专利名称：一种直拉单晶直脚石墨加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石墨加热器技术领域，特别是涉及一种适用于所有型号直拉单晶炉用的石墨加热器。
背景技术：
随着绿色能源、可再生能源的发展，太阳能成为绿色、可再生能源的主流。世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”，一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临，太阳能级单晶硅产品也将因此炙手可热。硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。生产单晶硅的设备单晶炉的需求也是与日俱增，需求量巨大。石墨加热器是单晶炉的加热器装置，石墨加热器采用等静压石墨电热体，具有耐高温、容易加工，价格比钨、钼、钽便宜的优点。石墨加热器的电阻率虽比纯金属高，但是出于强度方面考虑，截面积作的不能太小，故整个石墨加热器的电阻很小，所以采用低电压，大电流的加热方式。石墨的性能差别很大，而总的电阻值又很小，因此常将石墨加热器进行再加工，以达到电阻要求。由于加热器采用大电流，低电压，电流密度大，因此需要采用开槽的方法既满足电阻的要求，同时满足强度和过载能力。通常石墨加热器为鸟笼状，侧面进行开槽，根据材料的电阻率进行计算得出合适的外径和开槽数量、槽宽，从而使电阻满足要求。石墨加热器的固定支撑是通过下面的两个支脚，如图1所示。两个支脚沿加热器壁向下延伸，并弯折成水平状，水平部分开有一个或多个固定孔。这种支脚浪费材料，同时弯折部分容易破损，减少加热器寿命。
发明内容本实用新型的目的在于改进现有石墨加热器的支脚结构，提高石墨材料的利用率，同时增加石墨加热器的强度。本实用新型一种直拉单晶直脚石墨加热器，包括圆形鸟笼状石墨加热装置，圆形壁上开有槽；以及支脚；其特征在于所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。其中，所述支脚外侧面及内侧面均加工出平面。其中，所述圆形壁上的开槽为偶数个，槽宽6_12mm。其中，所述支脚的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离。其中，所述支脚上开有一个或多个固定孔。其中，所述加热器支脚可以为2个或4个。本实用新型直脚石墨加热器的设计，有效的提高了材料的利用率，同时增加了石墨加热器的强度，延长了石墨加热器寿命。
图1为现有石墨加热器结构示意图；图2为本实用新型石墨加热器结构示意图；图3为本实用新型石墨加热器A-A剖视图；图4为本实用新型石墨加热器局部放大示意图。
具体实施方式
如图2-4所示，本实用新型石墨加热器包括石墨加热装置1，为圆形鸟笼状结构， 圆形壁上开槽2。槽2为偶数个，槽宽6-12mm。还包括支脚5，支脚5为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成，没有弯折部分，不容易损坏。支脚5外侧面及内侧面均加工出平面4，平面度0. Imm,粗糙度Ra3. 2 μ m以内，增加安装时接触的紧密性，从而避免接触不良造成的异常放电现象，从而降低了加热器脚部的损坏可能，提高加热器的寿命。支脚5的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离，且开有一个或多个固定孔3。支脚5可以为2个或4个。本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。
权利要求1.一种直拉单晶直脚石墨加热器，包括圆形鸟笼状石墨加热装置，圆形壁上开有槽； 以及支脚；其特征在于所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。
2.如权利要求1所述石墨加热器，其特征在于所述支脚外侧面及内侧面均加工出平
3.如权利要求1所述石墨加热器，其特征在于所述圆形壁上的开槽为偶数个，槽宽 6-12mmο
4.如权利要求1所述石墨加热器，其特征在于所述支脚的宽度小于同侧开槽面的两个槽之间距离。
5.如权利要求1所述石墨加热器，其特征在于所述支脚上开有一个或多个固定孔。
6.如权利要求1所述石墨加热器，其特征在于所述加热器支脚可以为2个或4个。
专利摘要本实用新型一种直拉单晶直脚石墨加热器，包括圆形鸟笼状石墨加热装置，圆形壁上开有槽；以及支脚；其特征在于所述支脚为圆形鸟笼状结构侧壁向下延伸形成的支脚。本实用新型直脚石墨加热器的设计，有效的提高了材料的利用率，同时增加了石墨加热器的强度，延长了石墨加热器寿命。
文档编号C30B15/14GK202202017SQ20112030521
公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日
发明者朱心怡, 詹国彬, 黄建明 申请人:上海东洋炭素有限公司