技术总结
本实用新型公开了一种上下镀膜旋转靶机，包括一组单靶靶机和一组双靶靶机，所述单靶靶机和双靶靶机均包括靶机装配座、腔体、基板、传输轮和下腔体盖板组成，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述单靶靶机腔体内上下各设有一支靶材背管，所述双靶靶机腔体内上下各设有两支靶材背管，每一支靶材背管对应装配一底座模块，所述底座模块内分别设有独立的冷却水路模块、传动模块及靶材背管连接固定座模块。本实用新型实现正面镀、背面镀或一次性双面同时镀膜运用需求，安装简便维修快速，共享性设计可充分满足使用者对多变的市场需求一机多用、多样且弹性的共享性装配，大大的降低了设备的占地面积、人员成本、设备成本及生产成本。
技术研发人员：林朝晖;张建德;张延任;王俊尧;王树林
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2018.04.12
技术公布日：2018.11.20