涂敷试验装置、涂敷机及电子元件安装装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于测量涂敷液的涂敷量的涂敷试验装置以及具备该涂敷试验装置的涂敷机、电子元件安装装置。
【背景技术】
[0002]以往，用于向基板安装电子元件的膏状焊料或粘接剂大多从涂敷嘴流出并以点状涂敷于基板。该涂敷嘴配备于涂敷机或电子元件安装装置。涂敷机是指用于利用涂敷嘴专门向基板涂敷膏状焊料或粘接剂的装置。电子元件安装装置是用于向基板安装电子元件的
目.ο
[0003]电子元件安装装置中配备的涂敷嘴设于具有元件吸附用的吸嘴的头部单元。
[0004]在涂敷嘴中，膏状焊料或粘接剂等涂敷液从该涂敷嘴的下端以呈半球状溢出的状态朝向基板下降。涂敷液通过涂敷嘴接近基板而附着于基板。即，上述的涂敷装置将涂敷液以点状涂敷于基板。
[0005]为了将电子元件准确地安装于基板，需要将上述的涂敷液适量地涂敷于基板。涂敷液的涂敷量能够基于以点状涂敷的涂敷液的大小来推定。作为用于测量所涂敷的涂敷液的大小的以往的装置，例如有专利文献I中记载的涂敷试验装置。
[0006]专利文献I中公开的涂敷试验装置具备以点状被涂敷涂敷液的被涂敷部件。利用相机从上方拍摄涂敷在被涂敷部件上的涂敷液并利用通过该拍摄得到的图像数据来测定以点状涂敷的涂敷液的大小。
[0007]被涂敷部件使用薄的带状的纸。该纸能够使光透过。由该纸构成的被涂敷部件卷绕成卷状，在被涂敷涂敷液时，由进给机构在平坦的板状的支撑部件上进给预定量。该进给机构将被涂敷部件沿长度方向逐次进给预定长度。
[0008]支撑部件配置在照明装置上，并具有在该照明装置的上方支撑被涂敷部件的功能以及使该照明装置的光扩散而向被涂敷部件引导的功能。该支撑部件由塑料形成。照明装置在相机进行拍摄时从下方向支撑部件照射光。相机在照明装置的光向支撑部件照射的状态下拍摄涂敷有涂敷液的被涂敷部件。此时，相机拍摄在明亮的背景中显现为阴影的涂敷液。点状的涂敷液的大小基于由相机拍摄到的图像数据中包含的涂敷液的轮廓来测定。
[0009]在专利文献I中记载的涂敷试验装置中，有时不能准确地测定涂敷于被涂敷部件的涂敷液的大小。其理由可认为是因为在进给被涂敷部件时与支撑部件摩擦而产生静电。即，涂敷于被涂敷部件的涂敷液由于静电被排斥，导致涂敷后的涂敷液的形状与通常不同。在该静电的影响下，涂敷液的大小比实际大或小，形状变得不稳定，因此由涂敷试验装置测定到的涂敷液的大小不准确。
[0010]为了消除这种不良情况，可考虑由金属等具有导电性的材料形成支撑部件并防止静电的产生。但是，当采用该结构时，照明装置的光被支撑部件遮挡，难以利用相机拍摄涂敷后的涂敷液。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1:日本特开平9-214115号公报
【发明内容】
[0014]本发明要解决的问题
[0015]本发明是为了消除这种问题而作出的，其目的是提供能够以高精度测定涂敷后的涂敷液的大小的涂敷试验装置。
[0016]用于解决课题的手段
[0017]为了实现该目的，本发明的的涂敷试验装置的特征在于，具备:支撑部件，形成为光能够透过且上表面平坦地形成;被涂敷部件，在重叠于上述支撑部件的上表面的状态下被涂敷涂敷液;及光源，从下方向上述支撑部件照射光，上述支撑部件具有能够防止带电的性质。
[0018]发明效果
[0019]根据本发明，即使由于被涂敷部件与支撑部件的摩擦而产生静电，被涂敷部件和支撑部件也不会带电。因此，向被涂敷部件准确地涂敷涂敷液。另外，由于支撑部件能够使光透过，因此能够在被涂敷部件上的涂敷液成为阴影的状态下由相机进行拍摄。
[0020]因此，在本发明涉及的涂敷试验装置中，能够始终以高精度测定以点状涂敷的涂敷液的大小。
【附图说明】
[0021 ]图1是第一实施方式的涂敷机的俯视图。
[0022]图2是第一实施方式的涂敷头的侧视图。图2是在剖开涂敷头的一部分的状态下描绘的。
