一种晶体生长炉用发热装置及刚玉单晶生长炉的制作方法

文档序号:8168291阅读:341来源:国知局
专利名称:一种晶体生长炉用发热装置及刚玉单晶生长炉的制作方法
技术领域
—种晶体生长炉用发热装置及刚玉单晶生长炉技术领域[0001]本实用新型涉及一种晶体生长炉用发热装置,还涉及具有该发热装置的刚玉晶体生长炉。
背景技术
[0002]无色刚玉单晶广泛应用在光电子及微电子行业中,它具有优异的光学性能和物理强度,是国内外先进及科技领域中的基础材料,无色刚玉单晶熔点2050°C,对生长环境温度极为敏感,对环境内的保温材料及发热材料的几何形状有严格的限制,申请公布号为 CN102345161A申请公布日为2012. 02.08的中国专利申请文件公开了一种晶体生长炉的加热装置,加热器呈筒形,包括一端呈环形分布的多个电极、另一端的连接环,每个电极上均设有钨丝网,各钨丝网的另一端连接在连接环上,钨网由较细钨丝或钨棒编织而成,强度低,由于钨丝网,这种结构的发热装置容易变形、破损,变形、破损的钨丝网容易与其他钨丝网连电打火及缠绕,造成设备控制电路损坏,由于钨丝网与电极及连接环的连接方式为焊接,所以一旦有钨丝网变形或破损需要整体更换,成本高。发明内容[0003]本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉用发热装置,以解决现有技术中的发热装置容易变形、损坏且无法更换局部变形、损坏部件的问题,本实用新型还提供刚玉单晶生长炉。[0004]为了解决上述问题,本实用新型的一种晶体生长炉用发热装置,包括至少两个位于装置顶部的沿环形分布的电极,该装置还包括至少两个U型钨带,各所述U型钨带均包括两个连接臂,各所述U型钨带位于电极下方且各所述U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连于对应的所述电极上,固定在同一个所述电极上的各所述连接臂通过耐高温连接条固连成一个整体,所述耐高温连接条与对应的所述连接臂通过中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母的配合实现固连。[0005]所述的固定机构包括设于电极轴向端面上的供对应所述连接臂插入的插槽以及沿径向方向将所述连接臂顶紧在所述插槽槽壁以实现固定的耐高温不锈钢顶丝。[0006]所述固定机构包括端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽,所述端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0007]所述中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0008]所述耐高温连接条由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0009]刚玉单晶生长炉,包括一种晶体生长炉用发热装置,该装置包括至少两个位于装置顶部的沿环形分布的电极,该装置还包括至少两个U型钨带,各所述U型钨带均包括两个连接臂,各所述U型钨带位于电极下方且各所述U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连于对应的所述电极上,固定在同一个所述电极上的各所述连接臂通过耐高温连接条固连成一个整体,所述耐高温连接条与对应的所述连接臂通过中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母的配合实现固连。[0010]所述的固定机构包括设于电极轴向端面上的供对应所述连接臂插入的插槽以及沿径向方向将所述连接臂顶紧在所述插槽槽壁以实现固定的耐高温不锈钢顶丝。[0011]所述固定机构包括端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽,所述端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0012]所述中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0013]所述耐高温连接条由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。[0014]本实用新型,在U型钨带可拆卸固定在电极上,U型钨带的连接臂通过中部耐高温连接条通过螺栓和螺母固连成一个整体,牢固、稳定,各个原件之间不会产生相对移动的现象,发热装置不易发生变形、破损,使用寿命长,并且在发热装置产生变形破损后,可方便进行局部拆装,解决了现有技术中发热装置容易变形、损坏且无法更换局部变形、损坏部件的问题。


[0015]图I是本实用新型实施例中发热装置的结构示意图。
具体实施方式
[0016]
以下结合附图对本实用新型实施例做详细描述[0017]一种晶体生长炉用发热装置的实施例,如图I所示,该装置具有筒状外形,包括两个位于装置顶部的沿环形分布的电极1、7和六个U型钨带2,两个电极1、7凹部正对,电极可由T1、T2、TU2或TUl标号的紫铜材料制成(本实施例中电极由TUl标号的紫铜材料制成), 各U型钨带2均包括两个连接臂的以及与两连接臂同一端一体设置的连接部,各U型钨带 2位于电极下方的同侧且各U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连与对应的电极1、7上,为了提供均匀的加热环境,连接臂在对应的电极上均匀分布,固定机构包括设于电极1、7轴向端面上的供对应连接臂插入的插槽(图中未显示)以及沿电极1、7径向方向将连接臂顶紧在插槽槽壁上以实现固定的耐高温不锈钢顶丝4,不锈钢顶丝由304、361或 361L等型号的不锈钢制成,固定在同一个电极1、7上的各连接臂通过均通过两个耐高温连接条3固连成一个整体,两个电极1、7上的各连接臂上供使用四个耐高温连接条3,耐高温连接条由金属钨制成,耐高温连接条3与对应的连接臂通过中部耐高温螺栓5和中部耐高温螺母6的配合实现固连,中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母均由金属钨制成。