专利名称：部件安装机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种拾取通过晶圆托板提供的裸片安装到电路基板的部件安装机。
背景技术：
通过晶圆托板提供的裸片是将晶圆棋盘格状切割而形成的，粘贴到切割片上，因此从切割片拾取裸片时，需要从切割片剥离裸片。裸片的剥离方式包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献I (特开2010-129949号公报)所述，对从粘贴了棋盘格状切割的晶圆的可伸缩的切割片上的晶圆分割出的裸片，用吸嘴吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分，从其正下方用顶起筒顶起，将该裸片的粘贴部分从切割片部分剥离的同时，用吸嘴吸附该裸片而从切割片拾取。但是，当裸片为较薄易破裂的裸片时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本专利第3209736号公报)所述，具有拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸嘴(collet);具有片吸引孔的剥离台，通过吸嘴的垫片吸附保持切割片上的裸片的同时，使剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧的片吸引孔向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。并且，专利文献3 (日本特开平11-97489号公报)中，在I台装置上搭载2个头，通过一个头拾取切割片上的裸片并放置到定位台上，通过另一个头拾取定位台上的裸片安装到电路基板上。并且，专利文献4(日本特开2008-4810号公报)中，在部件安装线上排列裸片拾取装置和安装装置等多个工序装置，并且用穿梭机连接裸片拾取装置和安装装置之间，通过裸片拾取装置拾取切割片上的裸片并放置到穿梭机上，通过该穿梭机将裸片移送到安装装置，通过安装装置从穿梭机拾取裸片安装到电路基板。专利文献1:日本特开2010-129949号公报专利文献2 日本专利3209736号公报专利文献3 :日本特开平11-97489号公报专利文献4 :日本特开2008-4810号公报
发明内容一般情况下，从切割片剥离裸片并拾取的工序和将裸片安装到电路基板的工序相比耗费时间。为缩短裸片拾取工序的生产节拍，加速片剥离速度、缩短片剥离所需时间较为有效，尤其是在专利文献2所述的滑动剥离方式中，为了对于薄且易碎的裸片进行片剥离，当使剥离台的滑动速度加速时，薄裸片会破裂，或片剥离可能失败。因此，需要缓慢地滑动剥离台，片剥离所需时间变长，裸片拾取工序的生产节拍变长，结果使裸片安装工序的生产节拍也延长，无法满足较高生产性的要求。因此，本发明要解决的课题是，在通过I台部件安装机执行从切割片剥离裸片并拾取的工序、及将裸片安装到电路基板的工序的装置中，满足高生产性的要求。为解决上述课题，技术方案I涉及的发明一是种部件安装机，具有晶圆托板，安装有切割片，所述切割片粘贴有切割晶圆而形成的多个裸片；多个作业头；搬运电路基板的输送机，其特征在于，具有裸片移载台，可放置多个从上述切割片剥离的裸片，通过上述多个作业头中的任意一个作业头，拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移载台上，并且通过另一个作业头拾取上述裸片移载台上的裸片安装到电路基板上。在本发明中，具有可放置多个从切割片剥离的裸片的裸片移载台，因此在将裸片安装到电路基板的工序的等待时间中，可从切 割片剥离裸片并堆放到裸片移载台上。这样一来，在裸片安装工序中，可将裸片移载台上堆放的裸片高效地安装到电路基板上，能够尽量防止裸片安装工序的生产节拍因裸片拾取工序而被延长，满足高生产性的要求。此时，如技术方案2所示，多个作业头可分别执行下述动作中的任意一个拾取切割片上的裸片并放置到裸片移载台上的动作(裸片拾取工序)；拾取裸片移载台上的裸片安装到电路基板的动作(裸片安装工序)。这样一来，可使多个作业头高效工作，提高生产性。本发明中，在裸片拾取工序中，也可通过专利文献I等中记载的顶起剥离方式将裸片从切割片剥离，如技术方案3所示，可具有剥离台，该剥离台从切割片的下表面侧吸引要通过作业头拾取的裸片的粘贴部分，对该裸片的粘贴部分进行片剥离，通过作业头吸附保持切割片上的裸片，且使剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离。