专利名称：液滴喷头的液体填充方法和喷出装置、光电器件制造方法
技术领域：
本发明涉及对功能液滴喷出头填充液体的方法和使用了能由该方法填充液体的功能液滴喷出头的喷出装置、液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、隔离块的形成方法、金属布线的形成方法、透镜的形成方法、抗蚀剂的形成方法和光扩散体的形成方法，其中所述对功能液滴喷出头填充液体的方法用于向喷墨头所代表的功能液滴喷出头的喷出头内流路填充液体。
背景技术：
喷墨打印机的喷墨头(功能液滴喷出头)能以高精度把微小的墨滴(液滴)喷出为点状，所以例如通过对喷出的液体使用特殊的墨水和感光性的树脂等的功能液体，就能期待向各种制品的制造领域的应用。
例如，考虑到使用具有对于滤色器的基板等的工件相对移动的滑架的喷出装置，把在子滑架上搭载多个功能液滴喷出头而形成的头部件保持在滑架上，在该状态下，一边使头部件对于工件相对移动，一边从设置在各功能液滴喷出头的喷嘴形成面上的喷嘴向工件喷出液滴，制造液晶显示装置和有机EL显示装置等。
在这样的喷出装置中，从公共的供液容器向各功能液滴喷出头通过很小的水位差压力供给液体，通过搭载在功能液滴喷出头上的泵部的工作，能以高精度喷出液滴。另外，在喷出装置的远离工件的位置，设置了使连接了吸引泵的盖子与头部件的多个功能液滴喷出头对应的而搭载了多个的盖子部件。而且，当把新的头部件投入喷出装置时，在使头部件移动到面临盖子部件的位置的状态下，使各盖子与功能液滴喷出头的喷嘴形成面紧贴，用通过各盖子而作用的吸引力把供液容器内的液体填充到各功能液滴喷出头的喷出头内流路中。
即使进行上述的基于盖子的吸引，在喷出头内流路内液体的流速下降，无法从喷出头内流路充分地排除气泡，由于残留气泡的影响，产生了液滴的喷出不良。因此，有必要重复多次吸引，增加了填充时消耗的液量，运行成本升高。
发明内容
本发明鉴于所述问题，其目的在于提供能从喷出头内流路高效地排除气泡的向功能液滴喷出头填充液体的方法和适合于实施该方法的喷出装置、液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、隔离块的形成方法、金属布线的形成方法、透镜的形成方法、抗蚀剂的形成方法和光扩散体的形成方法。
为了解决所述问题，本发明提供一种向具有在喷出头主体的喷嘴形成面上设置的喷嘴的功能液滴喷出头的喷出头内流路中填充液体的方法，其特征在于在使连接了吸引泵的盖子与所述喷嘴形成面紧贴，用通过所述盖子而作用的吸引力把连接在所述功能液滴喷出头上的供液容器的液体填充到所述喷出头内流路中，根据本发明，在向所述喷出头内流路的液体填充过程中保持基于所述盖子的吸引，暂时关闭所述功能液滴喷出头和所述供液容器之间的供液通路。
另外，本发明的喷出装置，具有对于工件相对移动的滑架，把具有设置在喷出头主体的喷嘴形成面上的喷嘴的功能液滴喷出头保持在所述滑架上，在该状态下，一边使滑架对于工件相对移动，一边从所述功能液滴喷出头的喷嘴向工件喷出液滴，其特征在于具有连接了所述功能液滴喷出头的供液容器和配置在远离工件的地方的盖子部件，在所述盖子部件中，与所述功能液滴喷出头对应而设置连接了吸引泵的盖子，在使所述滑架移动到面临所述盖子部件的位置的状态下，使所述盖子与所述功能液滴喷出头的所述喷嘴形成面紧贴，用通过所述盖子而作用的吸引力把连接在所述功能液滴喷出头上的供液容器的液体填充到所述喷出头内流路中，根据本发明，在所述功能液滴喷出头和所述供液容器之间的供液通路中设置开关阀，在向所述喷出头内流路的液体填充过程中保持基于所述盖子的吸引，暂时关闭所述开关阀。
根据所述的结构，在供液通路的关闭时(开关阀的关闭)时，由于基于盖子的吸引，喷出头内流路被减压，由于其后的供液通路的开通(开关阀的打开)，液体急剧地流动，喷出头内流路中的液体的流速高速化，从喷出头内流路高效地排除了气泡。因此，能把液体填充时的吸引次数抑制在最小限度，减少液体消耗量，并且能提高作业效率，提高生产性。
这里，供液通路的关闭前的喷出头内流路的液体填充率越高，关闭后，喷出头内流路就越高效地被减压。因此，希望至少在供液容器内的液体被吸引到盖子的时刻，关闭供液通路。这时，如果在盖子和吸引泵之间的吸引通路中设置液体传感器，在向喷出头内流路的液体的填充开始后，在由液体传感器检测到液体的时刻，暂时进行开关阀的关闭，就能恰当地自动控制关闭阀门的定时。
所述滑架具有由子滑架和由搭载在该子滑架上的多个所述功能液滴喷出头构成的头部件，使所述盖子与所述头部件的多个功能液滴喷出头对应设置多个，如果采用在分支连接各功能液滴喷出头的供液通路的各分支通路部分中分别设置开关阀，在分支连接各盖子的吸引通路的各分支通路部分中分别设置液体传感器，当用各液体传感器检测到液体时，使对应的各开关阀关闭的结构，则即使各功能液滴喷出头中，初始的液体填充率中产生偏差，也能在适当的定时对各功能液滴喷出头分别开放开关阀，从而大幅度提高了生产性。
另外，开关阀和功能液滴喷出头之间的通路长度越短，就越能提高关闭阀门后的减压效果，并且减少液体消耗量。这里，如果在与喷出装置的滑架一体移动的部分上搭载开关阀，就没必要对开关阀和功能液滴喷出头之间的通路部分付与用于跟随保持在滑架上的头部件的运动的松弛，能缩短通路长度，从而非常有利。
本发明的液晶显示装置的制造方法使用所述的喷出装置，在滤色器的基板上形成滤色元件，其特征在于向功能液滴喷出头导入滤色材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出滤色元件，形成滤色元件。
本发明的有机EL装置的制造方法使用所述的喷出装置，在基板上的像素中形成EL发光层，其特征在于向功能液滴喷出头导入发光材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出发光材料，形成EL发光层。
本发明的电子装置的制造方法使用所述的喷出装置，在电极上形成荧光体，其特征在于向功能液滴喷出头导入荧光材料，使功能液滴喷出头对于电极相对扫描，有选择地喷出荧光材料，形成荧光体。
本发明的PDP装置的制造方法使用所述的喷出装置，在背面基板上的多个凹部中形成荧光体，其特征在于向功能液滴喷出头导入荧光材料，使功能液滴喷出头对于背面基板相对扫描，有选择地喷出荧光材料，形成荧光体。
本发明的电泳显示装置的制造方法使用所述的喷出装置，在电极上的凹部形成电泳体，其特征在于向功能液滴喷出头导入电泳体材料，使功能液滴喷出头对于电极相对扫描，有选择地喷出电泳体材料，形成电泳体。
这样，通过在液晶显示装置的制造方法、有机EL(Eletro-Luminescence)装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP(Plasma Display Panel)装置的制造方法和电泳显示装置的制造方法中应用所述的喷出装置，能恰当并且顺利地进行向各制造方法中使用的功能液滴喷出头的功能液体的初始填充作业。须指出的是，液滴喷出头的扫描一边为主扫描和副扫描，但是当用单一的液滴喷出头构成一行时，就只有副扫描。另外，另外，电子发射装置是包含所谓的FED(Field EmissionDisplay)装置。
本发明的滤色器的制造方法使用所述的喷出装置，制造在基板上排列滤色元件而形成的滤色器，其特征在于向功能液滴喷出头导入滤色材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出滤色材料，形成滤色元件。
这时，形成了覆盖滤色元件的保护膜，在形成了滤色元件后，向功能液滴喷出头导入透光性的涂层材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出涂层材料，形成保护膜。
本发明的有机EL的制造方法使用所述的喷出装置，在基板上排列形成包含EL发光层的像素，其特征在于向功能液滴喷出头导入发光材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出发光材料，形成EL发光层。
这时，在EL发光层和基板之间，对应于EL发光层，形成了像素电极，向功能液滴喷出头导入液态电极材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出液态电极材料，形成像素电极。
这时，覆盖EL发光层而形成了对置电极，在形成了EL发光层后，向功能液滴喷出头导入液态电极材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出液态电极材料，形成对置电极。
本发明的隔离块的形成方法使用所述的喷出装置，在两块基板间形成用于构成单元间隙的颗粒状的隔离块，其特征在于向功能液滴喷出头导入颗粒材料，使功能液滴喷出头至少对于一方的基板相对扫描，有选择地喷出颗粒材料，在基板上形成隔离块。
本发明的金属布线的形成方法使用所述的喷出装置，在基板上形成金属部线，其特征在于向功能液滴喷出头导入液态金属材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出液态金属材料，形成金属布线。
本发明的透镜的形成方法使用所述的喷出装置，在基板上形成显微透镜，其特征在于向功能液滴喷出头导入透镜材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出透镜材料，形成显微透镜。
本发明的抗蚀剂的形成方法使用所述的喷出装置，在基板上形成任意形状的抗蚀剂，其特征在于向功能液滴喷出头导入抗蚀剂材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出抗蚀剂材料，形成抗蚀剂。
本发明的光扩散体的形成方法使用所述的喷出装置，在基板上形成光扩散体，其特征在于向功能液滴喷出头导入光扩散材料，使功能液滴喷出头对于基板相对扫描，有选择地喷出光扩散材料，形成光扩散体。
这样，通过在滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、隔离块的形成方法、金属布线的形成方法、透镜的形成方法、抗蚀剂的形成方法和光扩散体的形成方法中应用所述的喷出装置，能恰当并且顺利地进行向各制造方法中使用的功能液滴喷出头的功能液体的初始填充作业。
图1是实施例的有机EL装置的制造方法的隔栅部的形成步骤(无机物隔栅)的剖视图。
图2是实施例的有机EL装置的制造方法的隔栅部的形成步骤(有机物隔栅)的剖视图。
图3是实施例的有机EL装置的制造方法的等离子体处理步骤(亲水处理)的剖视图。
