专利名称：一种多晶硅双硅芯拉制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅加工设备技术领域，涉及一种多晶硅双硅芯拉制 装置。
背景技术：
随着太阳能行业的蓬勃发展，多晶硅市场得以迅猛发展，国内外有实力 的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业，发展规模越来越大，硅芯炉是多 晶硅生产链条上的一个重要环节，需求也越来越大，因此，研发更新型、性 能更为卓越的硅芯设备具有重要意义。
现有的硅芯炉一炉次虽然可以拉制多根硅芯，但一次同时只能拉制一根 硅芯，随着多晶硅生产规模的扩大，硅芯炉需求数量增大，需要投入大量的 人力、物力及能源消耗，生产设备占用面积也越来越大，能源消耗已成为多 晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备效率，节能降耗，节约成 本方面考虑，很有必要研发产能更优的硅芯制备设备。 发明内容
本实用新型的目的是提供一种多晶硅双硅芯拉制装置，实现一次同时拉' 制两根硅芯，提高了生产效率，明显节能降耗，节省了人力、物力。
本实用新型所采用的技术方案是， 一种多晶硅双硅芯拉制装置，包括从 上到下依次设置的导向部分、籽晶夹持部分、双芯高频线圈部分及原料棒籽 晶夹持部分，所述导向部分与籽晶夹持部分连接，双芯高频线圈部分设置有 两个芯孔，原料棒籽晶夹持部分设置有两个原料棒，籽晶夹持部分夹持的两个籽晶分别与两个芯孔轴线以及两个原料棒轴线对正；所述籽晶夹持部分包 括两组同样结构的硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元又包括与连接座连接的 接头，接头与接套连接，接套伸进籽晶头座中并与籽晶头座同轴连接，伸进 籽晶头座的接套端头连接有一压母；籽晶头座与从另一端伸入籽晶头座中的 籽晶头通过锥面连接，籽晶头又同轴穿过支承头、夹头、夹爪，支承头与夹. 头连接，夹头内套装有夹爪。
本实用新型的多晶硅双硅芯拉制装置，其特征还在于
导向部分的结构是，包括在导向机头两侧各设置有两组导向滑套；导向 机头通过过渡轴与籽晶夹持部分的连接座连接。
双芯高频线圈部分设置有两组线圈单元，每组线圈单元包括聚流环的轴 心设置有芯孔，聚流环的外圈设置有感应铜管，感应铜管通过引出铜管与感 应圈座连接。 -
原料棒籽晶夹持部分设置有两组夹持单元，每组夹持单元包括在原料夹 头的下端安装有传动轴，在原料夹头的上端安装有原料棒。
连接座与过渡轴连接处设置有紧定螺钉b，过渡轴的端头上还设置有柱 头螺钉及垫圈。
籽晶头座与接套的套接处设置有紧定螺钉。
感应铜管与接地板连接。
原料夹头与传动轴之间通过紧钉螺钉c紧定。
原料夹头与原料棒之间通过柱头螺钉b紧定。
本实用新型的有益效果是，采用上述多晶硅双硅芯拉制装置， 一次同时 拉制两根硅芯，明显提高设备效率，节省人力、物力及能源。
图1是本实用新型的多晶硅双硅芯拉制装置总体结构示意图，图中，A 为导向部分、B为籽晶夹持部分、C为双芯高频线圈部分、D为原料棒籽晶
夹持部分；
图2是本实用新型装置中双硅芯拉制导向部分结构示意图； 图3是本实用新型装置中籽晶夹持部分结构示意图； 图4是本实用新型装置中双芯高频线圈部分结构示意图； 图5是本实用新型装置中原料棒籽晶夹持部分结构示意图。 图中，l.过渡轴，2.连接座，3.小圆螺母，4.导向机头，5.接头，6慕套， 7.紧定螺钉，8.压母，9.籽晶头座，IO.籽晶头，ll.支承头，12.夹头，13.夹爪， 14.紧定螺钉b， 15.垫圈，16.柱头螺钉，17.感应圈座，18.引出铜管，19.聚流 环，20.感应铜管，21.接地板，22.原料棒，23.柱头螺钉b， 24.原料夹头，25. 紧定螺钉c， 26.传动轴，27.芯孔，28.籽晶，29.导向滑套，30.导向钢丝。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。 如图l，本实用新型多晶硅双硅芯拉制装置包括四部分，即从上到下依 次设置的导向部分A、籽晶夹持部分B、双芯高频线圈部分C及原料棒籽晶 夹持部分D，导向部分A与籽晶夹持部分B连接，双芯高频线圈部分C设 置有两个芯孔27，原料棒籽晶夹持部分D设置有两个原料棒22，籽晶夹持 部分B夹持的两个籽晶(硅芯)28分别与两个芯孔27轴线以及两个原料棒 22轴线对正。
