专利名称：源材料蒸发器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体材料生长设备技术范畴，特别涉及一种多源 注入真空管式炉晶体生长装置。
技术背景纳米线、纳米薄膜可以通过多种方法合成，热蒸发法是最常用的 生长方法。常用的做法是，利用真空管式炉，把单源材料(如生长Zn晶体材料，则可用Zn粉为单源材料)，或混合的源材料(如生长 ZnMnO合金晶体材料，则把Zn粉和MnCl2粉混合在一起，则为混合 的源材料)放置在真空炉中的某一位置进行蒸发，蒸发出的材料原子 或原子团族在载气的输送下，在一定的金属催化剂作用下，按照VLS (vapor-liqiiid-solid)机制，经过气相沉积自组织过程形成一维纳米 线。热蒸发法具有设备简单、操作简便、使用费用低等优点，还具有 较高的沉积速度，较高的晶体质量等特点。但是这种方法也有其明显 的局限性。如，上述的热蒸发技术只可应用于元素，或均匀升华的化 合物，或者组分的蒸气压比较接近的那些材料。而不能应用于组分的 蒸气压具有很大差别的那些化合物的蒸发，因为比较容易挥发的组元 早在任何可观数量的另一组元输运到以前，就几乎可以全部蒸发掉， 在这种情况下，最终会使沉积膜分层，或在成分上出现梯度，即使能 达到稳态，其成分也会与初始原料有很大的差别。因此，目前的蒸发 管式炉技术不能有效解决这一问题。目前采用的连续投料瞬时蒸发技 术也不能有效解决这一问题。 发明内容本实用新型要解决的技术问题是:提供一种能控制源材料的蒸发 速率的源材料蒸发器，本实用新型设计合理、简便，工作可靠，配套
应用于管式炉的源材料蒸发。为解决上述技述问题，本实用新型是这样实现的它包括端盖(1) 、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6), 其特征是所述套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中，套筒(3) 的另一端连接有起密封作用的端盖(1),导线(2)穿过端盖(2)和 套筒(3)与蒸发套(5)内的电热丝(6)相连，所述导线(2)被密 封材料(4)密封在套筒(3)内，在所述蒸发套(5)上设有开口 (7)。所述套筒(3)上带有螺纹，端盖(1)通过螺纹与套筒(3)相连。所述密封材料(4)采用环氧树脂材料。 所述电热丝(6)材质为钨丝。 所述蒸发套(5)为石英材质制造。 本实用新的有益效果是本实用新型的有益效果是设计合理、结构简便、工作可靠、可 以实现对各源材料独立蒸发，分别控制各自源材料的蒸发速率，最终 提高传统管式炉生长材料的成分控制精度。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型包括端盖(1)、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、 蒸发套(5)、电热丝(6)。套筒(3)上带有螺纹，端盖(1)通过 螺纹与套筒(3)相连。导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)，导线(2) 与套筒(3)之间用绝缘材料填充；导线(2)与电热丝(6)相 连；蒸发套(5)插接在套筒(3)外面。导线(2)被密封材料(4) 密封在套筒(3)内并穿过套筒(3)并与电热丝(6)相连，密封要 求严密，不能有漏气现象，同时密封材料要具有绝缘性，密封材料(4)
采用环氧树脂材料；电热丝(6)材质为钩丝；在蒸发套(5)内对源 材料进行加热蒸发，蒸发套(5)为石英材质制造，另一端有一圆形 开口。
本实用新型属于真空管式炉配套装置，使用时整个系统在负压下 并通电工作，因此要求该装置具有密封性和绝缘性。 本实用新型工作过程如下
参见图1，工作时，将图1整体装于管式炉的端头上，并用密封 圈使其与管式炉的端头保持密封。导线2与电源线相连接，将要蒸发 的源材料(如Zn粉和MnCl2粉)分别置于蒸发套内，如把Zn粉置 于蒸发套内5内，将MnCl2粉置于另一蒸发套内，启动电源，通过调 节电源电流，使各蒸发套内形成不同的温度，使各源材料在不同的温 度下蒸发，即实现了分别控制各源材料的蒸发速率。
权利要求1、 一种源材料蒸发器，其特征是它包括端盖(1)、导线(2)、套 筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6),其特征是所述 套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中，套筒(3)的另一端连接 有起密封作用的端盖(1)，导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)与 蒸发套(5)内的电热丝(6)相连，所述导线(2)被密封材料(4) 密封在套筒(3)内，在所述蒸发套(5)上设有开口 (7)。
2、 根据权利要求1所述的源材料蒸发器，其特征是所述套筒(3) 上带有螺纹，端盖(1)通过蠊纹与套筒(3)相连。
3、 根据权利要求3所述的源材料蒸发器，其特征是所述密封材料 (4)采用环氧树脂材料。
4、 根据权利要求1所述的源材料蒸发器，其特征是所述电热丝(6) 材质为钨丝。
5、 根据权利要求1所述的源材料蒸发器，其特征是所述蒸发套(5) 为石英材质制造。
专利摘要本实用新型公开了一种源材料蒸发器，它包括端盖(1)、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6)，其特征是所述套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中，套筒(3)的另一端连接有起密封作用的端盖(1)，导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)与蒸发套(5)内的电热丝(6)相连，所述导线(2)被密封材料(4)密封在套筒(3)内，在所述蒸发套(5)上设有开口(7)。本实用新型设计合理、结构简便、工作可靠、可以实现对各源材料独立蒸发，分别控制各自源材料的蒸发速率，最终提高传统管式炉生长材料的成分控制精度。
文档编号C30B23/06GK201037164SQ200720031810
公开日2008年3月19日 申请日期2007年5月18日 优先权日2007年5月18日
发明者王发展 申请人:西安建筑科技大学