专利名称：一种波纹石墨三瓣埚的制作方法
技术领域：
一种波纹石墨三瓣埚技术领域[0001]本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种波纹石墨三瓣埚。
背景技术：
[0002]石墨在现代科技工业中扮演着非常重要的角色，在半导体行业的CZ (CZOChralski)法直拉硅单晶工艺中更是不可缺少的材料。CZ单晶炉是一种半导体厂家生产直拉硅单晶的加热生成炉，是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备。[0003]其中，石墨埚是放置在单晶炉内盛放石英埚的器皿。在生产单晶硅的过程中，放置硅料的石英埚受热使硅料融化，而石英埚收到的热量是石墨三瓣埚从加热器处吸收到的热量，即石英埚通过石墨埚从加热器处吸收热量。[0004]目前，用于盛放石英埚的石墨埚是石墨三瓣埚，极大的方便了对石英埚的取放。传统地，在生产石墨三瓣埚时采用机加工，以提高石墨三瓣埚的生产效率。但是，机加工后的石墨三瓣埚的外表面较光滑，使得吸热面积只是石墨三瓣埚的光滑外表面，即受热面积有限，不利于快速达到熔料的温度。[0005]因此，如何提供一种石墨三瓣埚，增大外表面面积，以增大受热面积，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。实用新型内容[0006]本实用新型的目的是提供一种波纹石墨三瓣埚，增大外表面面积，以增大受热面积。[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案[0008]一种波纹石墨三瓣埚，包括三个可围成一个具有一个开口的石墨埚的埚体，其中， 三个所述埚体中至少有一个埚体的外表面设置有凸起或/和凹槽形成。[0009]优选地，上述的波纹石墨三瓣埚中，三个所述埚体的外表面均设置有所述凸起或凹槽。[0010]优选地，上述的波纹石墨三瓣埚中，所述凸起或凹槽均为多个，且均沿所述埚体的外表面纵向均匀分布。[0011]优选地，上述的波纹石墨三瓣埚中，所述凹槽或所述凸起的个数为26个。[0012]优选地，上述的波纹石墨三瓣埚中，所述凹槽为弧形凹槽。[0013]优选地，上述的波纹石墨三瓣埚中，所述凹槽的槽深为lmm-2mm。[0014]从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供了一种波纹石墨三瓣埚，包括三个可围成一个具有一个开口的石墨埚的埚体，其中，三个上述埚体中至少有一个埚体的外表面设置有凸起或/和凹槽。通过在埚体的外表面设置凸起或/和凹槽，可使得埚体的外表面与外界接触的表面积增大，即增加了埚体的受热面积，从而提高了埚体受热的速度，提高了吸热效率，进而在拉晶过程中极大的缩短了 化料时间，缩短了工艺周期。
[0015]图1为本实用新型实施例提供的波纹石墨三瓣埚的埚体的结构示意图。
具体实施方式
[0016]本实用新型核心是提供一种波纹石墨三瓣埚，增大外表面面积，以增大受热面积。[0017]为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。[0018]请参考图1，本实用新型公开了一种波纹石墨三瓣埚，包括三个可围成一个具有一个开口的石墨埚的埚体1，其中，三个埚体I中至少有一个埚体I的外表面设置有凸起或/ 和凹槽2。[0019]通过在埚体I的外表面设置凸起或/和凹槽2，可使得埚体I的外表面与外界接触的表面积增大，即增加了埚体I的受热面积，从而提高了埚体I受热的速度，提高了吸热效率，进而在拉晶过程中极大的缩短了化料时间，缩短了工艺周期。[0020]为了保证放置在波纹石墨三瓣埚内的石英埚的受热均匀，本实施例中将三个埚体 I的外表面均设置了凸起或/和凹槽2。本领域技术人员可以理解的是，在实际生产中，可根据不同的加工条件和成产成本选择不同的加工方法。优选地，在传统的石墨三瓣埚加工的基础上增加一道工序，即在外表面光滑的石墨三瓣埚的外表面通过齿轮铣刀，沿埚体I的纵向在其外表面铣出凹槽2。在不考虑成本的情况下，可通过浇筑的方式在埚体I的外表面设置凸起，然后再对埚体I进行进一步的加工。[0021]为了保证波纹石墨三瓣埚的硬度和进一步增大其受热面积，本实施例中，将凸起或凹槽2均设置为多个，且均沿埚体I的外表面均匀分布。在实际生产中，可只设置凸起或只设置凹槽2，或同时设置凹槽2和凸起，以进一步增大接触面积。在设置时，可横向设置也可纵向设置，本实施例不对具体的设置方向做限定，只要均匀布置即可。[0022]具体的实施例中，根据波纹石墨三瓣埚的埚体I的大小和熔料的时间，本实施例中将凹槽2或凸起设置为26个，且沿埚体I的纵向布置。本领域技术人员可以理解的是， 不同的熔料时间和不同大小的埚体I上设置的凹槽2或凸起的个数可相应的进行更改，且均在保护范围内。[0023]优选地，为了便于加工同时保证加工后的美观性，本实施例中将凹槽2设置为弧形凹槽，在操作过程中还可将凹槽2设置为方形槽。[0024]优选的实施例中，将凹槽2的槽深设置为l_2mm，具体地，可为1mm，操作时，先将原有的三瓣埚的壁厚上增加1mm，再按照传统的加工工艺加工出三瓣埚，最后采用齿轮铣刀， 在每个埚体I上均铣出Imm深的弧形凹槽。[0025]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。[0026]对所公开的实施例的上述说明，使本领域 专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。·
权利要求1.一种波纹石墨三瓣埚，包括三个可围成一个具有一个开口的石墨埚的埚体，其特征在于，三个所述埚体中至少有一个埚体的外表面设置有凸起或/和凹槽形成。
2.根据权利要求1所述的波纹石墨三瓣埚，其特征在于，三个所述埚体的外表面均设置有所述凸起或/和凹槽。
3.根据权利要求1所述的波纹石墨三瓣埚，其特征在于，所述凸起或凹槽均为多个，且均沿所述埚体的外表面均匀分布。
4.根据权利要求3所述的波纹石墨三瓣埚，其特征在于，所述凹槽或所述凸起的个数为26个。
5.根据权利要求
6.根据权利要求1所述的波纹石墨三瓣埚，其特征在于，所述凹槽为弧形凹槽。 5所述的波纹石墨三瓣埚，其特征在于，所述凹槽的槽深为
专利摘要本实用新型公开了一种波纹石墨三瓣埚，包括三个可围成一个具有一个开口的石墨埚的埚体，其中，三个上述埚体中至少有一个埚体的外表面设置有凸起或/和凹槽。通过在埚体的外表面设置凸起或/和凹槽，可使得埚体的外表面与外界接触的表面积增大，即增加了埚体的受热面积，从而提高了埚体受热的速度，提高了吸热效率，进而在拉晶过程中极大的缩短了化料时间，缩短了工艺周期。
文档编号C30B15/10GK202881444SQ20122057776
公开日2013年4月17日 申请日期2012年11月5日 优先权日2012年11月5日
发明者王保强, 李万富 申请人:英利能源(中国)有限公司