如图2、图3，本实用新型装置中导向部分A的结构是，在导向机头4 两侧各设置有两组导向滑套29，导向滑套29穿有导向钢丝30，保证双硅芯 导向机头4在拉制过程中沿导向钢丝30上下垂直滑动；导向机头4通过轴线上向下安装的过渡轴1与籽晶夹持部分B的连接座2连接。连接座2与过 渡轴l连接处设置有紧定螺钉b14，确保过渡轴l的周向固定，过渡轴l的 端头上还设置有柱头螺钉16及垫圈15，保证过渡轴1与连接座2的轴向固定。
如图3，本实用新型装置中籽晶夹持部分B的结构是，在连接座2上设 置有两组同样结构的硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元包括与连接座2连接 的接头5，接头5通过小圆螺母3固定在连接座2上；接头5与接套6连接，-接套6从上向下伸进籽晶头座9中并与籽晶头座9同轴连接，籽晶头座9与 接套6的套接处设置有紧定螺钉7，防止籽晶头座9与接套6固定松动，伸 进籽晶头座9的接套6端头连接有一压母8;籽晶头座9与从另一端伸入籽 晶头座9中的籽晶头IO通过锥面自动定心连接，籽晶头IO又同轴穿过支承 头ll、夹头12、夹爪13，支承头11与夹头12连接，可以方便的实现自动 抓取及卸放功能，夹头12内套装有夹爪13，籽晶头10分别与支承头11通 过螺纹拧紧，然后再将夹爪13装入夹头12内组装好，与支承头11通过螺-纹相连，籽晶籽晶28装入夹爪13内，通过拧紧夹头12固定好，两组硅芯 拉制单元分别独立安装在连接座2上，两组硅芯拉制单元的间距可调，连接 座2可绕过渡轴1旋转，保证两组籽晶28与双芯高频线圈部分C的芯孔27 对中，调整好后两组籽晶夹持部分与导向部分紧固。
如图4,本实用新型装置中双芯高频线圈部分C的结构是，双芯高频线 圈部分C为两环串联结构，设置有两组线圈单元，每组线圈单元包括聚流环 19的轴心设置有芯孔27，聚流环19的外圈设置有感应铜管20，感应铜管-20与两聚流环19焊接为一体，感应铜管20通过引出铜管18与感应圈座17 连接，感应铜管20与接地板21连接，其中的感应圈座17、引出铜管18、聚流环19、感应铜管20、接地板21依次焊接而成。感应圈座17上有螺钉. 孔与高频槽路相连，两个聚流环19上开有斜切口，引出铜管18与感应铜管 20通高频电流，铜管内部为冷却水。两环芯孔27的轴线、两个原料棒22 的轴线以及两组籽晶28的轴线各自对中。
如图5，本实用新型装置中原料棒籽晶夹持部分D的结构是，包括两组 夹持单元，每组夹持单元包括原料夹头24 (基座)，原料夹头24的下端安装 在传动轴26 (下轴)上，原料夹头24与传动轴26之间通过紧钉螺钉c25 紧定，原料夹头24的上端安装有原料棒22，原料夹头24与原料棒22通过 柱头螺钉b23调整夹紧，使得两根原料棒22与双芯线圈两个芯孔27以及两 组籽晶28同心。两个独立基座放置在两个独立的下轴上，两个原料棒22固 定在两个基座上，通过调整螺钉直接可以微调两个原料棒间距，使得原料棒 与线圈的两个中心以及两个籽晶中心对中。两根原料棒22可以在各自传动 轴26的传动下，独立作上下运动及旋转运动，以保持良好的熔区，从而同 时生长两根硅芯。
本实用新型的多晶硅双硅芯拉制装置，实现了一次能同时拉制两根硅 芯，在同等时间内硅芯炉的产能提高了一倍，使得在同等规模的多晶硅生产 产能，硅芯炉的设置数量明显减少，提高了生产率，节省人力、物力及能源， 从而大幅提升硅芯生长设备技术水平。
