专利名称：多晶铸锭炉真空系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种真空抽气系统，具体涉及ー种应用于多晶硅铸锭生产过程的真空抽气系统。
背景技术：
针对多晶硅铸锭行业エ艺的特殊性，在开始炉子抽空阶段，要求能快速的抽到
0.SPa以下的压力，在熔解和冷却阶段需要充入氮气防止氧化，并保持炉内氮气压カ在 60000Pa，此时需要真空系统能长时间进行維持，目前，任何一种单ー类型的真空泵都无法同时满足这ーエ艺要求。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供ー种能够满足多晶硅铸锭行业生产エ艺特殊要求的真空抽气系统，该真空系统不仅能快速抽到0. SPa以下的压力，而且能长时间エ 作在60000Pa压カ下。为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为一种多晶铸锭炉真空系统，所述的多晶铸锭炉真空系统包含由罗茨真空泵和滑阀真空泵通过连接弯管直接连接而成的真空机组，所述滑阀真空泵的高缸的内部包含压カ控制器、第一电磁阀和第二电磁阀，所述弯管上设有检漏口和維持抽气ロ。作为本实用新型的较佳的实施例，所述滑阀真空泵排气口上设有油雾消除器。作为本实用新型的较佳的实施例，所述机组底部装有隔振垫。作为本实用新型的较佳的实施例，所述真空机组内设有用于冷却罗茨真空泵和滑阀真空泵的水冷机构。本实用新型具有下述优点本实用新型通过罗茨真空泵和滑阀真空泵组成的真空机组来实现多晶硅铸锭过程生产エ艺对真空系统的要求，具有结构紧凑、抽气能力强、振动小、使用寿命长的优点。而且本实用新型进ー步在排气口上设有油雾消除器，能够提高排出气体的质量，减轻对环境的污染，安全可靠性高。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实用新型实施例的主视结构示意图。图2为本实用新型实施例的侧视结构示意图。图3为本实用新型实施例的滑阀真空泵油润滑原理示意图。图例说明1、滑阀真空泵；2、罗茨真空泵；3、连接弯管；4、隔振垫；5、油雾消除器；11、油泵；12、电磁阀A ;13、电磁阀B ;14、电磁阀C ;15、压カ控制器；16、出水ロ ；17、电动机 A ;21、电动机B ;31、检漏ロ ；32、维持抽气ロ。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图I和图2所不，本实施例多晶铸淀炉真空系统是由滑阀真空栗I、罗茨真空栗
2、连接弯管3、隔振垫4、油雾消除器5连接组成的ー种真空机组。在多晶铸锭炉抽空阶段， 滑阀真空泵I由电动机17经V带驱动，罗茨真空泵2由电动机21经联轴器直接驱动，两台真空泵同时工作，气体由罗茨真空泵2进气ロ吸入，经过连接弯管3被滑阀真空泵I吸入， 然后再经油雾消除器5排到大气中。在熔解和冷却阶段，罗茨真空泵2停止运行，气体由连接弯管3上维持抽气ロ抽气，使多晶铸锭炉内压力保持在60000Pa，此时滑阀真空泵I高缸内部零件的润滑必须用油泵11来強制供油，如图3所示，供油控制由压カ控制器15和电磁阀A12、电磁阀B13来完成。本实施例的滑阀真空泵I的排气口上设有油雾消除器5。本实施例的设有用于冷却的水冷机构，水冷机构包括流经滑阀真空泵I、罗茨真空泵2的水管和设于滑阀真空泵I上的进水口、设于罗茨真空泵2上的出水ロ，此外滑阀真空泵I上的出水ロ 16通过水管连接罗茨真空泵2的进水口。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.多晶铸锭炉真空系统，其特征在于，所述的多晶铸锭炉真空系统包含由罗茨真空泵(2)和滑阀真空泵(I)通过连接弯管(3)直接连接而成的真空机组，所述滑阀真空泵(I)的高缸的内部包含压カ控制器(15)、第一电磁阀(12)和第二电磁阀(13)，所述弯管(3)上设有检漏ロ(31)和维持抽气ロ(32)。
2.根据权利要求I所述的多晶铸锭炉真空系统，其特征在于所述滑阀真空泵(I)排气口上设有油雾消除器(5)。
3.根据权利要求I所述的多晶铸锭炉真空系统，其特征在于所述机组底部装有隔振垫⑷。
4.根据权利要求I所述的多晶铸锭炉真空系统，其特征在于所述真空机组内设有用于冷却罗茨真空泵(2)和滑阀真空泵(I)的水冷机构。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶铸锭炉真空系统，所述的多晶铸锭炉真空系统包含由罗茨真空泵(2)和滑阀真空泵(1)通过连接弯管(3)直接连接而成的真空机组，所述滑阀真空泵(1)的高缸的内部包含压力控制器(15)、第一电磁阀(12)和第二电磁阀(13)，所述弯管(3)上设有检漏口(31)和维持抽气口(32)。既能快速抽到较低压力，也能长期工作在较高压力下，通过罗茨真空泵、滑阀真空泵和连接弯管组成的真空机组来实现，具有结构紧凑、抽气能力强、振动小、使用寿命长的优点。而且本实用新型进一步在排气口上设有油雾消除器，能够提高排出气体的质量，减轻对环境的污染，安全可靠性高。
文档编号C30B11/00GK202348615SQ20112046598
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月22日 优先权日2011年11月22日
发明者汪学鋆, 王国民 申请人:台州力鑫真空设备有限公司