一种小型石英晶体谐振器自动退火设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于石英晶体元件制造设备领域，具体是一种小型石英晶体谐振器自动退火设备。
【背景技术】
[0002]石英晶体谐振器在制造过程中经过不同的工序不可避免的会在材料内部产生大小不同的应力，这直接影响到石英晶体谐振器的电气特性的稳定性。因此，在微调完成后产品需进行高温真空退火消除应力，稳定特性。但是，目前的手动退火设备结构较简单，多层退火平台共用一个加热源，温度分布不够均匀，加之，微调时一个批量物料包括多盘产品需全部微调完成后才可一起放入退火设备进行退火，然而，一个批量物料微调完成时间在2?3小时，静置等待时间较长，退火后频率、阻抗等电气参数会发生偏移且散差大，产生许多不能满足客户需求的产品，并且有部分产品受应力的影响存在质量隐患。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，使多层退火平台加热温度更均匀，微调后产品静置等待时间短，多层退火平台按程序设定互不影响，从而达到释放应力充分，石英晶体谐振器电气特性稳定，效率高等效果。
[0004]本实用新型采用以下技术方案实现:
[0005]一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，包括上载平台、上载等待室、预热室、加热室、冷却室、下载室，其特征在于:上载等待室与预热室之间、预热室与加热室之间、加热室与冷却室之间、冷却室与下载室之间分别设置真空门，加热室内设置有多层退火平台，退火平台由升降轴连接升降电机，冷却室内设置有冷却平台和冷却板，下载室内设置有下载
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[0006]本实用新型每层退火平台单独设置有退火加热管。
[0007]本实用新型升降轴与加热室间有密封圈，密封圈在升降轴上将加热室与升降电机严密隔离以保证加热室的密封性。
[0008]本实用新型上载等待室内设置有等待平台；预热室内设置有预热平台和预热管。
[0009]本实用新型冷却室采用氦气循环冷却与冷却板热传导冷却相结合。
[0010]本实用新型作业时，将载有微调完成品的封焊盘放置于上载平台上，自动送入上载等待室等待，然后送入预热室进行高真空状态预热。预热时间结束后，将封焊盘送入高恒温加热室高温退火。此时预热室可继续接收上载等待室内的封焊盘进行预热。加热室退火时间结束后，将封焊盘送入高真空状态的冷却室，随后冷却室开始充入冷却气体进行初次气体循环冷却，然后冷却板上升接触封焊盘底部进行热传导冷却，冷却板的热量通过循环水吸收送出。冷却完毕，冷却板下降，开始破真空将封焊盘送入下载平台，然后冷却室恢复高真空状态等待加热室内的下一封焊盘进入。下载平台上的封焊盘送入封焊机接收平台后即可进行封焊作业。加热室可根据程序设计通过升降电机带动升降轴到达指定的退火平台。加热室在整个作业过程中保持恒温，高真空状态。
[0011]本实用新型采用上述技术方案，单层独立热源加热使退火平台温度更均匀，微调完成品静置等待时间短，多层退火平台作业按程序设定互不影响，恒温高真空加热退火，氦气循环冷却与冷却板热传导冷却相结合，冷却效果更加充分且有效防止晶片电极氧化，使石英晶体谐振器内部应力充分释放，提高了石英晶体谐振器电气特性(如:频率、阻抗分布更加集中，激励电平依赖性更好等)的稳定性和作业效率。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面参照附图所示，对本实用新型的【具体实施方式】做进一步说明。
[0014]在图1中，一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，由上载平台1、上载等待室2、预热室3、加热室4、冷却室5、下载室6组成，其特征是，所述上载等待室2内设置有等待平台8 ;预热室3内设置有预热平台9和预热管10 ;加热室4内设置有多层退火平台11，退火平台11由升降轴13与升降电机15连接，每层退火平台单独设置有退火加热管12，升降轴13与加热室4间有密封圈14，与升降电机15严密隔离以保证加热室4的密封性；冷却室5内设置有冷却平台17和冷却板18 ;下载室6内设置有下载平台19 ;上载等待室2与预热室3之间、预热室3与加热室4之间、加热室4与冷却室5之间、冷却室5与下载室6之间设置有真空门16。