在该滑动剥离方式中，为防止薄裸片破裂等，需要缓慢地滑动剥离台，片剥离所需时间变长，因此裸片拾取工序的生产节拍变长，但在裸片安装工序的等待时间中，可从切割片剥离裸片并堆放到裸片移载台上，因此可尽量防止裸片安装工序的生产节拍因裸片拾取工序而被延长，满足高生产性的要求。并且，如技术方案4所示，可以将晶圆托板和其他部件供给单元(送带机、送盘机等)安装成能够装卸，通过多个作业头中的任意一个作业头拾取从其他部件供给单元提供的部件，安装到电路基板上。这样一来，可应对各种安装工艺。并且，如技术方案5所示，使多个作业头移动的多个机械手可以为使沿输送机的搬运方向移动的X轴通用化的构成。这样一来，可简化使多个作业头移动的多个机械手的构成，降低装置成本。
图1是表示本发明的一个实施例的部件安装机的外观透视图。图2是部件安装机的平面图。图3是晶圆托板的外观透视图。标号说明11......基台12......电路基板13......输送机14……晶圆托板15......晶圆托板安装台[0027]16……送料器安装台17......裸片18......切割片22、23......X-Y 机械手24,25……X滑动引导件(X轴)26、27......X 滑动件26a、27a......Y 滑动件28、29......作业头31......顶起单元32......裸片移载台
具体实施方式
以下参照图1至图3说明将实施本发明的方式具体化的一个实施例。在部件安装机的基台11上设置将电路基板12沿X方向搬运的输送机13 ;用于可更换地安装晶圆托板14(参照图3)的晶圆托板安装台15 ;用于可更换地设置其他部件供给单元(送带机、送盘机等)的送料器安装台16等。如图3所示，晶圆托板14的构成是将粘贴了棋盘格状切割的晶圆(多个裸片17)的可伸缩的切割片18，在扩展的状态下安装到具有圆形开口部的晶圆安装板19，将该晶圆安装板19通过螺钉21等安装到托板主体20。如图1及图2所示，部件安装机的基台11上设置2台X-Y机械手22、23。各X-Y机械手22、23共享在输送机13的搬运方向(X方向)延伸的2个X滑动引导件24、25 (X轴)，X滑动件26、27可沿X方向滑动地被该X滑动引导件24、25支持，Y滑动件26a、27a分别可沿Y方向滑动地被各X滑动件26、27支持，作业头28、29分别可装卸地安装到各Y滑动件26a、27a。各作业头28、29可与各种头(例如仅保持一个吸嘴的头，保持多个吸嘴的旋转头、分配用头、热压焊/超声波用的安装头等)进行更换。各作业头28、29上可搭载拍摄裸片17等部件的相机(未图示)。晶圆托板安装台15上设置顶起单元31 (参照图1)，在将该晶圆托板安装台15上安装的晶圆托板14的切割片18上的裸片用作业头28吸附并拾取时，将切割片18中的要吸附的裸片17的粘贴部分从其正下方用顶起单元31的顶起筒顶起，使该裸片17的粘贴部分从切割片18部分剥离的同时，用作业头28吸附该裸片21，从切割片18拾取。此外，也可替代顶起单元3 I采用以下构成设置以滑动剥离方式从切割片18剥离裸片17的剥离台。其中，剥离台从切割片18的下表面侧吸引要通过作业头28拾取的裸片17的粘贴部分而进行片剥离。在滑动剥离方式中，用作业头28吸附晶圆托板14的切割片18上的裸片21并拾取时，通过该作业头28吸附保持切割片18上的裸片17的同时，使剥离台从该裸片17的粘贴部分的近前侧向该裸片17的粘贴部分的正下方滑动，从而逐渐片剥离该裸片17的粘贴部分后，通过该作业头28拾取该裸片17。在部件安装机的基台11上的剩余空间中，设置可放置多个从切割片18剥离的裸片17的裸片移载台32。在部件安装机工作过程中，根据生产程序，反复进行通过一个作业头28拾取切割片18上的裸片17并放置到裸片移载台32上的动作，并且通过另一个作业头29拾取裸片移载台32上的裸片17，安装到电路基板12上。当裸片移载台32上放置的裸片17的个数变为规定个数以上时，目前为止作为剥离头使用的作业头28也可作为安装头使用，通过该作业头28拾取裸片移载台32上的裸片17，可安装到电路基板12上。并且，作为安装头使用的作业头29也可使用片剥离头使用。并且，送料器安装台16上安装了送带机、送盘机等部件供给单元时，根据生产程序，2个作业头28、29中的空闲的一个作业头可拾取从部件供给单元提供的部件，安装到电路基板12上。