图4是实施例的有机EL装置的制造方法的等离子体处理步骤(防水处理)的剖视图。
图5是实施例的有机EL装置的制造方法的空穴注入层的形成步骤(液滴的喷出)的剖视图。
图6是实施例的有机EL装置的制造方法的空穴注入层的形成步骤(干燥)的剖视图。
图7是实施例的有机EL装置的制造方法的表面改质步骤(液滴的喷出)的剖视图。
图8是实施例的有机EL装置的制造方法的表面改质步骤(干燥)的剖视图。
图9是实施例的有机EL装置的制造方法的B发光层的形成步骤(液滴的喷出)的剖视图。
图10是实施例的有机EL装置的制造方法的B发光层的形成步骤(干燥)的剖视图。
图11是实施例的有机EL装置的制造方法的R、G、B发光层的形成步骤的剖视图。
图12是实施例的有机EL装置的制造方法的对置电极的形成步骤的剖视图。
图13是实施例的有机EL装置的制造方法的密封步骤的剖视图。
图14是实施例的空穴注入层的形成设备的概念图。
图15是实施例的发光层的形成设备的概念图。
图16是实施例的喷出装置的外观立体图。
图17是实施例的喷出装置的外观主视图。
图18是实施例的喷出装置的外观侧视图。
图19是实施例的喷出装置的外观俯视图。
图20是实施例的喷出装置的液滴喷出装置的模式图。
图21是实施例的头部件的俯视图。
图22是实施例的头部件的侧视图。
图23是实施例的头部件的主视图。
图24(a)是实施例的头部件的管道接头的外观立体图，(b)是管道接头的剖视图。
图25(a)是实施例的功能液滴喷出头的外观立体图，(b)是功能液滴喷出头的剖视图。
图26是实施例的液滴喷出装置的石平台周围的侧视图。
图27是实施例的液滴喷出装置的石平台周围的俯视图。
图28是实施例的液滴喷出装置的石平台周围的主视图。
图29是表示实施例的液滴喷出装置的石平台的支撑形态的模式图。
图30是实施例的液滴喷出装置的X轴台的俯视图。
图31是实施例的液滴喷出装置的X轴台的侧视图。
图32是实施例的液滴喷出装置的X轴台的主视图。
图33是实施例的液滴喷出装置的主基板识别相机周围的立体图。
图34是实施例的液滴喷出装置的Y轴台的俯视图。
图35是实施例的液滴喷出装置的Y轴台的侧视图。
图36是实施例的液滴喷出装置的Y轴台的主视图。
图37是实施例的Y轴台的主滑架的立体图。
图38是实施例的Y轴台的主滑架的俯视图。
图39是实施例的液滴喷出装置的公共机台的立体图。
图40是去掉了实施例的液滴喷出装置的公共底部的公共机台的立体图。
图41是实施例的液滴喷出装置的公共机台的侧视图。
图42是实施例的液滴喷出装置的公共机台的俯视图。
图43是实施例的液滴喷出装置的液体供给回收装置的配管系统图。
图44是实施例的液体供给回收装置的泵群周围的立体图。
图45是实施例的液体供给回收装置的泵群周围的俯视图。
图46是实施例的液体供给回收装置的废液泵周围的立体图。
图47是实施例的液体供给回收装置的供液容器的立体图。
图48是实施例的液体供给回收装置的供液容器的侧视图。
图49是实施例的液体供给回收装置的供液容器的主视图。
图50是实施例的擦拭部件的卷绕部件的立体图。
图51是实施例的擦拭部件的卷绕部件的俯视图。
图52是实施例的擦拭部件的卷绕部件的主视图。
图53是实施例的擦拭部件的擦取部件的立体图。
图54是实施例的擦拭部件的擦取部件的俯视图。
图55是实施例的擦拭部件的擦取部件的主视图。
图56表示擦拭部件的动作的模式图。
图57实施例的清理部件的外观立体图。
图58是实施例的清理部件的主视图。
图59是实施例的清理部件的侧视图。
图60是实施例的清理部件的俯视图。
图61是清理部件的盖子的放大剖视图。
图62是实施例的清洗部件的立体图。
图63是实施例的清洗部件的俯视图。
图64是实施例的供液通路中的开关阀的配置部的立体图。
图65是实施例的供液通路中的开关阀的配置部的侧视图。
图中W-基板(工件)；1-喷出装置；7-功能液滴喷出头；25-主滑架；26-头部件；34-盖子部件；41-子滑架；67-喷嘴形成面；68-喷嘴；126-供液容器；153-吸引泵；158-供液通路；158b-分支通路；166-开关阀；212-盖子；216-吸引通路；216b-分支通路；217-液体传感器。
具体实施例方式
下面，参照附图，就本发明的实施例加以说明。本实施例的喷出装置被组合到所谓的平面显示器的一种即有机EL装置的生产线中，使用多个功能液滴喷出头，从它的喷嘴喷出发光材料等的功能液体，形成实现有机EL装置的发光功能的各像素的EL发光层和空穴注入层。
因此，首先说明有机EL装置的构造，并且说明它的制造方法(制造工艺)。然后，说明由使搭载的功能液滴喷出头扫描的喷出装置和它的外围设备构成的有机EL装置的制造装置及其制造方法。
图1～图13表示了包含有机EL元件的有机EL装置的制造工艺和它的构造。该制造工艺具有隔栅部的形成步骤、等离子体的处理步骤、由空穴注入/输送层的形成步骤和发光层的形成步骤构成的发光元件的形成步骤、对置电极的形成步骤、密封步骤。
在隔栅部的形成步骤中，在基板501上预先形成的电路元件部502上和电极511(也称作像素电极)上的给定位置通过层叠无机物隔栅层512a和有机物隔栅层512b，形成具有开口部512g的隔栅部512。这样，在隔栅部的形成步骤中，包含了在电极511的一部分上形成无机物隔栅层512a的步骤和在无机物隔栅层之上形成有机物隔栅层512b的步骤。
首先，在形成无机物隔栅层512a的步骤中，在电路元件部502的第二层间绝缘膜544b上和像素电极511上，跨整个面，通过CVD法、涂层法、溅射法、蒸镀法等形成成为无机物隔栅层512a的SiO2、TiO2等的无机物膜。接着，通过蚀刻等对该无机物膜构图，如图1所示，设置与电极511的电极面511a的形成位置对应的下部开口部512c。这时，有必要预先形成与电极511的周边部重叠的无机物隔栅层512a。这样，通过形成无机物隔栅层512a，使电极511的周边部与无机物隔栅层512a重叠，就能控制发光层510b(参照图10～图13)的发光区域。
接着，在形成有机物隔栅层512b的步骤中，如图2所示，在无机物隔栅层512a上形成有机物隔栅层512b。通过光刻技术等蚀刻有机物隔栅层512b，形成有机物隔栅层512b的上部开口部512d。上部开口部512d设置在与电极面511a和下部开口部512c对应的位置。
如图2所示，上部开口部512d最好比下部开口部512c宽，比电极面511a窄。据此，包围无机物隔栅层512a的下部开口部512c的第一层叠部512e成为比有机物隔栅层512b更向电极511的中央一侧延伸的形状。这样，通过使上部开口部512d和下部开口部512c连通，形成了贯穿无机物隔栅层512a和有机物隔栅层512b的开口部512g。
接着，在等离子体处理步骤中，在隔栅部512的表面和像素电极的表面511a形成表现亲液性的区域和表现防液性的区域。该等离子体处理步骤大致分为预备加热步骤；进行使隔栅部512的上表面(512f)、开口部512g的壁面和像素电极511的电极面511a具有亲液性的加工的亲液化步骤；进行使有机物隔栅层512b的上表面512f和上部开口部512d的壁面具有防液性的加工的防液化步骤；冷却步骤。
首先，在预备加热步骤中，把包含隔栅部512的基板501加热到给定的温度。加热是通过在安放基板501的台上安装加热器，用该加热器对该台和基板501加热而进行的。具体而言，希望使基板501的预备加热温度为例如70～80℃的范围。
接着，在亲液化步骤中，在大气气氛中，进行以氧为处理气体的等离子体处理(O2等离子体处理)。如图3所示，通过该O2等离子体处理，对像素电极411的电极面511a、无机物隔栅层512a的第一层叠部512e和有机物隔栅层512b的上部开口部512d的壁面以及上表面512f进行了亲液处理。通过该亲液处理，对这些面导入了羟基，赋予了亲液性。在图3中，用单点划线表示了被亲液处理的部分。
接着，在防液化步骤中，在大气气氛中，进行以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理(CF4等离子体处理)。如图4所示，通过该CF4等离子体处理，对上部开口部512d的壁面和有机物隔栅层的上表面512f进行了防液处理。通过该防液处理，对这些面导入了氟基，赋予了防液性。在图4中，用双点划线表示了表现防液性的区域。
接着，在冷却步骤中，把为了等离子体处理而加热的基板501冷却到室温、或液滴喷出步骤的管理温度。通过把等离子体处理后的基板501冷却到室温或给定温度(例如进行液滴喷出步骤的管理温度)，就能以一定的温度进行接着的空穴注入/输送层的形成步骤。
接着，在发光元件的形成步骤中，通过在像素电极511上形成空穴注入/输送层和发光层，形成发光元件。在发光元件的形成步骤中，包含四个步骤。即把用于形成空穴注入/输送层的第一组成物向各所述像素电极上喷出的第一液滴的喷出步骤；使喷出的所述第一组成物干燥，在所述像素电极上形成空穴注入/输送层的空穴注入/输送层的形成步骤；把用于形成发光层的第二组成物向所述空穴注入/输送层之上喷出的第二液滴的喷出步骤；使喷出的所述第二组成物干燥，在所述空穴注入/输送层之上形成发光层的发光层的形成步骤。
首先，在第一液滴的喷出步骤中，通过液滴喷出法，向电极面511a上喷出包含空穴注入/输送层的形成材料的第一组成物。须指出的是，该第一液滴的喷出步骤以后，最好在没有氢、氧的氮气氛、氩气氛等的惰性气体气氛中进行。(须指出的是，当只在像素电极上形成空穴注入/输送层时，不形成与有机物隔栅层相邻形成的空穴注入/输送层)。
如图5所示，在功能液滴喷出头H中填充包含空穴注入/输送层的形成材料的第一组成物，使功能液滴喷出头H的喷嘴与位于下部开口部512d内的电极面511a相对，一边使功能液滴喷出头H和基板501相对移动，一边从喷嘴把控制了一滴的液量的第一组成物滴510c向电极面511a上喷出。
作为这里使用的第一组成物，例如能使用把聚乙烯二羟基噻吩(PEDOT)等的聚乙烯衍生物和聚苯乙烯磺酸(PSS)等的混合物溶解于极性溶剂中而形成的组成物。作为极性溶剂，例如能使用异丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1、3-二甲基-2-咪唑(DMI)及其衍生物、卡必醇醋酸盐、丁基卡必醇醋酸盐等的乙二醇醚类。须指出的是，空穴注入/输送层的形成材料对于R、G、B的各发光层510b可以使用相同材料，也可以对各发光层改变材料。
如图5所示，喷出的第一组成物滴510c在被亲液处理的电极面511a和第一层叠部512e上扩散，充满下部、上部开口部512c、512d内。向电极面511a喷出的第一组成物量由下部、上部开口部512c、512d的尺寸、要形成的空穴注入/输送层的厚度、第一组成物中的空穴注入/输送层的形成材料的浓度等决定。另外，可以不只一次，而分多次向同一电极面511a上喷出第一组成物滴510c。