[0015]本实用新型作业时，将载有微调完成品的封焊盘放置于上载平台I上，开启上载开关将封焊盘送入上载等待室2等待，感应器感应有效，预热管10停止加热，预热室3内开始充入氮气破真空，上载等待室2与预热室3之间的真空门16打开，将封焊盘送入预热室3，然后真空门16关闭，进行抽高真空，高真空度达到后预热管10开始加热。预热时间结束后，预热室3与加热室4之间的真空门16打开，将封焊盘送入高恒温加热室4后将真空门16关闭进行高温退火。此时预热室可继续接收上载等待室2的封焊盘进行预热。加热室退火时间结束后，加热室4与冷却室5之间的真空门16打开，将封焊盘送入冷却室5后真空门16关闭，随后冷却室5开始充入冷却气体进行初次气体循环冷却，然后冷却板18上升接触封焊盘底部进行热传导冷却，冷却板18的热量通过循环水吸收送出。冷却完毕，冷却板18下降，冷却室5内充入氮气破真空，冷却室5与下载室6之间的真空门16打开。此时将封焊盘送入下载平台19，真空门关闭，冷却室开始抽高真空，等待加热室4内的下一封焊盘进入。下载平台19上的封焊盘送入封焊机接收室7内的接收平台20后即可进行封焊作业。
[0016]本实用新型可根据程序设计通过升降电机15带动升降轴13到达指定的退火平台11 ;加热室4在整个作业过程中保持恒温，高真空状态。
[0017]本实用新型所述冷却板为铜板，通过热传导冷却，冷却板的热量通过循环水吸收送出。
[0018]本实用新型所述冷却气体为氦气，可进行超低温冷却且活性低，有效防止晶片电极氧化。
[0019] 本实用新型所述密封圈为耐高温润滑密封圈。
【主权项】
1.一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，包括上载平台、上载等待室、预热室、加热室、冷却室、下载室，其特征在于:上载等待室与预热室之间、预热室与加热室之间、加热室与冷却室之间、冷却室与下载室之间分别设置真空门，加热室内设置有多层退火平台，退火平台由升降轴连接升降电机，冷却室内设置有冷却平台和冷却板，下载室内设置有下载平台。
2.根据权利要求1所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:每层退火平台单独设置有退火加热管。
3.根据权利要求1或2所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:升降轴与加热室间有密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:上载等待室内设置有等待平台；预热室内设置有预热平台和预热管。
5.根据权利要求1所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:冷却室采用氦气循环冷却与冷却板热传导冷却相结合。
6.根据权利要求5所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:所述冷却板为铜板。
7.根据权利要求5所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:所述冷却气体为氦气。
8.根据权利要求3所述的一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，其特征在于:所述密封圈为耐高温润滑密封圈。
【专利摘要】本实用新型属于石英晶体元件制造设备领域，具体是一种小型石英晶体谐振器自动退火设备，包括上载平台、上载等待室、预热室、加热室、冷却室、下载室，其特征在于：上载等待室与预热室之间、预热室与加热室之间、加热室与冷却室之间、冷却室与下载室之间分别设置真空门，加热室内设置有多层退火平台，退火平台由升降轴连接升降电机，冷却室内设置有冷却平台和冷却板，下载室内设置有下载平台。本实用新型每层退火平台单独设置有退火加热管。本实用新型采用单层独立热源加热使退火平台温度更均匀，微调完成品静置等待时间短，多层退火平台作业按程序设定互不影响，提高了石英晶体谐振器电气特性的稳定性和作业效率。
【IPC分类】H03H3-02
【公开号】CN204304943
【申请号】CN201520009944
【发明人】廖其飞, 王臻, 辜批林, 吴宗泽, 林土全, 潘春琴, 施俊妍
【申请人】浙江东晶电子股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2015年1月7日