和形成在基板2上的电极3。
[0056](基板）
[0057] 基板2是板状的石英基板。这里，作为基板2的材料的石英属于三方晶系，如图2 所示，具有彼此垂直的晶轴X、Y、Z。将X轴、Y轴、Z轴分别称为电轴、机械轴、光学轴。本 实施方式的基板2是沿着将XZ面绕X轴旋转了规定的角度Θ的平面切割的"旋转γ切石 英基板"，例如将沿着旋转了Θ=35° 15'的平面切割的情况下的基板称为"AT切石英基 板"。通过使用这种石英基板而得到具有优异的温度特性的振动元件1。
[0058] 但是，作为基板2,只要能够激励厚度剪切振动，则不限于AT切的基板，例如，也可 以使用BT切的基板。
[0059] 另外，以下，将与角度Θ对应地绕X轴旋转后的Y轴和Z轴设为Y'轴和Z'轴。 艮P，基板2在Y'轴方向上具有厚度，在XZ'面方向上具有广度。
[0060] 并且，将第1方向设为沿着Z'轴的方向，将与第1方向交叉的第2方向设为沿着 X轴的方向并进行说明。
[0061] 基板2具有彼此处于正背关系的第1主面20a和第2主面20b，在俯视时，成为将 作为第2方向的沿着X轴的方向设为长边、将作为第1方向的沿着Z'轴