权利要求1、一种多晶硅双硅芯拉制装置，其特征在于包括从上到下依次设置的导向部分、籽晶夹持部分、双芯高频线圈部分及原料棒籽晶夹持部分，所述导向部分与籽晶夹持部分连接，双芯高频线圈部分设置有两个芯孔(27)，原料棒籽晶夹持部分设置有两个原料棒(22)，籽晶夹持部分夹持的两个籽晶(28)分别与两个芯孔(27)轴线以及两个原料棒(22)轴线对正；所述籽晶夹持部分包括两组同样结构的硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元又包括与连接座(2)连接的接头(5)，接头(5)与接套(6)连接，接套(6)伸进籽晶头座(9)中并与籽晶头座(9)同轴连接，伸进籽晶头座(9)的接套(6)端头连接有一压母(8)；籽晶头座(9)与从另一端伸入籽晶头座(9)中的籽晶头(10)通过锥面连接，籽晶头(10)又同轴穿过支承头(11)、夹头(12)、夹爪(13)，支承头(11)与夹头(12)连接，夹头(12)内套装有夹爪(13)。
2、 根据权利要求1所述的多晶硅双硅芯拉制装置，其特征在于所述 导向部分的结构是，包括在导向机头(4)两侧各设置有两组导向滑套(29); 导向机头(4)通过过渡轴(1)与籽晶夹持部分的连接座(2)连接。
3、 根据权利要求1所述的多晶硅双硅芯拉制装置，其特征在于所述 双芯高频线圈部分设置有两组线圈单元，每组线圈单元包括聚流环(19)的 轴心设置有芯孔(27)，聚流环(19)的外圈设置有感应铜管(20)，感应铜 管(20)通过引出铜管(18)与感应圈座(17)连接。
4、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述原 料棒籽晶夹持部分设置有两组夹持单元，每组夹持单元包括在原料夹头(24) 的下端安装有传动轴(26)，在原料夹头(24)的上端安装有原料棒(22)。
5、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述连 接座(2)与过渡轴(1)连接处设置有紧定螺钉b (14)，过渡轴(1)的端头上还设置有柱头螺钉(16)及垫圈(15)。
6、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述籽晶头座(9)与接套(6)的套接处设置有紧定螺钉(7)。
7、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述感应铜管(20)与接地板(21)连接。
8、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述原料夹头(24)与传动轴(26)之间通过紧钉螺钉c (25)紧定。
9、 根据权利要求1所述的多晶硅双头拉制装置，其特征在于所述原 料夹头(24)与原料棒(22)之间通过柱头螺钉b (23)紧定。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅双硅芯拉制装置，包括从上到下依次设置的导向部分、籽晶夹持部分、双芯高频线圈部分及原料棒籽晶夹持部分，导向部分与籽晶夹持部分连接，双芯高频线圈部分设置有两个芯孔，原料棒籽晶夹持部分设置有两个原料棒，籽晶夹持部分夹持的两个籽晶分别与两个芯孔轴线以及两个原料棒轴线对正；籽晶夹持部分设置有两组硅芯拉制单元，每组硅芯拉制单元包括依次连接的连接座、接头、接套、籽晶头座，籽晶头座与籽晶头通过锥面连接，籽晶头又同轴穿过支承头、夹头、夹爪；双芯高频线圈采用串联结构；两根原料棒固定在两个独立运动的传动轴上。本实用新型的硅芯炉装置一次能同时拉制两根硅芯，提高了效率，节省人力、物力及能源。
文档编号C30B28/10GK201317831SQ20082022848
公开日2009年9月30日 申请日期2008年12月26日 优先权日2008年12月26日
发明者凯 刘, 原洛渭, 宋艳玲, 王建春, 董淑梅, 袁文愈 申请人:西安理工晶体科技有限公司