专利名称：连续量产式真空烧结装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空烧结装置，特别是一种场发射显示器(FieldEmission Display；FED)可连续量产式真空烧结装置。
背景技术：
平面显示器(FPD)种类包括场发射显示器(FPD)、液晶显示器(TFT-LCD)、等离子体显示器(PDP)、有机发光二极管显示器(OELD)、液晶投影式显示器等等，轻、薄是这些平面显示器的共同特点，依照各平面显示器的不同特质，有些可应用于小尺寸如手机面板；有些则可应用于中、大型尺寸如计算机屏幕、电视屏幕；或应用于超大型尺寸如室外数字式看板。各种平面显示器技术发展，均是希望朝向兼具高画质、大画面、并提高使用寿命等特性。
其中所谓的场发射显示器是近年来新兴的平面显示器之一，其原因在其具有自发光的效果，除较LCD能有更佳的亮度表现外，加上更宽广的视角，能源消耗低，反应速度快，操作温度较广等特性，且所得影像画质类似于传统的阴极射线管(CRT)，而其体积却远较阴极射线管(CRT)轻、薄，再加上将近年所开发的碳纳米管，应用于其中，势必促进其发展。
一般的场发射显示器，由于制作精密、并需要真空密闭的烧结系统以制作阴极电子发射源层；所以，场发射显示器的烧结系统均为独立封闭。由于该烧结条件需求精密，为求控制精准，通常一个烧结系统里只能生产单个场发射显示器；但目前场发射显示器的烧结生产仍然将个别烧结系统视为不同的机台，此生产方式较适合产品的试验阶段，因此，尚未有一套有效控制其生产状态及适合量产的方式。
发明内容
本实用新型的主要目的，在于提供一种连续量产式真空烧结装置，通过每一真空烧结系统在输送单元上具有不同程度的烧结状态，以便监控产品的烧结进度与产量。
为了达到上述目的，本实用新型提供一种连续量产式真空烧结装置，其包括输送单元、及利用该输送单元传送的多个真空烧结系统。其中，每一真空烧结系统包括烧结炉、及电连接至该烧结炉的真空控制单元与温度控制单元。这些真空烧结系统分别对应多个状态控制阶段；每一阶段间隔一预定时间；每一真空烧结系统各自独立，且每一真空烧结系统的压力与温度状态均不互相影响。
根据上述构想，其中该真空控制单元包括扩散泵、油泵及破真空开关。
根据上述构想，其中上述多个真空烧结系统至少为七个。
根据上述构想，其中该装置进一步包括对应上述多个真空烧结系统的多个监控模块。
根据上述构想，其中上述多个监控模块以遥控方式联系上述多个真空烧结系统及该输送单元。
根据上述构想，其中上述多个监控模块可电连接以及机械连接于上述多个真空烧结系统及该输送单元之间。
根据上述构想，该装置进一步包括紧急断电回路，当该监控模块探测到异常状态时，该紧急断电回路即自动断电。
根据上述构想，该装置进一步包括不断电系统，当外接电源临时无法供电，该不断电系统即自动激活。
根据上述构想，每一真空烧结系统包括装设有该真空控制单元与该温度控制单元的台车，该烧结炉设置于该台车之上。
根据上述构想，每一真空烧结系统包括封闭该烧结炉的玻璃盖板。
由此，上述量产式真空烧结装置通过每一真空烧结系统在输送单元上具有不同程度的烧结状态，监控产品的烧结进度与产量。
图1为本实用新型连续量产式真空烧结装置的示意图；图2为本实用新型连续量产式真空烧结装置的压力状态图；及图3为本实用新型连续量产式真空烧结装置的温度状态图。
其中，附图标记说明如下10 输送单元 20 真空烧结系统21 烧结炉 22 真空控制单元221扩散泵 222油泵223破真空开关 23 温度控制单元24 台车 25 玻璃盖板具体实施方式
本实用新型提供一种连续量产式真空烧结装置，其包括输送单元10、及利用该输送单元10传送的多个真空烧结系统20。其中，每一真空烧结系统20包括烧结炉21、及电连接至该烧结炉21的真空控制单元22与温度控制单元23。上述多个真空烧结系统20分别对应多个状态控制阶段，且每一真空烧结系统20均具有上述多个状态控制阶段，利用每一真空烧结系统20在该输送单元10上不同定点所展现的不同程度的烧结状态，以便有效监控产品的烧结进度与产量。其中，每一阶段间隔一预定时间，该预定时间可为约60秒；每一真空烧结系统20各自独立，且每一真空烧结系统20的压力与温度状态均不互相影响。
该输送单元10上至少具有七个真空烧结系统20，且此七个真空烧结系统20呈一压力与温度状态的循环。每一真空烧结系统20的该真空控制单元22包括扩散泵(Diffusion Pump)221、油泵(Oil Pump)222及破真空开关223。上述多个真空烧结系统20依序具有以下状态压力状态为常压，且温度状态为常温；压力状态通过油泵222由常压泄压至压力约10-2托(Torr)，且其温度状态由常温增温至约350摄氏度；压力状态通过扩散泵221由压力约10-2托(Torr)泄压至压力约10-5托(Torr)，且其温度状态由约摄氏350度增温至约380摄氏度；压力状态维持在压力约10-5托(Torr)，且其温度状态由约350摄氏度减温至约摄氏50度；压力状态通过扩散泵221由压力约10-5托(Torr)增压至压力约10-2托(Torr)，且其温度状态由约50摄氏度减温至常温；压力状态通过油泵222由压力约10-2托(Torr)泄压，并于压力状态接近常压时激活破真空开关223，使压力状态呈常压，且其温度状态维持在常温。如此周而复始，将多个真空烧结系统20视为一个大系统，即连续量产式真空烧结装置，是以，该连续量产式真空烧结装置可掌控生产速度、产量、及方便现场控管，有利于生产效率的提高。