接着，在空穴注入/输送层的形成步骤中，如图6所示，对喷出后的第一组成物进行干燥处理和热处理，通过使第一组成物中包含的极性溶剂蒸发，在电极面511a上形成空穴注入/输送层510a。如果进行干燥处理，则第一组成物滴510c中包含的极性溶剂的蒸发主要在靠近无机物隔栅层512a和有机物隔栅层512b的地方发生，伴随着极性溶剂的蒸发，空穴注入/输送层的形成材料浓缩析出。而且，在电极面511a上也发生极性溶剂的蒸发，据此，在电极面511a上形成了由空穴注入/输送层的形成材料构成的平坦部510a。因为在电极面511a上，极性溶剂的蒸发速度几乎均匀，所以空穴注入/输送层的形成材料在电极面511a上均匀地浓缩，据此，形成了厚度均匀的平坦部510a。
接着，在第二液滴喷出步骤中，通过液滴喷出法，向空穴注入/输送层510a上喷出包含发光层的形成材料的第二组成物。在该第二液滴喷出步骤中，为了防止空穴注入/输送层510a的再溶解，作为发光层的形成时使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层510a不溶解的非极性溶剂。
可是，一方面，空穴注入/输送层510a对于非极性溶剂的亲和性低，所以即使把包含非极性溶剂的第二组成物向空穴注入/输送层510a上喷出，也有可能无法使空穴注入/输送层510a和发光层510b紧贴，或无法均匀地涂敷发光层510b。因此，为了提高空穴注入/输送层510a的表面对于非极性溶剂和发光层的形成材料的亲和性，希望在形成发光层之前进行表面改质步骤。
因此，首先就表面改质步骤加以说明。表面改质步骤是通过液滴喷出法、旋转镀膜法或浸渍法，把与发光层的形成时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与它类似的溶剂即表面改质用溶剂向空穴注入/输送层510a上涂敷后，通过干燥而进行。
例如，如图7所示，基于液滴喷出法的涂敷是向功能液滴喷出头H中填充表面改质用溶剂，使功能液滴喷出头H的喷嘴与基板(即形成了空穴注入/输送层510a的基板)相对，使功能液滴喷出头H与基板501一边相对移动，一边从喷嘴h向空穴注入/输送层510a上喷出表面改质用溶剂510d而进行。然后，如图8所示，使表面改质用溶剂510d干燥。
接着，在第二液滴喷出步骤中，通过液滴喷出法，把包含发光层的形成材料的第二组成物向空穴注入/输送层510a上喷出。如图9所示，在功能液滴喷出头H中填充包含蓝色(B)发光层的形成材料的第二组成物，使功能液滴喷出头H的喷嘴与位于下部、上部开口部512c、512d内的空穴注入/输送层510a相对，一边使功能液滴喷出头H和基板501相对移动，一边从喷嘴喷出控制了一滴的液量的第二组成物滴510e，把该第二组成物滴510e向空穴注入/输送层510a上喷出。
作为发光层的形成材料，能使用聚芴类高分子衍生物、(聚)对苯撑乙烯撑衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、二萘嵌苯类色素、香豆素类色素、若丹明类色素，或在所述高分子中掺杂有机EL材料。例如能通过掺杂红荧烯、二萘嵌苯、9、10-联苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等后使用。
作为非极性溶剂，希望是对于空穴注入/输送层510a不溶解的材料，例如能使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过在发光层510b的第二组成物中使用这样的非极性溶剂，能在空穴注入/输送层510a不再次溶解的前提下涂敷第二组成物。
如图9所示，喷出的第二组成物510e在空穴注入/输送层510a上扩散，充满上部开口部512c、512d内。可以不只一次，而是分多次向同一空穴注入/输送层510a上喷出第二组成物510e。这时，各次的第二组成物的喷出量可以相同，也可以在各次中改变第二组成物量。
接着，在发光层的形成步骤中，在喷出第二组成物后，进行干燥处理和热处理，在空穴注入/输送层510a上形成发光层510b。干燥处理通过对喷出后的第二组成物进行干燥处理，蒸发第第二组成物中包含的非极性溶剂，形成图10所示的蓝色(B)发光层510b。
接着，如图11所示，与蓝色(B)发光层510b时同样，形成红色(R)发光层510b，最后形成绿色(G)发光层510b。须指出的是，发光层510b的形成顺序并不局限于所述的顺序，可以用任意的顺序形成。例如可以按照发光层的形成材料决定形成的顺序。
接着，在对置电极的形成步骤中，如图12所示，在发光层510b和有机物隔栅层512b的整个面上形成阴极503(对置电极)。须指出的是，可以层叠多种材料形成阴极503。例如，在靠近发光层的一侧希望形成功函数小的材料，能使用Ca、Ba等，另外，根据材料，有时最好在下层薄薄地形成LiF等。另外，在上部一侧(密封一侧)希望是比下部一侧的功函数高的材料。希望用例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成这些阴极(阴极层)503，特别是用蒸镀法形成时，能防止对发光层510b的热导致的损伤。
另外，氟化锂可以只在发光层510b上形成，也可以只在蓝色(B)发光层510b上形成。这时，其他的红色(R)发光层和绿色(G)发光层510b、510b与由LiF构成的上部阴极层503b挨着。另外，在阴极503的上部，希望使用通过蒸镀法、溅射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜。另外，在阴极503为了防止氧化，可以设置SiO2、SiN等的保护层。
最后，在图13所示的密封步骤中，在氮、氩、氦等的惰性气体气氛中，在有机EL元件504上层叠密封用基板505。密封步骤希望在氮、氩、氦等的惰性气体气氛中进行。如果在大气中进行，则当阴极503中产生了针孔等的缺陷时，水和氧等有可能从该缺陷部分侵入阴极503中，把阴极503氧化，所以不好。而且，最后，在柔性基板的布线上连接阴极503，并且通过在驱动IC上连接电路元件部502的布线，就取得了本实施例的有机EL装置500。
须指出的是，在防液膜、阴极503、像素电极511等中，可以分别使用液体材料，用液滴喷出法形成。
下面，说明有机EL装置的制造装置。如上所述，在有机EL装置的制造工艺中，由使用功能液滴喷出头的液滴喷出法进行了形成空穴注入/输送层(空穴注入层)的空穴注入/输送层的形成步骤(第一液滴喷出步骤+干燥步骤)、表面改质步骤、形成发光层的步骤(第二液滴喷出步骤+干燥步骤)。对应于此，本实施例的有机EL装置的制造装置中，使用了使功能液滴喷出头一边扫描，一边喷出发光功能材料的喷出装置。
更具体而言，如图14所示，进行空穴注入/输送层的形成步骤(必要时，包含表面改质步骤)的空穴注入层的形成设备A具有搭载了导入第一液滴(发光功能材料空穴注入层材料)功能液滴喷出头的所述的喷出装置1a、干燥装置2a、基板输送装置3a，并且具有容纳它们的室装置4a。如上所述，希望在惰性气体的气氛中进行空穴注入/输送层的形成步骤，作为它的方法，设置了室装置4a。
室装置4a由以下部分构成容纳喷出装置1a的主室4aa；容纳干燥装置2a和基板输送装置3a，并且把它们的连接部分(输送线路)收藏为通道状的副室4ab。主室4aa采用使惰性气体连续流动，构成良好的气氛的方式(后面将具体描述)，副室4ab采用了使惰性气体循环，构成良好的气氛的方式。须指出的是，图中的符号5是基板移动承载装置。
同样，如图15所示，进行发光层的形成步骤的发光层的形成设备B具有搭载了导入第二液滴(发光功能材料R、G、B发光层材料)功能液滴喷出头的所述的喷出装置1b、干燥装置2b、基板输送装置3b，并且具有容纳它们的室装置4b。与所述同样，希望在惰性气体的气氛中进行发光层的形成步骤，作为它的方法，设置了室装置4b。而且，这时的室装置4b也由以下部分构成容纳各喷出装置1b的三个主室4ba；容纳各干燥装置2b、基板输送装置3b，并且把它们的连接部分(输送线路)收藏为通道状的三个副室4bb。
空穴注入层的形成设备A的喷出装置1a和发光层的形成设备B的各喷出装置1b只是向各功能液滴喷出头中导入的液体材料不同，具有相同的构造。另外，各干燥装置2a、2b、各基板输送装置3a、3b以及各室装置4a、4b具有相同或同样的构造。因此，如果忽略功能液滴喷出头的更换和发光功能材料的供给系统的更换的工夫，能用任意一组的设备(喷出装置1、干燥装置2、基板输送装置3、室装置4)制造有机EL装置。
因此，在本实施例中，以图15中左侧的一组设备即形成B色的发光层的喷出装置1b、干燥装置2b、基板输送装置3b和室装置4b为例，说明各构成装置，省略了其他设备的说明。
根据图外的装置，经过了所述的隔栅部的形成步骤和等离子体处理步骤的基板被从位于图15的左端的基板移动承载装置5输送到基板输送装置3(3b)。在这里，变换了方向和姿势，输送给喷出装置1(1b)。从基板输送装置3(3b)传递给喷出装置1(1b)，基板被设置在喷出装置1(1b)中。在喷出装置1(1b)中，通过它的功能液滴喷出头，向基板的多个像素区域(开口部512g)喷出了B色的发光材料(液滴)(第二液滴的喷出步骤)。
接着，把涂敷了发光材料的基板从喷出装置1(1b)传递给基板输送装置3(3b)，通过基板输送装置3(3b)导入到干燥装置2(2b)中。在干燥装置2(2b)中，在给定时间内，把基板暴露在高温的惰性气体的气氛中，使发光材料中的溶剂气化(干燥步骤)。在这里，再度把基板导入喷出装置1(1b)中，进行了第二液滴的喷出步骤。即重复多次该第二液滴的喷出步骤和干燥步骤，在发光层变为所希望的膜厚时，经过基板输送装置3(3b)把基板输送到用于形成R色的发光层的中间的喷出装置1(1b)，最后输送到用于形成G色的发光层的右端的喷出装置1(1b)。而且，这些作业是在所述的室装置4(4b)内的惰性气体的气氛中进行的。须指出的是，用于形成B、R、G的各色发光层的作业顺序是任意的。
须指出的是，虽然省略了干燥装置2和基板输送装置3的详细说明，但是，如果是干燥装置2，除了喷射惰性气体的吹风干燥和真空干燥，希望使用加热板或使用灯(红外线灯)。而且，干燥温度希望是40℃±2℃～200℃±2℃。
