一种单晶炉用钼籽晶体夹持器的制作方法

文档序号:8063370阅读:477来源:国知局
专利名称:一种单晶炉用钼籽晶体夹持器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及单晶炉的辅助设备,主要提出一种单晶炉用钼籽晶体夹持器。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将各种多晶硅材料熔融,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99. 9999%,甚至达到99. 9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶炉的钼籽晶体夹持机构在生产中起着重要作用,主要由钨丝绳1、钼重锤2、 钼籽晶体夹持器3、钼籽晶、钼籽晶体4组成,如图1所示。钨丝绳1与钼重锤2的顶部连接,钼重锤2的底部与钼籽晶体夹持器3的顶部螺纹连接,在钼籽晶体夹持器3内具有钼籽晶体4。目前的钼籽晶体夹持器多数采用整体式结构,如图2所示,所述钼籽晶体夹持器 3由两段不同直径的圆柱体构成;其中直径较小的圆柱体位于直径较大圆柱体的上部,且上部圆柱体具有用以与钼重锤螺纹连接的外螺纹;所述直径较大圆柱体的两端具有锥台; 在直径较大的圆柱体内具有用于设置钼籽晶体的盲孔,且直径较大的圆柱体上具有定位销孔,用于通过定位销固定钼籽晶体。由于在钼籽晶体的夹持过程经常产生磨损,由于钼籽晶体夹持器为整体式结构,更换时需要把钼籽晶体夹持器全部更换掉,造成浪费,且更换成本较高。

实用新型内容为解决以上问题,本实用新型的目的是提出一种单晶炉用钼籽晶体夹持器。本实用新型为完成上述发明任务采用如下技术方案一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,所述的钼籽晶体夹持器为组合式结构,由上夹头、 下夹头两部分组合构成;所述上夹头为上下两端具有锥台的圆柱体结构,上夹头的上端具有与钼重锤螺纹结合的螺栓I,下端具有与下夹头螺纹结合的螺栓II ;所述下夹头为上下两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头的上端面具有与上夹头上的螺栓II螺纹结合的螺纹孔;下夹头具有用于设置钼籽晶体的盲孔,在下夹头下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销。本实用新型提出的一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,采用上夹头与下夹头两部分螺纹结合构成的组合式结构,在下夹头磨损之后,可将其旋转拧下更换,而上夹头可循环使用,既节省了成本,又提高了钼籽晶体夹持器的使用寿命。

图1为现有技术中钼籽晶体夹持机构的结构示意图。[0011]图2为现有技术中钼籽晶体夹持器的结构示意图。图3为本实用新型的结构示意图。图中1、钨丝绳,2、钼重锤,3、钼籽晶体夹持器,4、钼籽晶体,5、上夹头,6、下夹头,7、螺栓I,8、螺栓II,9、定位销,10、盲孔。
具体实施方式
结合附图和具体实施例对本实用新型加以说明如图3所示,并结合图1,一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,所述的钼籽晶体夹持器由上夹头5、下夹头6两部分组合构成;所述上夹头5为上下两端具有锥台的圆柱体结构, 上夹头的上端具有用以与钼重锤2螺纹结合的螺栓I 7,下端具有与下夹头6螺纹结合的螺栓II 8 ;所述的下夹头6为上下两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头的上端面具有与上夹头5上的螺栓II 8螺纹结合的螺纹孔;下夹头6具有用于设置钼籽晶体4的盲孔10 ;在下夹头下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销9。
权利要求1. 一种单晶炉用钼籽晶体夹持器,其特征在于所述的钼籽晶体夹持器为组合式结构,由上夹头(5)、下夹头(6)两部分组合构成;所述上夹头(5)为上下两端具有锥台的圆柱体结构,上夹头(5)的上端具有与钼重锤螺纹结合的螺栓I (7),下端具有与下夹头(6)螺纹结合的螺栓II (8);所述下夹头(6)为上下两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头(6)的上端面具有与上夹头上的螺栓II (8)螺纹结合的螺纹孔;下夹头(6)具有用于设置钼籽晶体 (4)的盲孔(10),在下夹头下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销(9)。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉的辅助设备,提出的一种单晶炉用钼籽晶体夹持器由上夹头(5)、下夹头(6)两部分组合构成;上夹头(5)的本体为上下两端具有锥台的圆柱体结构,上夹头(5)本体的上端具有与钼重锤螺纹结合的螺栓Ⅰ(7),下端具有螺栓Ⅱ(8);下夹头(6)的本体为两端具有锥台的圆柱体结构,下夹头本体的上端面具有与上夹头上的螺栓Ⅱ(8)螺纹结合的螺纹孔;下夹头本体内具有用于设置钼籽晶体(4)的盲孔(10),在下夹头本体下端的一侧具有用于固定钼籽晶体的定位销(9)。本实用新型由上夹头与下夹头两部分组合构成,下夹头磨损之后可方便的更换,上夹头可循环使用,既节省了成本,又提高了钼籽晶体夹持器的使用寿命。
文档编号C30B15/32GK202272987SQ20112029435
公开日2012年6月13日 申请日期2011年8月15日 优先权日2011年8月15日
发明者万翔, 付卫红, 王健, 赵士刚, 赵文普 申请人:洛阳高新四丰电子材料有限公司
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