一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统的制作方法

文档序号:8156277阅读:197来源:国知局
专利名称:一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统的制作方法
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计,尤其是一种坩埚装料系统。
背景技术
目前国内多数蓝宝石晶体生长炉采用上装料的方式,此装料方式需使用吊车将坩埚吊入晶体生长炉里面,然后用人工移动的方式来使坩埚置于晶体生长炉热场中心位置, 采用此种吊装方式,因晶体生长炉的发热体距坩埚的距离较近,操作人员劳动强度大,吊装位置不精准,极易造成晶体生长炉的损坏。为了克服上述缺点,有些厂家如美国TT公司采用下装料的方式进行蓝宝石晶体生长炉的设计,使用这种装料方式,操作人员需推动坩埚车将坩埚送入晶体生长炉下部,然后不断的移动坩埚车来调整坩埚的位置,以使坩埚处于热场的中心位置,其坩埚车极为笨重,坩埚在车上不易移动,使得操作人员劳动强度较大, 并且极易损坏发热体,隔热屏等部件。发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,解决晶体省生长炉系统易损坏的问题。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机和载物台升降变频电机,其特征在于,所述坩埚装料系统使用变频电机控制叉车主体带动载物台和坩埚的前后行进,手动控制叉车转向。
上述一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,其特征在于,所述坩埚装料系统使用载物台升降变频电机和导轨控制载物台及坩埚在坩埚车上的升降。
上述一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,其特征在于,所述坩埚装料系统使用载物台左右移动变频电机和导轨控制载物台及坩埚车的左右移动。
本发明的优点在于此种坩埚装料系统使用变频电机控制叉车行进,坩埚在坩埚车上的移动等操作,使得操作人员劳动强度大大降低,同时也大大降低了晶体生长炉系统的损坏的可能性。


下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。
图I是坩埚装料系统示意图。
图2是蓝宝石晶体生长炉示意图。
具体实施方式
图I和图2所示,蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,包括叉车行进变频电机6,叉车主体11,叉车载物台10,载物台坩埚承载爪9,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机8 和载物台升降变频电机7,坩埚装料系统使用变频电机控制叉车主体11带动载物台10和坩埚2的前后行进,通过人员操作手柄13手动控制叉车转向。坩埚装料系统使用载物台升降变频电机7和载物台移动导轨控制叉车载物台10及坩埚2在坩埚车上的升降。坩埚装料系统使用载物台左右移动变频电机8和载物台移动导轨控制叉车载物台10及坩埚车的左右移动。
坩埚装料系统装载过程为,将坩埚2放在坩埚车上的载物台坩埚承载爪9上,然后送入晶体生长炉I下部,通过控制坩埚车行进变频电机6和载物台左右移动变频电机8将坩埚2的位置调整到晶体生长炉I的热场的中心位置,然后控制载物台升降变频电机7将坩埚2放于坩埚支架3上,坩埚支架3为10根钨棒组成,钨棒一端支撑于下炉盖4上,一端支撑坩埚2,载物台坩埚承载爪9在往晶体生长炉I上装载坩埚2时,刚好置于坩埚支架3 的间隙中,此时放下坩埚2,退出坩埚车,利用晶体生长炉I下部的升降机构5升起坩埚2, 即完成装载。晶体生长炉I内的钨钥材料很脆,为防止坩埚车碰到坩埚支架3,下发热体14, 下隔热屏15等损坏晶体生长炉1,要求坩埚车的行进速率从0-100m/S无级可调,载物台升降速率从0-100m/S无级可调,载物台左右移动速率0-100m/S无级可调。并在载物台升降机构5上装有限位器12,防止载物台升降过度损坏下发热体14。
权利要求
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机和载物台升降变频电机,其特征在于,所述坩埚装料系统使用变频电机控制叉车主体带动载物台和坩埚的前后行进,手动控制叉车转向。
2.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,其特征在于,所述坩埚装料系统使用载物台升降变频电机和导轨控制载物台及坩埚在坩埚车上的升降。
3.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,其特征在于,所述坩埚装料系统使用载物台左右移动变频电机和导轨控制载物台及坩埚车的左右移动。
全文摘要
本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机和载物台升降变频电机。此种坩埚装料系统使用变频电机控制叉车行进,坩埚在坩埚车上的移动等操作,使得操作人员劳动强度大大降低,同时也大大降低了晶体生长炉系统的损坏的可能性。
文档编号C30B35/00GK102978704SQ20121056763
公开日2013年3月20日 申请日期2012年12月24日 优先权日2012年12月24日
发明者滑喜宝 申请人:苏州工业园区杰士通真空技术有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1