下面，就喷出装置1加以说明。如图16～图19所示，喷出装置1具有液滴喷出装置(液滴喷出部件)10和它的附带装置11。附带装置11具有向液滴喷出装置10供给液体材料，并且回收不需要的液体的液体供给回收装置13；供给对各构成零件的驱动、控制用的压缩空气的空气供给装置14；吸引空气的真空吸引装置15；用于功能液滴喷出头7的维护的维护装置16等。
液滴喷出装置10具有设置在底座上的架台21、设置在架台21上的石平台22、设置在石平台22上的X轴台23和与它正交的Y轴台24、悬挂设置在Y轴台24上的主滑架(滑架)25、保持在该主滑架25上的头部件26。虽然后面将详细描述，但是在头部件26上设置了多个功能液滴喷出头7。另外，对应于多个功能液滴喷出头7，在X轴台23的吸附台81上设置了基板(工件)W。
在本实施例的液滴喷出装置10中，是与功能液滴喷出头7的驱动(有选择地喷出液滴)同步，基板W移动的结构，功能液滴喷出头7的所谓的主扫描通过X轴台23的向X轴方向往返的两个动作进行。另外，与此对应，所谓的副扫描是通过Y轴台24使功能液滴喷出头7向Y方向往返动作而进行的。须指出的是，也可以只通过向X轴方向的前往(或返回)动作进行所述的主扫描。
而头部件26的原来位置是图17和图19中的图示左端位置，并且从该液滴喷出装置10的左方进行头部件26的运入和更换(后面将具体描述)。另外，在图示的跟前一侧，面对所述的基板输送装置3，从跟前一侧，搬入、搬出基板W。而且，在该液滴喷出装置10的图示右侧，一体添加设置了所述附带装置11的主要构成装置。
附带装置11具有箱式的公共机台31、收藏在公共机台31内的一方的半部中的所述空气供给装置14和真空吸引装置15、在公共机台31内的一方的半部中容纳了主要装置的所述的液体供给回收装置13、在公共机台31上容纳了主要装置的所述维护装置16。
维护装置16具有接受功能液滴喷出头7的定期的冲洗(来自喷嘴的液体的喷出)冲洗部件33、进行功能液滴喷出头7的吸引和保管的清理部件34、擦拭功能液滴喷出头7的喷嘴形成面的擦拭部件35。而且，清理部件34和擦拭部件35配置在所述的公共机台31上。
而如图14和图15所示，室37具有同时设置了电室38和机械室39的所谓的绝对无尘室的形态。向室37中导入惰性气体即氮气，它所容纳的所述的液滴喷出装置10和附带装置11作为全体暴露在氮气的气氛中，在氮气的气氛中工作。
这里，参照图20的模式图，简单说明在氮气的气氛中工作的喷出装置1的一系列的动作。首先，作为准备阶段，把头部件26运入液滴喷出装置10中，把它设置在主滑架25上。如果头部件26设置在主滑架25上，Y轴台24把主滑架26移动到图外的喷出头识别相机的位置，通过喷出头识别相机对头部件26进行了位置确认。这里，根据该确认结果，修正了头部件26的θ，并且在数据上进行了头部件26的X轴方向和Y轴方向的位置修正。位置修正后，头部件(主滑架25)回到原来位置。
而如果基板(这时，是导入的各基板)W被导入到X轴台23的吸附台81上，在该位置(交接位置)后面描述的主基板识别相机90进行基板的位置识别。这里，根据该识别结果，对基板W进行了θ的修正，并且在数据上进行了基板W的X轴方向和Y轴方向的位置修正。位置修正后，基板(吸附台81)W回到原来位置。须指出的是，在X轴和Y轴台23、24的初始调整时(所谓的通出)，在吸附台81上导入对齐掩模，通过后面描述的副基板相机108进行初始调整。
如果这样准备完毕，在实际的液滴喷出作业中，首先X轴台23驱动，使基板W在主扫描方向往返运动，并且驱动多个功能液滴喷出头7，进行了功能液滴对基板W的有选择的喷出动作。基板W返回后，这次Y轴台24驱动，使头部件26在副扫描方向移动一个间距，再度进行了基板W在主扫描方向的往返运动和功能液滴喷出头7的驱动。通过多次重复它，从基板W的端部到端部(整个区域)进行了液滴喷出。
须指出的是，在本实施例中，对于头部件，使该喷出对象即基板W在主扫描方向(X轴方向)移动，但是也可以是使头部件26在主扫描方向移动的结构。另外，也可以是固定头部件26，使基板W在主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
下面，按照顺序说明所述的液滴喷出装置10和附带装置11，但是此前，为了便于理解，详细说明成为液滴喷出装置10的主要部分的头部件26。
图21～图23是头部件的构造图。如这些图所示，头部件26具有子滑架41、搭载在子滑架41上的多个(12个)功能液滴喷出头7、用于分别把各功能液滴喷出头7安装在子滑架41上的喷出头保持部件42。12个功能液滴喷出头7左右各有6个，对于主扫描方向以给定的角度倾斜配置。
另外，各功能液滴喷出头7对于副扫描方向配置为彼此位置错开，12个功能液滴喷出头7的所有喷嘴68(后面描述)在副扫描方向是连续的(一部分重复)。即实施例的喷出头排列是在子滑架41上，把向同一方向倾斜配置的6个功能液滴喷出头7排列了两列，并且各喷出头列间，成为功能液滴喷出头7彼此旋转180°的配置。
不过，该排列模式是一个例子，配置为例如各喷出头列的相邻的功能液滴喷出头7彼此具有90°的角度(相邻的喷出头彼此成“八”字状)，或配置为各喷出头列间的功能液滴喷出头7具有90°的角度(列间的喷出头彼此为“八”字状)。无论怎样，如果基于12个功能液滴喷出头7的所有喷嘴68的点在副扫描方向是连续的，就可以了。
另外，如果对于各种基板W，功能液滴喷出头7为专用零件，就没必要倾斜设置功能液滴喷出头7，可以配置为交错状或阶梯状。还可以说，只要能构成给定长度的喷嘴列(点列)，可以用单一功能液滴喷出头7构成它，也可以用多个功能液滴喷出头7构成它。即功能液滴喷出头7的个数、列数和排列模式是任意的。
子滑架41具有切去了一部分的近方形的主体板44；设置在主体板44的长边方向的中间位置的左右一对的基准销45、45；安装在主体板44的两个长边部分上的左右一对的支撑部件46、46；设置在各支撑部件46的端部的左右一对的手柄47、47。左右的手柄47、47例如当把组装的头部件26放入所述的液滴喷出装置10中时，成为用于手持头部件26的部位。另外，左右的支撑部件46、46成为把子滑架41固定在液滴喷出装置10的设置部上时的部位(都将在后面详细描述)。一对的基准销45、45是以图像识别为前提，成为用于使子滑架41(头部件26)在X轴、Y轴和θ轴方向定位(位置识别)的基准。
在子滑架41上，在离开各功能液滴喷出头7的地方，例如在子滑架41的手柄47一侧的端部，设置了可自由装卸地连接通过管道转接器48连接了各功能液滴喷出头7的喷出头一侧管道部件48a和与液体供给回收装置13的后面将具体描述的供液容器126相连的装置一侧管道部件的管道接头49。
如图24(a)、(b)所示，管道接头49具有通过托架490固定在子滑架41的手柄47一侧的端部上的横长的板491，在该板491上，分上下两列，配合固定了供12个管套492，在各管套492的一端部通过管接头493连接了各喷出头一侧管道部件48a。在各管套492的另一端部形成了塞孔492a，塞子494可自由插拔地配合在该塞孔492a中。
在塞子494上通过肘形管495连接了装置一侧管道部件，于是只通过在各管套492中插拔各塞子494，就能在喷出头一侧管道部件48上连接装置一侧管道部件。而且，即使在管道分离时产生液体滴流，因为管道接头49从功能液滴喷出头7分开，所以滴流的液体不会附着在后面描述的功能液滴喷出头7的连接器66(参照图25(a))上，能防止液体滴流导致的故障。须指出的是，通过用两端的螺钉496安装在板491上的紧固杆497，防止所述塞子松脱。
可是，如果在塞孔492a内，产生与塞子494之间的空隙，来自空隙的气泡流入功能液滴喷出头7，产生液滴的喷出不良。因此，在本实施例中，形成塞孔492a的孔底面492b与塞子494的顶端的锥度匹配的锥面，使不产生间隙。须指出的是，由于塞孔492a的深度和塞子494的长度的尺寸公差，在孔底面492b和塞子494之间有可能产生若干的空隙，但是该空隙在从塞子494流出的液体的流线方向指向锥状，所以在把头部件26投入喷出装置1时进行的对功能液滴喷出头7的液体填充步骤中，能容易地从空隙排出气泡，在喷出装置1的工作中，气泡不会从空隙流入功能液滴喷出头7。
另外，在本实施例中，在塞子494的外周，隔开轴向的间隔，安装多个例如两个对于塞孔492a的密封用的O形环498，提高了塞子494和管套492间的密封性。
在子滑架41上，虽然未图示，但是在左右两列的功能液滴喷出头群的上方，设置了连接了这些功能液滴喷出头7的左右一对的布线连接部件。而且，各布线连接部件连接了喷出装置1的控制装置(喷出头驱动器省略了图示)。
如图25(a)、(b)所示，功能液滴喷出头7是所谓的双联式的，包含具有双联的连接针62、62的液体导入部61；与液体导入部61的一侧相连的双联的喷出头基板63；与液体导入部61的下方相连的双联的泵部64；与泵部64相连的喷嘴形成板65。在各连接针62上连接了所述管道转接器48，在各连接针62的基部安装了防止异物侵入泵部64的过滤器62a。在喷出头基板63的双联的连接器66、66上连接了从所述布线连接部件导出的柔性托架线缆(未图示)。
另外，通过泵部64和喷嘴形成板65，构成了向子滑架41的背面一侧突出的方形的喷出头主体60。另外，在喷嘴形成板65的喷嘴形成面67上形成了两列多个喷嘴68。须指出的是，因为管道转接器48与双联的连接针62、62对应，对各一个功能液滴喷出头7设置了两个，所以通过Y字接头，把连接在管道接头49的各管套492上的喷出头一侧管道部件48a连接了两个管道转接器48。
下面，按顺序说明液滴喷出装置10的其他构成装置和附带装置11的各构成装置。
图26～图29表示了搭载了X轴台的液滴喷出装置的架台21和石平台22。如这些图所示，架台21由角材等组成方形，具有分散配置在下部的带调整螺栓的多个(9个)支撑脚71。在架台21的上部，以对于各边为2个的比例，向侧方伸出安装了多个(8个)用于在搬运等的移动时固定石平台22的固定部件72。各固定部件72象托架那样形成“L”字状，把基端一侧固定在架台21的上部侧面，通过调整螺栓73使顶端一侧与石平台22的下部侧面接触。石平台22对于架台21以非连结状态承载在其上，在搬运石平台22时，通过该固定部件72，使石平台22对于架台21固定为对于X轴方向和Y轴方向(前后左右)不动。
石平台22支撑以高精度使功能液滴喷出头7移动的X轴台23和Y轴台24，不会由于周围的环境条件和振动等而使精度上(特别是平面度)产生失常，并且由俯视图中为长方形的无垢石材构成。在石平台22的下部，设置了把它支撑在架台上的带调整螺栓的三个主支撑脚75和六个辅助支撑脚76。三个主支撑脚75以三点支撑石平台22，用于展现出其表面的平行度(包含水平度)，六个辅助支撑脚76支撑石平台22的远离三个主支撑脚75的部分，抑制它的挠曲。
