一种基于自生长电镀的实心微针制备方法与流程

文档序号:11094819阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于自生长电镀的实心微针制备方法,其特征在于,所述方法包括:

步骤1、硅片单面溅射铬铜种子层;

步骤2、将光刻胶旋涂于硅片的铬铜种子层上;

步骤3、用特定形状的掩膜图形化光刻胶,得到有间隔的电镀微方块及针尖块;

所述的针尖块为尖锐的三角形块或锥形块;

步骤4、电镀,使得绝缘断开的每个微方块及针尖块连接为一体,得到具有尖锐针尖的实心微针;

步骤5、去掉硅基底及种子层微方块,释放得到尖锐的实心微针。

2.根据权利1所述的一种基于自生长电镀的实心微针制备方法,其特征在于:所述步骤3中的特定形状为方形、圆形或梯形。

3.根据权利1所述的一种基于自生长电镀的实心微针制备方法,其特征在于:所述步骤3中的间隔是指相邻两个微方块的边缘间距从10~100um变化。

4.根据权利1所述的一种基于自生长电镀的实心微针制备方法,其特征在于:所述步骤3中的针尖块为尖锐的三角形块或锥形块。

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