专利名称：一种区熔单晶炉的支撑机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及设备支撑机构领域，特别涉及一种区熔单晶炉的支撑机构。
背景技术：
区熔硅单晶由于其生产工艺特点，相对杂质含量低，成为制造功率器件的优选材料。随着现代电子技术的发展，小直径的硅单晶已经无法满足需要，而要生产大直径的硅单晶，区熔炉设备炉体各结构都根据需求变大变重，而且根据拉制大直径单晶硅的工艺需求，熔区稳定性要求变高，熔区与地面的减震也成了难以解决的问题。原来的区熔单晶炉多是炉体直接固定在炉体支架上，靠地基中的隔离带来减少外界震动对拉晶的影响，但是随着拉制单晶硅直径的逐渐增大，这种结构已无法满足拉制大直径单晶硅的工艺需求。
实用新型内容本实用新型的目的是解决区熔单晶炉的炉体支撑稳定性和对炉体减震的问题。为此，本实用新型提出了一种区熔单晶炉的支撑机构。
本实用新型提供的技术方案为一种区熔单晶炉的支撑机构，包括一对支撑构件，所述一对支撑构件分别设置于区熔单晶炉的两侧，且均与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接；机架，其设置于所述一对支撑构件的下方，支撑所述一对支撑构件，所述机架的下部具有四个支腿结构，且所述每个支腿结构均设置有减震器。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述机架设置于所述区熔单晶炉支架的上方，所述机架设置有一容纳所述区熔单晶炉的空间，其以以下方式设置所述机架的支腿结构位于所述区熔单晶炉支架的上方。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁之间为面接触。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件通过以下方式与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接，所述支撑构件与所述区熔单晶炉的表面接触的部位沿纵向设置两列螺栓，每一列螺栓还包括有多个螺栓，所述两列螺栓固定连接所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述机架包括有四个横梁和四个支腿结构，其中每两个支腿结构位于所述同侧横梁的下方，支撑所述横梁。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件呈规则的立体构型。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述各支撑构件设置于所述与其对应的横梁的一端，所述一对支撑构件之间形成容纳所述区熔单晶炉炉体的空间。优选的是，所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述减震器采用钢件加特殊橡胶材料制成。[0015]本实用新型所述的区熔单晶炉的支撑机构中，炉体的上炉室用两列高强度螺栓固定在一对支撑构件上，且所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁之间为面接触，有效接触面积大，增强了炉体的稳定性，减少了外界震动对熔区的影响。整个支撑机构靠四个减震器连接在炉体支架的上方，有利于保持设备稳定，减少在拉晶过程中的晶体熔区抖动，提闻了单晶成晶率。
图1为本实用新型所述的区熔单晶炉的支撑机构的剖面示意图；图2为本实用新型所述的区熔单晶炉的支撑机构的安装使用示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单的介绍。本实用新型提供了一种区熔单晶炉的支撑机构，包括一对支撑构件1，所述一对支撑构件分别设置于区熔单晶炉6的两侧，且均与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接；机架3，其设置于所述一对支撑构件的下方，支撑所述一对支撑构件，所述机架的下部具有四个支腿结构，且所述每个支腿结构均设置有减震器4。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述机架设置于所述区熔单晶炉支架7的上方，所述机架设置有一容纳所述区熔单晶炉的空间，其以以下方式设置所述机架的支腿结构位于所述区熔单晶炉支架的上方。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁之间为面接触。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件通过以下方式与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接，所述支撑构件与所述区熔单晶炉的表面接触的部位沿纵向设置两列螺栓2，每一列螺栓还包括有多个螺栓，所述两列螺栓固定连接所述支撑构件与所述区熔单晶炉的侧壁的上部。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述机架包括有四个横梁和四个支腿结构，其中每两个支腿结构位于所述同侧横梁的下方，支撑所述横梁。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述支撑构件呈规则的立体构型。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述各支撑构件设置于所述与其对应的横梁的一端，所述一对支撑构件之间形成容纳所述区熔单晶炉炉体的空间。所述的区熔单晶炉的支撑机构中，所述减震器采用钢件加特殊橡胶材料制成。本实用新型所述的区熔单晶炉的上炉室用两列高强度螺栓2固定在所述的一对支撑构件I上，支撑构件可设计为直角三角形、直角梯形或长方形等至少一个角为直角的规则立体构型，本实施例中优选为直角三角形，其他各部分依次连接上炉室。所述支撑构件通过螺钉5安装在机架3上，机架下面安装有减震器4，构成整个炉体支撑机构。所述支撑机构安装在炉体支架7上。所述四个减震器因采用特殊材料加工制作，可以承受整个炉体6的重量且具有较好的减震效果，所述减震器也可以根据实际需要设置为多个，当外界环境发生震动时，减震器可以起到缓冲甚至消除作用，有利于保持设备在拉晶过程中的稳定，增加了单晶的成晶率。 尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
权利要求1.一种区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，包括一对支撑构件，所述一对支撑构件分别设置于区熔单晶炉的两侧，且均与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接；机架，其设置于所述一对支撑构件的下方，支撑所述一对支撑构件，所述机架的下部具有四个支腿结构，且所述每个支腿结构均设置有减震器。
2.如权利要求1所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述机架设置于所述区熔单晶炉支架的上方，所述机架设置有一容纳所述区熔单晶炉的空间，其以以下方式设置 所述机架的支腿结构位于所述区熔单晶炉支架的上方。
3.如权利要求1所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁之间为面接触。
4.如权利要求3所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述支撑构件通过以下方式与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接，所述支撑构件与所述区熔单晶炉的表面接触的部位沿纵向设置两列螺栓，每一列螺栓还包括有多个螺栓，所述两列螺栓固定连接所述支撑构件与所述区熔单晶炉上部的侧壁。
5.如权利要求2所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述机架包括有四个横梁和四个支腿结构，其中每两个支腿结构位于所述同侧横梁的下方，支撑所述横梁。
6.如权利要求3或4所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述支撑构件呈规则的立体构型。
7.如权利要求5所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述各支撑构件设置于所述与其对应的横梁的一端，所述一对支撑构件之间形成容纳所述区熔单晶炉炉体的空间。
8.如权利要求1所述的区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，所述减震器采用钢件加特殊橡胶材料制成。
专利摘要本实用新型涉及设备支撑机构，特别涉及一种区熔单晶炉的支撑机构，其特征在于，包括一对支撑构件，所述一对支撑构件分别设置于区熔单晶炉的两侧，且均与所述区熔单晶炉上部的侧壁固定连接；机架，其设置于所述一对支撑构件的下方，支撑所述一对支撑构件，所述机架的下部具有四个支腿结构，且所述每个支腿结构均设置有减震器。本实用新型承受整个炉体设备的重量，安全，可靠，减震效果好，有效地减少了外界震动对熔区的影响，减少了拉晶过程中的晶体抖动，增加了单晶的成晶率。
文档编号C30B13/00GK202881436SQ20122050378
公开日2013年4月17日 申请日期2012年9月28日 优先权日2012年9月28日
发明者袁静, 李岩, 张继宏 申请人:北京京运通科技股份有限公司