因此，如图29所示，三个主支撑脚75、75、75配置为等腰三角形，形成它的底边的两个主支撑脚75配置为位于石平台22的基板的搬入一侧(在该图中为左侧，在图16中，是跟前一侧)。另外，六个辅助支撑脚76、76、76、76、76、76均匀并且分散配置，包含所述三个主支撑脚75、75、75，在纵横上为3×3。
这时，石平台22上，使轴线与沿着其长边的中心线一致，配置了X轴台23，使轴线与沿着短边的中心轴一致，配置了Y轴台24。因此，X轴台23直接固定在石平台22上，Y轴台24的四根支柱78分别通过隔离块79固定在石平台22上。据此，Y轴台24跨越X轴台23，配置为在其上方正交。须指出的是，图27中的符号80是用于固定后面描述的主基板识别相机的四个小块，主基板识别相机也固定在石平台22上。
如图26～图28的X轴移动系统和图30～图32的θ移动系统所示，X轴台23在石平台22的长边方向延伸，由以下部分构成通过空气吸引吸附设置基板W的吸附台81、支撑吸附台81的θ台82(参照图30～图32)、在X轴方向可自由滑动地支撑θ台82的X轴气动滑道83、通过θ台82使吸附台81上的基板W在X轴方向移动的X轴线性电机84、设置在X轴气动滑道83上的X轴线性标尺85(参照图26～图29)。
X轴线性电机84位于X轴气动滑道83的头部件26的搬入一侧，X轴线性标尺85位于X轴气动滑道83的附带装置11一侧，它们配置为彼此平行。X轴线性电机84、X轴气动滑道83和X轴线性标尺85直接支撑在石平台22上。在吸附台81上，连接了与所述的真空吸引装置15相连的真空管(省略了图示)，吸附通过该空气吸引而设置的基板W，维持了平坦度。
另外，在X轴线性标尺85的附带装置11一侧，位于与它平行，在石平台22上以收藏在盒子88中的状态下，配置了X轴线缆支架87。在X轴线缆支架87中，收藏了吸附台81的真空管和θ台82用的线缆等，使其能追随吸附台81和θ台82的移动。
这样构成的X轴台23通过X轴线性电机84的驱动，吸附了基板W的吸附台81和θ台82以X轴气动滑道83为引导，在X轴方向移动。在该X轴方向的往返移动中，通过从基板搬入一侧向里侧的前往动作，进行了了功能液滴喷出头7的相对的主扫描。另外，根据后面描述的主基板识别相机90的识别结果，进行了基于θ台82的基板W的θ修正(水平面内的角度的修正)。
图33表示了主基板识别相机。如图33所示，在吸附台81的正上方，面对基板的搬入位置(交接位置)，配置了一对主基板识别相机90、90。一对主基板识别相机90、90同时对基板的两个基准位置(省略了图示)进行图像识别。
如图34、图35和图36所示，Y轴台24在石平台22的短边方向延伸，具有悬挂设置所述的主滑架25的桥板91；用双支撑并且能在Y轴方向自由滑动地支撑桥板91的一对Y轴滑道92、92；设置在Y轴滑道92上的Y轴线性标尺93；以一对Y轴滑道92、92为引导，使桥板91在Y轴方向移动的Y轴球螺栓94；使Y轴球螺栓94正反旋转的Y轴电机95。另外，位于一对Y轴滑道92、92两侧，以分别收藏在盒子97、97中的状态下，配置了一对Y轴线缆支架96、96。
Y轴电机95由伺服电机构成，如果Y轴电机95正反旋转，则通过Y轴球螺栓94，与它螺旋配合的桥板91以一对Y轴滑道92、92为引导，在Y轴方向移动。即伴随着桥板91的Y轴方向的移动，主滑架25在Y轴方向移动。在该主滑架(头部件26)25的Y轴方向的往返移动中，通过从原来位置一侧向附带装置一侧的前往动作，进行了功能液滴喷出头7的副扫描。
而在所述四根支柱78上，支撑了主滑架25的移动线路的部分为长方形开口98a的承载台板98，在承载台板98上避开长方形开口98a彼此平行配置了一对Y轴滑道92、92和Y轴球螺栓94。另外，在从承载台板98向外侧伸出的一对支撑板99、99上承载了所述的一对Y轴线缆支架96、96和它的盒子97、97。
基板的搬入一侧的Y轴线缆支架96中主要容纳了连接头部件26的线缆，在相反一侧的Y轴线缆支架中，容纳了连接头部件26的装置一侧管道部件(都省略了图示)。而且，这些线缆和管道部件通过所述的桥板91连接了头部件26的多个功能液滴喷出头7。
如图37和图38所示，主滑架25由以下部分构成从下侧固定在所述的桥板91上的外观“I”形的悬挂部件101；安装在悬挂部件101的下表面上的θ台102；悬挂安装在θ台102的下表面上的滑架主体103。而且，该悬挂部件101面对所述的承载台板98的长方形开口98a。
滑架主体103具有支承头部件26的基板104；垂直设置而支撑基板104的拱部件105；向基板104的一方的端部突出设置的一对暂置角铁106、106；设置在基板104的另一方的端部的止动扳107。另外，在止动扳107的外侧配置了识别所述基板W的所述一对副基板识别相机108。
在基板104上形成了头部件26的主体板44滑动配合的方形开口111，另外在构成该方形开口111的基板104的左右的各开口边缘部112设置了用于定位并固定头部件26的螺栓孔113、113、两个通孔114、114和定位销115。
在这样构成的主滑架25中，头部件26由两个手柄47、47手持运入，并设置。即运入的头部件26被放置在两个暂置角铁106、106上(暂时放置)。这里，把配置在桥板91上的装置一侧管道部件与头部件26的管道接头49连接，并且把控制系统的线缆与部线连接部件连接。然后，再度把持手柄47、47，以两个暂置角铁106、106为引导，向前方压入头部件26，把它设置在基板104的左右的开口边缘部112。
下面，说明附带装置11的公共机台31。如图39～图42所示，公共机台31具有隔着隔离壁形成了大小两个收藏室122a、122b的室形式的机台主体121；设置在机台主体121上的移动台123；固定在移动台123上的公共基板124；设置在机台主体121上的远离移动台123的一端的位置上的容器基板125。在公共基板124上配置了清理部件34和擦拭部件35，在容器基板125上配置了后面描述的液体供给装置的供液容器126。
在机台主体121的下表面上设置了带调整螺栓的六个支撑脚128和四个滚动轮129，另外，在液滴喷出装置10一侧，设置了用于与液滴喷出装置10的架台21连接的一对连接托架130、130。据此，液滴喷出装置10和附带装置(公共机台31)11一体化，并且按照必要，能与附带装置分离，并移动。
在机台主体121的小的收藏室122b中，容纳了空气供给装置14和真空吸引装置的主要部分，在大的收藏室122a中，容纳了功能液体供给回收装置的容器类。而且，用于连接该容器类的接头群131面临形成在机台主体121的端部上表面的矩形开口部121a(图示的左端图)。另外，在该矩形开口部121a的附近，设置了后面描述的废液泵152(参照图16)。
移动台123在机台主体121的长度方向延伸，具有支撑公共基板124的方形台133；可自由滑动地支撑方形台133的一对移动滑道134、134；配置在一对移动滑道134、134之间的球螺栓135；使球螺栓135正反旋转的移动电机136。移动电机136通过联轴节连接了球螺栓135的端部，方形台133通过阴螺纹板牙138与球螺栓135螺旋配合。据此，如果移动电机136正反旋转，则通过球螺栓135，方形台133和公共基板124在X轴方向进退。
移动台123使公共基板124上承载的清理部件34和擦拭部件35移动，但是当移动台123驱动时，通过所述的Y轴台24，头部件26面临清理部件34的正上方。如果清理部件34与头部件26的多个功能液滴喷出头7紧贴，吸引液体，就会污染各功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67，所以继续通过移动台123使擦拭部件35接近多个功能液滴喷出头7，擦拭喷嘴形成面67的污迹(后面将详细描述)。
另外，在移动台123的肋部，与它平行配置了线缆支架139。线缆支架139固定在公共机台31上，并且顶端部固定在公共基板124上，收藏了两个部件34、35用的线缆和空气管或后面描述的洗净用的管子和废液(循环)用的管子等(省略了图示)。
下面，参照图43～图46，说明液体供给回收装置13。如图43的配管系统图所示，液体供给回收装置13由以下部分构成向头部件26的功能液滴喷出头7供给液体材料的液体供给系统141；回收用清理部件34吸引的液体材料的液体回收系统142；向擦拭部件35供给用于洗净的液体材料的溶剂的洗净液供给系统143；回收来自冲洗部件33的废液的废液回收系统144。
图44和图45是所述的公共机台31的大的收藏室122a中容纳的容器群，在拉出形式的防液盘146上承载了多个容器。在防液盘146上，从图示左侧开始，横向并排配置了构成容器群的洗净液供给系统143的洗净容器147、液体回收系统142的循环容器148和液体供给系统141的加压容器149，并且在洗净容器147和循环容器148的附近配置了小型的废液回收系统144的废液容器150。
如图43所示，废液容器150通过废液泵152连接了冲洗部件33，通过各功能液滴喷出头7，把向冲洗部件33喷出的液体材料回收到废液容器150中。循环容器148连接了清理部件34的吸引泵153，通过吸引泵153，回收从各功能液滴喷出头7吸引的液体材料。须指出的是，如图46所示，废液泵152和后面描述的供液容器126上游一侧的开关阀154固定在支撑板155上，如上所述，安装在机台主体121的端部上表面上(参照图16)。
如图43所示，在洗净容器147上连接了与空气供给装置14相连的容器加压用的管子156，流出一侧连接了擦拭部件35的洗净液喷雾头喷嘴(后面描述)195。即洗净容器147通过从空气供给装置14导入的压缩空气，向洗净液喷雾头喷嘴195加压供给内部的洗净液。虽然后面将详细描述，但是洗净液喷雾头喷嘴195喷出的洗净液浸渍了擦拭功能液滴喷出头7的擦拭薄板182。
在加压容器149上连接了与空气供给装置14相连的容器加压用的管子157，流出一侧连接了液体供给系统141的供液容器126。即加压容器149是液体材料的主容器，通过从空气供给装置14导入的压缩空气，向供液容器126压送内部的液体材料。
如图47～图49表示了供液容器126。供液容器126固定在所述容器基板125上，包含在两侧具有液体窗162、162，并且以凸缘形式关盖的矩形的容器主体161；面临两个液体窗162、162，检测功能液体的液位(水位)的液位检测器163；承载了容器主体161的盘164；通过盘164支撑容器主体161的容器底座165。
