专利名称：采用四面加热的多晶硅铸锭炉的制作方法
技术领域：
采用四面加热的多晶硅铸锭炉技术领域:本实用新型涉及多晶硅锭的制造装置，特别涉及一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。
背景技术：
:多晶硅铸锭炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备，而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的多晶硅铸锭炉其加热体设计、配置不合理，在实施实施单向凝固难以控制，同时增加铸锭成本。发明内容:鉴于此，有必要设计一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉。一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块；其中，炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口，炉盖位于炉体的下端，保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内，设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块，在导热块上设置有石英坩埚，石英坩埚内盛放硅料，在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板，坩埚护板外设置有加热器，加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上，在加热器的上端面连接有数根电极杆，电极杆的顶端固定在炉体顶端，加热器通过电极杆悬吊在炉体内。加热器包括:隔热板、固定夹、加热体；其中，三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体，每段加热体呈“W”型，四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本实用新型通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体，有效地增加了加热体的实际长度，并且将热源分布到石英坩埚的四个侧面，在加热温度梯度更加符合工艺要求的同时减少了能源消耗，并减少了定向结晶需要的时间。
:附图1是一较佳实施方式的采用四面加热的多晶硅铸锭炉的剖视图。附图2是一较佳实施方式的加热器的立体图。图中:炉体1、炉盖2、观察窗3、管路接口 4、吊杆5、保温桶6、保温底板7、支撑柱8、导热块9、加热器10、石英坩埚11、坩埚护板12、隔热板101、固定夹102、加热体10具体实施方式
:如图1所示，一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括:吊杆5、保温桶6、加热器10、炉体1、石英坩埚11、坩埚护板12、支撑柱8、观察窗3、管路接口 4、炉盖2、保温底板7、导热块9 ;其中，炉体I顶端设有观察窗3、炉体I的侧壁设有抽真空的管路接口 4，炉盖2位于炉体I的下端，保温桶6通过设置在其顶端的吊杆5悬空吊在炉体I内，设置在炉盖2上的支撑柱8穿过保温底板7连接导热块9，在导热块9上设置有石英坩埚11，石英坩埚11内盛放硅料，在石英坩埚11四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板12，坩埚护板外设置有加热器，加热器10罩在石英坩埚11及坩埚护板12上，在加热器10的上端面连接有数根电极杆，电极杆的顶端固定在炉体I顶端，加热器10通过电极杆悬吊在炉体I内。如图2所示，加热器10包括:隔热板101、固定夹102、加热体103 ;其中，三个固定夹102呈三角形坐落在隔热板101上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体103，每段加热体103呈“W”型，四段加热体103首尾相连形成中空的与石英坩埚11相配合的矩形。
权利要求1.一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括:吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块；其中，炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口，炉盖位于炉体的下端，保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内，设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块，在导热块上设置有石英坩埚，石英坩埚内盛放硅料，在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板，坩埚护板外设置有加热器，加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上，在加热器的上端面连接有数根电极杆，电极杆的顶端固定在炉体顶端，加热器通过电极杆悬吊在炉体内； 其特征在于:加热器包括:隔热板、固定夹、加热体；其中，三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体，每段加热体呈“W”型，四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。
专利摘要一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块；加热器包括隔热板、固定夹、加热体；其中，三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体，每段加热体呈“W”型，四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本实用新型通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体，有效地增加了加热体的实际长度，并且将热源分布到石英坩埚的四个侧面，在加热温度梯度更加符合工艺要求的同时减少了能源消耗。
文档编号C30B11/00GK202936507SQ20122049223
公开日2013年5月15日 申请日期2012年9月25日 优先权日2012年9月25日
发明者吴学军, 周凯平 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司