在以上说明的本实施例中，具有可放置多个从切割片18剥离的裸片17的裸片移载台32，因此在将裸片17安装到电路基板12的工序的等待时间中，可从切割片18剥离裸片17并堆放到裸片移载台32上。这样一来，在裸片安装工序中，可将裸片移载台32上堆放的裸片17高效地安装到电路基板12上，尽量防止裸片安装工序的生产节拍因裸片拾取工序而被延长，满足高生产性的要求。并且，在本实施例中，2个作业头28、29可分别执行下述动作中的任意一个拾取切割片18上的裸片17并放置到裸片移载台32上的动作(裸片拾取工序)；拾取裸片移载台32上的裸片17并安装到电路基板12的动作(裸片安装工序)，因此可使2个作业头28、29高效工作，提高生产性。进一步，在本实施例中，可安装晶圆托板14和其他部件供给单元(送带机、送盘机等)，通过2个作业头28、29的任意一个拾取从其他部件供给单元提供的部件并安装到电路基板12上，因此可对应多种安装工艺。并且，在本实施例中，移动2个作业头28、29的2台X-Y机械手22、23中，使沿输送机13的搬运方向移动的X滑动引导件24、25(X轴)通用，因此可简化移动2个作业头28、29的2台X-Y机械手22、23的构成，降低装置成本。而作为裸片17的片剥离方式使用滑动剥离方式时，为防止薄的裸片17破裂等，需要使剥离台缓慢地滑动，片剥离所需的时间变长，因此裸片拾取工序的生产节拍变长，但在本实施例中，在裸片安装工序的等待时间中，可从切割片18剥离裸片17并堆放到裸片移载台32上，因此可尽量防止裸片安装工序的生产节拍因裸片拾取工序而被延长，满足高生产性的要求。并且，本发明不限于上述实施例，例如也可是使作为片剥离头使用的一个作业头可上下反转，使该一个作业头在吸附了从切割片18剥离的裸片17的状态下上下反转，用另一个作业头吸附该裸片17，安装到电路基板12。此外，本发明中，作业头的个数(机械手数)不限于2个，也可是3个以上，并且也可适当变更输送机13、晶圆托板安装台15、送料器安装台16、裸片移载台32的位置等，在不脱离发明主旨的范围内可进行各种变更并实施。
权利要求1.一种部件安装机，具有晶圆托板，安装有切割片，所述切割片粘贴有切割晶圆而形成的多个裸片；多个作业头；搬运电路基板的输送机，其特征在于，具有裸片移载台，可放置多个从上述切割片剥离的裸片，通过上述多个作业头中的任意一个作业头，拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移载台上，并且通过另一个作业头拾取上述裸片移载台上的裸片安装到电路基板上。
2.根据权利要求1所述的部件安装机，其特征在于，上述多个作业头可分别执行下述动作中的任意一个拾取上述切割片上的裸片放置到上述裸片移载台上的动作；拾取上述裸片移载台上的裸片安装到电路基板上的动作。
3.根据权利要求1或2所述的部件安装机，其特征在于，具有剥离台，该剥离台从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述作业头拾取的裸片的粘贴部分，对该裸片的粘贴部分进行片剥离，通过上述作业头吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离。
4.根据权利要求1或2所述的部件安装机，其特征在于，上述晶圆托板和部件供给单元可装卸地被安装，通过上述多个作业头中的任意一个作业头拾取从上述部件供给单元提供的部件，安装到电路基板上。
5.根据权利要求1或2所述的部件安装机，其特征在于，移动上述多个作业头的多个机械手的沿上述输送机的搬运方向移动的X轴是通用的。
专利摘要在通过1台部件安装机执行从切割片剥离裸片并拾取的工序、及将裸片安装到电路基板的工序的装置中，提高生产性，在部件安装机的基台(11)上设置将电路基板(12)沿X方向搬运的输送机(13)；晶圆托板安装台(15)，用于可更换地设置晶圆托板；裸片移载台(32)，可放置多个从晶圆托板的切割片剥离的裸片；2台X-Y机械手(22、23)，在2台X-Y机械手(22、23)上分别安装作业头(28、29)，通过一个作业头(28)反复进行拾取晶圆托板的切割片上的裸片并放置到裸片移载台(32)的动作，并且通过另一个作业头(29)拾取裸片移载台(32)上的裸片安装到电路基板(12)上。
文档编号H05K3/30GK202841831SQ20122007578
公开日2013年3月27日 申请日期2012年3月2日 优先权日2011年3月3日
发明者岩城范明, 滨根刚 申请人:富士机械制造株式会社