容器底座165由安装板167和直立设置在安装板167上的两根支柱状部件168、168构成，通过这两根支柱状部件168、168，能微调容器主体161的高度和水平。在容器主体161(盖体)的上表面连接了与加压容器149相连的供给管169，另外，设置了延伸到头部件26一侧的供液通路(图43的符号158)用的六个连接器170a和大气开放用的一个连接器170b。
液位检测器163由上下稍微分开配置的上限水平检测器163a和下限水平检测器163b构成，该上限水平检测器163a和下限水平检测器163b对于容器底座165安装为在基部一侧分别能自由调节高度。上限水平检测器163a和下限水平检测器163b都具有向容器主体161延伸的一对板状臂163c、163c，在一对板状臂163c、163c的一方上安装了面对一方的液位窗162的发光元件163d，在另一方上安装了面对另一方的液位窗162的发光元件163e。即通过该发光元件163d和发光元件163e，构成了透射型的液位传感器。
在连接了供液容器126的所述的供给管169的上游一侧设置了开关阀154(参照图43和图46)。开关阀154通过上限水平检测器163a和下限水平检测器163b控制开关，调整为供液容器126的液位总在上限水平和下限水平之间。这里，以给定压力把液体材料从加压容器149压送给供液容器126，但是在供液容器126中，该加压容器149一侧的压力由于向大气开放而被解除，通过由所述液位的调整而管理的一点水位差压力(例如25mm±0.5mm)，向功能液滴喷出头7供给了液体材料。据此，功能液滴喷出头7的泵动作即泵部64内的压电元件的泵驱动，以高精度喷出了液滴，防止了来自功能液滴喷出头7的喷嘴68的液体滴流。
须指出的是，来自供液容器126的六条供液通路158分别通过T字接头158a连接了两条，共连接了12条的分支通路158b，在设置在头部件26上的管道接头49的12个管套492上分别把各分支通路158b作为装置一侧管道部件连接。另外，在各分支通路158b中设置了开关阀166，在功能液滴喷出头7的液体填充步骤中，如后所述，暂时关闭开关阀166。
下面，按擦拭部件35、清理部件34、冲洗部件33的顺序，就维护装置16加以说明。
如图50～图55所示，擦拭部件35由分别独立构成的卷绕部件(图50～图52)171和擦取部件(图53～图55)172构成，以面对面的状态配置在所述的公共基板124上。卷绕部件171配置在公共基板124的跟前一侧，擦取部件172配置在公共基板124的里侧即清理部件34一侧。
实施例的擦拭部件35对于清理部件34的正上方即停止在清理位置的头部件26，一边使后面描述的擦拭薄板182移动，一边通过所述的移动台123，作为全体在X轴方向移动，擦拭多个功能液滴喷出头7。因此，擦拭部件35从卷绕部件171放出，为了擦拭动作，围绕擦取部件172旋转，卷取到卷绕部件171上。
如图50、图51和图52所示，卷绕部件171具有单支承形式的框架174；可自由旋转地支撑在框架174上的上方的放出卷轴175和下方的卷绕卷轴176；使卷绕卷轴176旋转卷取的卷绕电机177。另外，框架174的上部固定了子框架178，在该子框架178上，用双支承形式支撑了速度检测辊179和中间辊180。在这些构成零件的下方配置了接收洗净液的洗净液盘181。
在放出卷轴175上插入填装了擦拭薄板182，从放出卷轴175放出的擦拭薄板182通过速度检测辊179和中间辊180送入擦取部件172。在卷绕卷轴176和卷绕电机177之间，挂着定时带183，卷绕卷轴176通过卷绕电机177旋转，卷绕擦拭薄板182。
虽然，后面将详细描述，但是在擦取部件172中也设置了输送擦拭薄板182的电机(擦取电机194)，放出卷轴175通过设置在其上的扭矩限制器184，对抗擦取电机194，制动、旋转。速度检测辊179是由自由旋转的上下两个辊179a、179b构成的夹持辊，通过设置在其上的速度检测器185，控制卷绕电机177。即放出卷轴175在拉伸的状态下送出擦拭薄板182，卷绕卷轴176在不产生松弛的前提下卷绕擦拭薄板182。
如图53、图54和图55所示，擦取部件172具有左右一对底座191、191；支撑在一对底座191、191上的截面近“U”字状的基础框架192；用双支承形式，可自由旋转地支撑在基础框架192上的擦拭辊193；使擦拭辊193旋转的擦拭电机194；与擦拭辊193平行相对的洗净液喷雾头喷嘴195；使基础框架192升降的多动形式的一对气缸196、196。
一对底座191、191由分别位于外侧的固定底座198和安装在固定底座198的内侧并且在上下方向能自由滑动的可动底座199构成，在各固定底座198的基部直立设置了气缸196。各气缸196的活塞196a固定在可动底座199上，通过同时驱动的一对气缸196、196，基础框架192、由它支撑的擦拭辊193和擦拭电机194等升降。
擦拭辊193由通过定时带201连接了擦拭电机194的驱动辊202和隔着擦拭薄板182接触驱动辊202的从动辊203构成的夹持辊构成。驱动辊202例如由在核心部分缠绕了具有弹性或柔软性的橡胶的橡胶辊构成，使卷绕在其上的擦拭薄板182一边移动，一边按压功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67。
洗净液喷雾头喷嘴195在擦拭辊193(驱动辊202)的附近，向从所述的中间辊送来的擦拭薄板182上喷射洗净液。因此，在洗净液喷雾头喷嘴195的前面即擦拭辊193一侧，配合擦拭薄板182的宽度，横向并排设置了多个喷雾喷嘴204，在后面设置了与所述洗净容器147相连的管连接用的多个连接器205。
被喷射了洗净液的擦拭薄板182被洗净液浸渍，面对功能液滴喷出头7，把它擦拭。须指出的是，位于擦拭辊193的下方，在基础框架192上也设置了洗净液盘，与卷绕部件171的洗净液盘181一起接收从擦拭薄板182滴下的洗净液。
这里，参照图56的模式图，简单说明一系列的擦拭动作。如果头部件26的清理动作结束，移动台123就驱动，使擦拭部件35前进，充分靠近头部件26。擦拭辊193移动到功能液滴喷出头7的附近后，停止移动台123，驱动两个气缸196、196，使擦拭辊193上升，使其接触(压住)功能液滴喷出头7。
这里，驱动卷绕电机177和擦拭电机194，使擦拭薄板182擦拭、输送，并且开始洗净液的喷雾。另外，与此同时，再度驱动移动台123，一边进行擦拭薄板182的输送，一边使擦拭辊193前进，使其擦拭多个功能液滴喷出头7的下表面。在擦拭动作结束后，停止擦拭薄板182的输送，并且使擦拭辊193下降，再通过移动台123使擦拭部件35后退到原先的位置。
下面，参照图57～图60说明清理部件34。清理部件34具有对应于12个功能液滴喷出头7，在盖子基板213上配置了12个盖子212的盖子部件211；支撑盖子部件211的支撑部件214；通过支撑部件214使盖子部件211升降的升降机构215。
另外，如图43所示，中间设置了吸引泵153的连接了循环容器148的吸引通路216通过总管216a分支为12条分支通路216b，各分支通路216b连接了各盖子212。在各分支通路216b，从盖子212一侧开始按顺序设置了液体传感器217、压力传感器218和开关阀219。
12个盖子212以与头部件26的12个功能液滴喷出头7的排列并且相同的倾斜姿态，固定在盖子基板213上。如图61所示，各盖子212由盖子主体220和盖子固定器221构成，盖子主体220由两个弹簧222、222靠向上方，以稍微能上下移动的状态保持在盖子固定器221上。在盖子基板213上，对应于12个盖子212形成了12个安装开口224，并且形成了12个浅沟225，使其包含安装开口224。各盖子212的下部插入安装开口224中，盖子固定器221定位在浅沟225中的状态下，在浅沟225的部分被螺旋止动(参照图60)。
在各盖子主体220的上表面，形成了包含功能液滴喷出头7的两列喷嘴群的凹部220a，在凹部220a的周边部安装了密封衬板227，另外，在底部以通过按压框228a按压的状态下设置了吸收材料228。而且，在凹部220a的底部形成了小孔229，该小孔229与连接了吸引用的各分支通路216b的L字接头230连通。当吸引液体材料时，向功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67按压密封衬板227，包含两列喷嘴群而密封喷嘴形成面67。
在各盖子212中，还设置了在其底面一侧使凹部220a向大气开放的大气开放阀231。大气开放阀231由弹簧靠向上方的关闭一侧，在液体材料的吸引动作的最终阶段，通过拉下大气开放阀231，打开阀门，使浸渍在吸收材料228中的液体材料也能吸引。图中231b是大气开放阀231的操作部。
支撑部件214包含具有在上端支撑盖子部件211的支撑板241的支撑部件主体242；在上下方向可自由滑动地支撑的支撑部件主体242的底座243。在支撑板241的长度方向的两侧下表面，固定了一对气缸244、244，设置了用这一对气缸244、244升降的操作板245，在操作板245上安装了与各盖子212的大气开放阀231的操作部231b配合的钩子245a。于是，通过一对气缸244、244，通过操作板245开关大气开放阀231。
升降机构215具有直立设置在底座243的基础部243a上的由气缸构成的下级升降气缸246、直立设置在用该升降气缸246升降的板248上的由气缸构成的上级升降气缸247，在所述支撑板241上连接了上级升降气缸247的活塞杆。两个升降气缸246、247的冲程彼此不同，用两个升降气缸246、247的选择动作，把盖子212的上升位置在比较高的第一位置和比较低的第二位置间自由切换。
这里，盖子部件211在头部件26移动到面临盖子部件211的正上方的清理位置时，使功能液滴喷出头7不接触盖子212，平时在设定为盖子212的密封衬板227和功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67之间空开数mm的间隙的下降端位置待机。而且，在向第一位置的上升中，使盖子212的密封衬板227和功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67紧贴，在第二位置，使盖子212的密封衬板227和功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67之间只空出一点间隙(例如，0.5mm左右)。须指出的是，在本实施例中，用下级升降气缸246使盖子部件211上升到第一位置，用上级的升降气缸247使盖子部件211上升到第二位置，但是，当然也可以用上下相反的升降气缸，进行到第一位置和第二位置的上升。