[0018]在本实用新型的其他实施例中,与上述实施例不同的是,所述的固定机构包括端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽,该耐高温螺栓沿径向穿过所述电极和对应的所述连接臂并与螺帽旋紧配合实现连接臂在电极上的固定,所述端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成;在本实用新型的其他实施例中,与上述实施例不同的是,所述中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母还可以由金属钥或耐高温合金制成;在本实用新型的其他实施例中,与上述实施例不同的是,耐高温连接条可以根据需要在发热装置的两侧壁上对称设置6个、8个等,U型钨带也可以根据需要设置2个、8个、10个等等;在本实用新型的其他实施例中,与上述实施例不同的是,所述耐高温连接条由金属钥或耐高温合金制成,耐高温合金现有技术中有很多,比如耐高温合金钢,在此不一一列举。[0019]加热装置可使用直流电以及两、三相交流电,使用直流或两相交流电时,在U型钨带一个连接臂上的电极上接正电,在另一个连接臂上的电机上接负电;使用三相交流电时, 比如设置六个电极,分成三组分别连接A、B、C相,各U型钨带的连接部在装置底部的中心相交并电连接,从而实现运行期间无谐波无漂移,对电网零污染。[0020]本实用新型一种晶体生长炉用发热装置适用于18kg至300kg无色刚玉单晶体的制备,也可用于其他需要加热的晶体制备。[0021]刚玉单晶生长炉的实施例,如图I所示,包括一种晶体生长炉用发热装置,该发热装置与一种晶体生长炉用发热装置的实施例描述一致,在此不再重复描述。
权利要求1.一种晶体生长炉用发热装置,包括至少两个位于装置顶部的沿环形分布的电极,其特征在于该装置还包括至少两个U型钨带,各所述U型钨带均包括两个连接臂,各所述U型钨带位于电极下方且各所述U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连于对应的所述电极上,固定在同一个所述电极上的各所述连接臂通过耐高温连接条固连成ー个整体,所述耐高温连接条与对应的所述连接臂通过中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母的配合实现固连。
2.根据权利要求I所述的ー种晶体生长炉用发热装置,其特征在于所述的固定机构包括设于电极轴向端面上的供对应所述连接臂插入的插槽以及沿径向方向将所述连接臂顶紧在所述插槽槽壁以实现固定的耐高温不锈钢顶丝。
3.根据权利要求I所述的ー种晶体生长炉用发热装置,其特征在于所述固定机构包括端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽,所述端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
4.根据权利要求I或2或3所述的ー种晶体生长炉用发热装置,其特征在于所述中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
5.根据权利要求4所述的ー种晶体生长炉用发热装置,其特征在于所述耐高温连接条由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
6.刚玉单晶生长炉,包括一种晶体生长炉用发热装置,该装置包括至少两个位于装置顶部的沿环形分布的电极,其特征在于该装置还包括至少两个U型钨带,各所述U型钨带均包括两个连接臂,各所述U型钨带位于电极下方且各所述U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连于对应的所述电极上,固定在同一个所述电极上的各所述连接臂通过耐高温连接条固连成ー个整体,所述耐高温连接条与对应的所述连接臂通过中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母的配合实现固连。
7.根据权利要求6所述的刚玉单晶生长炉,其特征在于所述的固定机构包括设于电极轴向端面上的供对应所述连接臂插入的插槽以及沿径向方向将所述连接臂顶紧在所述插槽槽壁以实现固定的耐高温不锈钢顶丝。
8.根据权利要求6所述的刚玉单晶生长炉,其特征在于所述固定机构包括端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽,所述端部耐高温螺栓和端部耐高温螺帽均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
9.根据权利要求6或7或8所述的刚玉单晶生长炉,其特征在于所述中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母均由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
10.根据权利要求9所述的刚玉单晶生长炉,其特征在于所述耐高温连接条由金属钨或金属钥或耐高温合金制成。
专利摘要本实用新型涉及一种晶体生长炉用发热装置,包括至少两个位于装置顶部的沿环形分布的电极,还包括至少两个U型钨带,各U型钨带均包括两个连接臂,各U型钨带位于电极下方且各U型钨带的两个连接臂分别通过固定机构可拆卸固连于对应的电极上,固定在同一个电极上的各连接臂通过耐高温连接条固连成一个整体,耐高温连接条与对应的连接臂通过中部耐高温螺栓和中部耐高温螺母的配合实现固连;本实用新型还涉及刚玉单晶生长炉。本实用新型固连方式牢固、稳定,各个原件之间不会产生相对移动的现象,不易发生变形、破损,并且在发热装置产生变形破损后,可方便进行局部拆装,解决了现有技术中发热装置容易变形、损坏且无法更换局部变形、损坏部件的问题。
文档编号H05B3/00GK202809007SQ20122034305
公开日2013年3月20日 申请日期2012年7月16日 优先权日2012年7月16日
发明者张博, 赵东 申请人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司
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