[0023]图3是第一实施方式的点涂台的立体图。图3是在剖开罩的一部分的状态下描绘的。
[0024]图4是将点涂台的主要部分放大表示的剖视图。
[0025]图5是保持器的分解立体图。
[0026]图6是支撑部件的剖视图。
[0027]图7是光扩散部件的剖视图。
[0028]图8是第二实施方式的支撑部件和光扩散部件的剖视图。
[0029]图9是第三实施方式的电子元件安装装置的俯视图。
[0030]图10是第三实施方式的电子元件安装装置的主视图。
【具体实施方式】
[0031](第一实施方式)
[0032]以下，利用图1?图7，详细说明本发明涉及的涂敷试验装置的一实施方式。在该实施方式中，对在涂敷机配备本发明涉及的涂敷试验装置的情况的一例进行说明。
[0033]图1所示的涂敷机I是在基台2上搭载下述的各种装置而构成的。在该说明书中，在图1中，将左右方向称作X方向，将与该X方向正交的水平方向称作Y方向。另外，将图1中下侧(Y方向上的一端侧)称作装置前侧，将图1中上侧(Y方向上的另一端侧)称作装置后侧。
[0034]基台2支撑用于搬运或保持基板3的基板搬运装置4、用于向基板3涂敷涂敷液5(参照图2)的涂敷装置6以及作为本发明涉及的涂敷试验装置的点涂台7等。在本实施方式中，由基台2构成本发明中所说的“基台部”。
[0035]基板搬运装置4具备支撑在基台2上的一对输送机4a和设在该输送机4a的附近的基板保持装置(图未示)。输送机4a是将基板3从基台2的X方向上的一端侧(图1中为右端侧)向X方向上的另一端侧输送的装置。基板保持装置使由输送机4a搬运到X方向上的中央部的基板3从输送机4a上升而进行保持。该基板保持装置和输送机4a的动作由配置在基台2的内部的控制装置8控制。在该实施方式中，由输送机4a构成本发明中所说的“搬运部”。
[0036]涂敷装置6具备在基台2的上方沿水平方向移动的头部单元11以及设于该头部单元11的涂敷头12(参照图2)等。在此，首先，对支撑并驱动头部单元11的机构进行说明。
[0037]如图1所示，在基台2的X方向上的两端部分别设有在输送机4a的上方沿Y方向延伸的固定轨道13 ο沿X方向延伸的头支撑部件14以沿Y方向移动自如的方式被支撑在这些固定轨道13上。另外，在一固定轨道13设有用于驱动头支撑部件14的Y方向驱动装置15。
[0038]Y方向驱动装置15具备:沿Y方向延伸的滚珠丝杠16;驱动该滚珠丝杠16的Y轴伺服马达17;及滚珠丝杠螺母18等，滚珠丝杠螺母18在与滚珠丝杠16螺合的状态下被固定在头支撑部件14上。Y轴伺服马达17的动作由控制装置8控制。
[0039]头支撑部件14具备:具有下述的涂敷头12的头部单元11;及用于驱动该头部单元11的X方向驱动装置21。
[0040]头部单元11由以向X方向移动自如的方式支撑在上述的头支撑部件14上的框架22以及被支撑在该框架22上的多个元件构成。驱动该头部单元11的X方向驱动装置21具备:沿X方向延伸的滚珠丝杠23;驱动该滚珠丝杠23的X轴伺服马达24;及滚珠丝杠螺母25等，滚珠丝杠螺母25在与滚珠丝杠23螺合的状态下被固定在框架22上。X轴伺服马达24的动作由控制装置8控制。
[0041]该头部单元11通过基于X方向驱动装置21的驱动而沿X方向移动，并通过基于Y方向驱动装置15的驱动而与头支撑部件14一起沿Y方向移动。在该实施方式中，由该头部单7Π11的框架22构成本发明中所说的“移动部”。
[0042]如图2所示，支撑在头部单元11的框架22上的多个元件是构成涂敷头12的一部分的涂敷嘴31、使该涂敷嘴31沿上下方向移动的升降装置32以及相机33等。
[0043]涂敷头12由涂敷嘴31以及经由导管34与该涂敷嘴31连接的注射器35等构成。
[0044]涂敷嘴31是使涂敷液5从下端向下方流出的装置，经由移动支架36以能够沿上下方向移动的方式支撑在头部单元11的框架22上。通过涂敷嘴31相对于框架22下降，从涂敷嘴31的下端出来的涂敷液5被涂敷在基板3的被涂敷位置、下述的点涂台7的被涂敷位置。
[0045]注射器35是贮存膏状焊料或粘接剂