采用了这样的结构的清理部件34通过移动台123移动到与头部件26的Y轴方向移动轨迹交叉的位置，对此，头部件26通过Y轴台，移动到面对清理部件34(盖子部件211)的正上方的清理位置。这里，通过升降机构215的下级升降气缸246的工作，盖子部件211上升到第一位置，从下方12个盖子212压到头部件26的12个功能液滴喷出头7上。压在各功能液滴喷出头7上的12个盖子对抗自身的弹簧222、222，盖子主体220陷入几分，密封衬板227均匀地紧贴在功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67上。
接着，驱动吸引泵153，打开设置在吸引用的各分支通路216b中的开关阀219，从各功能液滴喷出头7所有喷嘴68通过各盖子212吸引液体材料。然后，在吸引结束前，打开大气开放阀231，然后关闭开关阀219，结束吸引。吸引动作结束后，使盖子部件211下降到下降端位置。须指出的是，在吸引中，根据来自设置在吸引用的各分支通路216b中的压力传感器218的信号，监视是否产生了各盖子212的吸引不良。另外，在停止装置的运转时等的喷出头保管时，使盖子部件211上升到第一位置，用各盖子212密封该功能液滴喷出头7，成为保管状态。
下面，参照图62和图63说明冲洗部件33。冲洗部件33配置在所述的X轴线缆支架87的盒子88上(参照图30)。冲洗部件33由以下部分构成固定在X轴线缆支架87上的滑动基板251；设置在滑动基板251上进退自由的长板状的滑块252；固定在滑块252的两端部的一对冲洗盒子253、253；设置在各冲洗盒子253内的一对液体吸收材料254。
一对冲洗盒子253、253具有与头部件26的左右的两列各功能液滴喷出头群对应的宽度，并且具有与各功能液滴喷出头的副扫描方向的移动范围对应的长度，形成了细长形状。而且，这一对冲洗盒子253、253从滑块252向X轴台23延伸为直角，并且配置为夹着吸附台81。另外，在各冲洗盒子253、253的中央底面安装了构成排液部的排液接头256。连接在该排液接头256上的排液管(省略了图示)通过X轴线缆支架87内，连接了所述的废液容器150。
在滑块252上，在一对冲洗盒子253、253之间，固定了一对向着X轴台23的θ台82延伸的安装片257、257，这一对安装片257、257的顶端部固定在θ台82的基础部。即通过滑块252，一对冲洗盒子253、253被滑动基板251引导，与θ台82一起移动。
在这样构成的冲洗部件33中，如图30所示，如果与θ台82一起，冲洗部件33进行前往运动，最初该图示的右侧的冲洗盒子253通过头部件26的正下方。这时，多个(12个)功能液滴喷出头7按顺序进行冲洗动作，头部件26就这样转移到通常的液滴喷出动作。同样，如果冲洗部件33进行返回运动，则最初左侧的冲洗盒子253通过头部件26的正下方。这时，多个功能液滴喷出头7按顺序进行冲洗动作，头部件26就这样转移到通常的液滴喷出动作。因此，只为了冲洗动作，头部件26等不移动，冲洗对生产节拍时间不产生影响。
当液滴的喷出进行某种程度的休息时，例如对喷出装置1取出、放入基板W时，冲洗是必要的。因此，当液滴的喷出进行某种程度的休息时把头部件26移动到面对盖子部件211的正上方的清理位置，从各功能液滴喷出头7向各盖子进行冲洗。这时，如果盖子部件211存在于下降端位置，来自功能液滴喷出头7的喷出液体的一部分从功能液滴喷出头7和盖子212之间的间隙变为雾状，向外部飞散。因此，通过升降机构215的升降气缸使盖子部件211上升到第二位置，在该状态下进行冲洗。
据此，功能液滴喷出头7和盖子212之间的间隙变得很小，防止了来自功能液滴喷出头7的喷出液体向外部的飞散。这时，如果预先作用来自吸引泵153的吸引力，则能更有效地防止喷出液体向外部的飞散。须指出的是，虽然也考虑了在使盖子212与功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67紧贴的状态下进行冲洗，但是如果使盖子212与喷嘴形成面67紧贴，则喷嘴形成面67污染，所以冲洗后的喷嘴形成面67的擦拭成为必要，从而并不实用。
可是，当把新的头部件26投入喷出装置1中时，因为功能液滴喷出头7的喷出头内流路是空的，所以在开始液滴喷出作业前，有必要向喷出头内流路中填充液体材料。这时，因为只用一点水位差压力进行了来自供液容器126的液体材料的供给，所以在向喷出头内流路中填充液体材料时，吸引成为必要的。因此，在液体的填充作业时，把头部件26移动到清理位置，使盖子部件211上升到第一位置，使各盖子212与功能液滴喷出头7的喷嘴形成面67紧贴，用通过各盖子212作用的来自吸引泵153的吸引力，把供液容器126内的液体材料填充到各功能液滴喷出头7的喷出头内流路中。可是，即使进行基于盖子212的吸引，喷出头内流路中液体材料的流速下降，无法充分地从喷出头内流路排除气泡，由于残留气泡的影响，产生液滴的喷出不良。特别是设置在功能液滴喷出头7的连接针62的基部的过滤器62a上容易残留气泡。
因此，在本实施例中，在供液用的各分支通路158b中设置了如上所述的开关阀166，并且在吸引用的各分支通路中216b中设置了如上所述的液体传感器217，在液体的填充开始后，液体材料被吸引到盖子212，当液体传感器217检测到它时，保持基于盖子212的吸引，暂时关闭对应的开关阀166。据此，开关阀166的关闭时，喷出头内流路减压，通过其后的把开关阀166打开，液体材料急剧地流动，从喷出头内流路中高效地排除了气泡。根据实验，在开关阀166的关闭前的流速为100mm/s，而暂时关闭开关阀166后再打开，流速大幅度增加到200～2000mm/s。
这里，开关阀166的关闭前的喷出头内流路的液体填充率越高，关闭阀门后，就越高效地对喷出头内流路减了压。当液体材料到达所述液体传感器217时，喷出头内流路几乎被液体材料充满，通过使用液体传感器217，能恰当地自动控制关闭阀门的定时。另外，通过在供液用和吸引用的各分支通路158b、216b中分别设置开关阀166和液体传感器217，即使各功能液滴喷出头7中，在初始的液体填充率上有偏差，对于各功能液滴喷出头7，能分别以恰当的定时关闭开关阀166。
另外，开关阀166和功能液滴喷出头7之间的通路长度越短，关闭阀门后的减压效率就越提高，并且减少了填充时的液体消耗量。这里，如果在于主滑架25一体移动的部分搭载开关阀166，就没必要在开关阀166和功能液滴喷出头7之间的通路部分设置用于追随保持在主滑架25上的头部件26的运动的松弛，从而能缩短通路长度。因此，在本实施例中，在悬挂设置了主滑架25的桥板91上搭载了开关阀166。其细节如图64和图65所示，固定在桥板91上的底座261上，分上下两级各六个，搭载了12个开关阀166。
另外，在覆盖开关阀166的底座261的上板262上配置了6个T字接头158a和6个回流(earth)接头158c，把与供液容器126相连的六个供液通路158(管子)分别通过回流(earth)接头158c连接T字接头158a的向内连接口。而且，把连接了这6个T字接头158a的向内连接口的六个分支通路158b的上游部分158b1连接上级的6个开关阀166的流入口166a，并且把连接了这6个T字接头158a的向内连接口的剩下的六个分支通路158b的上游部分158b1连接下级的开关阀166的流入口166a。
另外，在底座261的下板263上通过托架264配置了12个管接头158d，把连接在上下两级共12个开关阀166的流出口上的12个分支通路158b的中间部分158b2分别连接管接头158d的一端，在这些管接头158d的另一端连接了与头部件26的管道接头49的管套492相连的装置一侧管道部件即分支通路158b的下游部分158b3。须指出的是，在底座261上，也设置了用于不通过开关阀166而向头部件26供给液体的分流器265。
以上，说明了有机EL装置的制造装置，但是在用喷墨方式制造液晶显示装置的滤色器的等其他制品的喷出装置中，也同样能应用本发明。
例如，在液晶显示装置的滤色器的制造方法中，把R、G、B各色的滤色材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出滤色材料，在基板上形成多个滤色元件。并且，可以用与所述同样的方法，形成覆盖多个滤色元件的保护膜。
同样，本实施例的液滴喷出装置10能应用于电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法中。
在电子发射装置的制造方法中，把R、G、B各色的荧光材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出荧光材料，在电极上形成多个荧光体。须指出的是，电子发射装置是包含FED(场致发射显示器)的上级的概念。
在PDP装置的制造方法中，把R、G、B各色的荧光材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出荧光材料，在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体。
在电泳显示装置的制造方法中，把各色的电泳体材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出电泳体材料，在电极上的凹部中分别形成电泳体。须指出的是，由带电颗粒和染料构成的电泳体最好密封在微型容器中。
而本实施例的液滴喷出装置10也能应用于隔离块的形成方法、金属布线的形成方法、透镜的形成方法、抗蚀剂的形成方法和光扩散体的形成方法等中。
隔离块的形成方法是在两块基板之间形成用于构成微小的单元间隔的多个颗粒状的隔离块，使构成隔离块的颗粒材料分散到液体中，把调整为液态的材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出颗粒材料，至少在一方的基板上形成隔离块。例如，当构成所述的液晶显示装置和电泳显示装置的两块基板间的单元间隙时是有用的，当然也能应用于其他的需要此种微小间隙的半导体制造技术中。
在金属布线的形成方法中，向多个功能液滴喷出头7中导入液态金属材料，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出液态金属材料，在基板上形成金属部线。例如能应用于所述的液晶显示装置中的连接驱动器和各电极的金属布线、所述有机EL装置中的连接TFT等和各电极的金属布线。另外，当然除了这种平面显示器以外，也能应用于一般的半导体制造技术中。
