技术特征：
技术总结
本发明提供了能够不根据针对靶材的电子束的焦点直径而可靠地减小X射线焦点直径的X射线发生装置。在由靶材(2)和X射线照射窗(1)构成的靶材层叠结构体(3)的电子束(B)的照射区域内，设置有朝向电子束(B)的照射方向的X射线吸收率局部地低的X射线低吸收率部位(3a)，由此抑制通过将电子束(B)照射到靶材(2)上而产生的X射线中的、来自X射线低吸收率部位(3a)以外的部位的X射线向外部辐射，并与电子束(B)的照射区域的大小无关地获得与X射线低吸收率部位(3a)的大小相应的大小的X射线焦点。
技术研发人员：宫冈明宽
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2015.02.05
技术公布日：2017.09.26