该连续量产式真空烧结装置，每一真空烧结系统20包括装设有该真空控制单元221与该温度控制单元222的台车24，该烧结炉21设置于该台车24之上。
该连续量产式真空烧结装置，每一真空烧结系统20包括设于该烧结炉21上的玻璃盖板25，该玻璃盖板25同时提供可透视检验及密闭该烧结炉21的功能。
该连续量产式真空烧结装置进一步包括对应上述多个真空烧结系统20的多个监控模块(未图标)，用以监控每一真空烧结系统20的状态或输送单元10是否顺畅。上述多个监控模块以遥控方式联系上述多个真空烧结系统20及该输送单元10；或者，上述多个监控模块可电连接与机械连接于上述多个真空烧结系统20及该输送单元10之间，其可以是上述多个监控模块设置在输送单元10上或一对一设置在上述多个真空烧结系统20，且其相应位置的上述多个真空烧结系统20或输送单元10具有可连接的监控结构，使每一真空烧结系统20的状态不稳或异常、或输送单元10运送不顺畅时可具有示警的功能。
该连续量产式真空烧结装置进一步包括紧急断电回路(未图标)，当该监控模块探测到每一真空烧结系统20的状态发生异常状态、或输送单元10运送不顺畅时，该紧急断电回路即自动断电，可令工作人员及时处置或维修。
该连续量产式真空烧结装置，进一步包括不断电系统(未图标)，当外接电源临时无法供电，该不断电系统即自动激活，可避免临时停电所造成的损失。
综上所述，本实用新型确实可达到预期的目的与功效，但上述揭示的技术手段仅为本实用新型的一较佳实施例，任何依本实用新型的构思、特征所进行的修饰与变化，皆应包含于本申请的权利要求范围内。
权利要求1.一种连续量产式真空烧结装置，其特征在于包括输送单元；及利用该输送单元传送的多个真空烧结系统，每一真空烧结系统包括烧结炉、及电连接至该烧结炉的真空控制单元与温度控制单元。
2.如权利要求1所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于该真空控制单元包括扩散泵、油泵及破真空开关。
3.如权利要求2所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于上述多个真空烧结系统至少为七个。
4.如权利要求1所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于该装置进一步包括对应上述多个真空烧结系统的多个监控模块。
5.如权利要求4所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于上述多个监控模块以遥控方式联系上述多个真空烧结系统及该输送单元。
6.如权利要求4所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于上述多个监控模块电连接以及机械连接于上述多个真空烧结系统及该输送单元之间。
7.如权利要求4所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于该装置进一步包括紧急断电回路。
8.如权利要求4所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于该装置进一步包括不断电系统。
9.如权利要求1所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于每一真空烧结系统包括装设有该真空控制单元与该温度控制单元的台车，该烧结炉设置于该台车之上。
10.如权利要求9所述的连续量产式真空烧结装置，其特征在于每一真空烧结系统包括封闭该烧结炉的玻璃盖板。
专利摘要一种连续量产式真空烧结装置，包括输送单元、及利用该输送单元传送的多个真空烧结系统，每一真空烧结系统包括烧结炉、及电连接至该烧结炉的真空控制单元与温度控制单元。其中，上述多个真空烧结系统分别对应多个状态控制阶段；每一阶段间隔一预定时间；每一真空烧结系统各自独立，且每一真空烧结系统的压力与温度状态均不互相影响。通过每一真空烧结系统在输送单元上具有不同程度的烧结状态，以便监控产品的烧结进度与产量。
文档编号H05B33/04GK2705989SQ20042005117
公开日2005年6月22日 申请日期2004年5月20日 优先权日2004年5月20日
发明者萧俊彦, 李裕安, 蔡金龙, 郑奎文 申请人:东元奈米应材股份有限公司