在透镜的形成方法中，把透镜材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出透镜材料，在透明基板上形成多个微透镜。例如能应用于所述的FED装置的光束汇聚用的器件。另外，当然能应用于各种光器件中。
在抗蚀剂的形成方法中，把抗蚀剂材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出抗蚀剂材料，在基板上形成任意的形状的光致抗蚀剂。例如，所述的各种显示装置的隔栅的形成本来是在成为半导体制造技术的主体的光刻法中，能广泛应用于光致抗蚀剂的涂敷。
在光扩散体的形成方法中，是在基板上形成多个光扩散体的光扩散体的形成方法，把光扩散材料导入多个功能液滴喷出头7中，使多个功能液滴喷出头7进行主扫描和副扫描，有选择地喷出光扩散材料，形成多个光扩散体。这时，当然也能应用于各种光器件。
从以上的说明可知，根据本发明的对功能液滴喷出头的液体填充方法和喷出装置，使对功能液滴喷出头填充液体时的流速高速化，能高效地从喷出头内流路排除气泡，把液体的填充时的吸引次数抑制在最小限度，削减了液体消耗量，并且能提高作业效率，提高生产性。
而根据本发明的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法等的各种制造方法，能迅速并且顺利地对功能液滴喷出头进行功能液体的初始填充，能提高可靠性。
权利要求
1.一种喷出装置，具有对于工件相对移动的滑架，把具有设置在喷出头主体的喷嘴形成面上的喷嘴的功能液滴喷出头保持在所述滑架上，在该状态下，一边使滑架对于工件相对移动，一边从所述功能液滴喷出头的喷嘴向工件喷出液滴，其特征在于具有连接了所述功能液滴喷出头的供液容器和配置在远离工件的地方的盖子部件，在盖子部件中，与所述功能液滴喷出头对应而设置连接了吸引泵的盖子，在使所述滑架移动到面临所述盖子部件的位置的状态下，使所述盖子与所述功能液滴喷出头的所述喷嘴形成面紧贴，用通过所述盖子而作用的吸引力把连接在所述功能液滴喷出头上的供液容器的液体填充到所述喷出头内流路中；在所述功能液滴喷出头和所述供液容器之间的供液通路中设置开关阀，在向所述喷出头内流路的液体填充过程中保持基于所述盖子的吸引，暂时关闭所述开关阀。
2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于在所述盖子和所述吸引泵之间的吸引通路中设置液体传感器，在向所述喷出头内流路的液体的填充开始后，在由所述液体传感器检测到液体的时刻，进行所述开关阀的暂时关闭。
3.根据权利要求2所述的喷出装置，其特征在于所述滑架具有由子滑架和由搭载在该子滑架上的多个所述功能液滴喷出头构成的喷头部件，设置多个与所述喷头部件的多个功能液滴喷出头相对应的所述盖子；在分支连接所述各功能液滴喷出头的所述供液通路的各分支通路部分中分别设置所述开关阀，在分支连接所述各盖子的所述吸引通路的各分支通路部分中分别设置所述液体传感器，当用各液体传感器检测到液体时，使对应的各开关阀关闭。
4.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于在与所述滑架一体移动的部分上搭载所述开关阀。
5.一种液晶显示装置的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在滤色器的基板上形成滤色元件，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入滤色材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述滤色元件，形成所述滤色元件。
6.一种有机EL装置的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上的像素中形成EL发光层，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入发光材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述发光材料，形成所述EL发光层。
7.一种电子装置的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在电极上形成荧光体，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入荧光材料，使所述多个功能液滴喷出头对于所述电极相对扫描，有选择地喷出所述荧光材料，形成所述荧光体。
8.一种PDP装置的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在背面基板上的多个凹部中形成荧光体，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入荧光材料，使所述功能液滴喷出头对于所述背面基板相对扫描，有选择地喷出所述荧光材料，形成所述荧光体。
9.一种电泳显示装置的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在电极上的凹部形成电泳体，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入电泳体材料，使所述功能液滴喷出头对于电极相对扫描，有选择地喷出所述电泳体材料，形成所述电泳体。
10.一种滤色器的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，制造在基板上排列滤色元件而形成的滤色器，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入滤色材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述滤色材料，形成所述滤色元件。
11.根据权利要求10所述的滤色器的制造方法其特征在于形成了覆盖所述滤色元件的保护膜；在形成了所述滤色元件后，向所述功能液滴喷出头导入透光性的涂层材料；使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述涂层材料，形成所述保护膜。
12.一种有机EL的制造方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上排列形成包含EL发光层的像素，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入发光材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述发光材料，形成所述EL发光层。
13.根据权利要求12所述的有机EL的制造方法，其特征在于在所述EL发光层和所述基板之间，对应于所述EL发光层，形成了像素电极；向所述功能液滴喷出头导入液态电极材料；使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述液态电极材料，形成所述像素电极。
14.根据权利要求13所述的有机EL的制造方法，其特征在于覆盖所述EL发光层而形成了对置电极；在形成了所述EL发光层后，向所述功能液滴喷出头导入液态电极材料；使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述液态电极材料，形成所述对置电极。
15.一种隔离块的形成方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在两块基板间形成用于构成单元间隙的颗粒状的隔离块，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入颗粒材料，使所述功能液滴喷出头至少对于一方的所述基板相对扫描，有选择地喷出所述颗粒材料，在所述基板上形成所述隔离块。
16.一种金属布线的形成方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上形成金属部线，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入液态金属材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述液态金属材料，形成所述金属布线。
17.一种透镜的形成方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上形成显微透镜，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入透镜材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述透镜材料，形成所述显微透镜。
18.一种抗蚀剂的形成方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上形成任意形状的抗蚀剂，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入抗蚀剂材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述抗蚀剂材料，形成所述抗蚀剂。
19.一种光扩散体的形成方法，使用权利要求1所述的喷出装置，在基板上形成光扩散体，其特征在于向所述功能液滴喷出头导入光扩散材料，使所述功能液滴喷出头对于所述基板相对扫描，有选择地喷出所述光扩散材料，形成所述光扩散体。
全文摘要
本发明提供一种功能液滴喷出头的液体填充喷出装置，在该喷出装置中，设置开关阀(166)，并且在分别连接各盖子的吸引用的分支通路(216b)中设置液体传感器(217)。在填充液体时，在液体刚到达液体传感器(217)时，暂时关闭对应的开关阀(166)。使盖子部件(34)的多个盖子(212)与搭载在分别连接了各功能液滴喷出头(7)的供液用的分支通路(158b)中在头部件上的多个功能液滴喷出头(7)紧贴，由通过盖子作用的吸引泵(153)的吸引力，把供液容器(126)内的液体填充到液滴喷出头的喷出头内流路中，使填充时的流速高速化，能高效地从喷出头内流路排除气泡。
文档编号H05K3/10GK1689811SQ20051006966
公开日2005年11月2日 申请日期2003年3月19日 优先权日2002年3月19日
发明者中村真一 申请人:精工爱普生株式会社