盖、气室、气室的密封方法、盖的制造方法及盖阵列基板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及盖、盖阵列基板、盖的制造方法、具有盖的气室以及利用盖进行密封的气室的密封方法。
【背景技术】
[0002]以往，作为用作检测从生物体的心脏等发出的磁场的生物体磁测定装置等的器件，已知有光栗浦式的磁传感器。在该磁传感器中使用封入了碱金属气体的气室。为了在气室中封入碱金属气体，例如，需要在从设置于气室的规定的开口部填充了碱金属气体后对开口部进行密封。密封有各种方法，在专利文献1中记载有如下的方法，即、在由玻璃构成的圆柱状孔中穿过玻璃管，并在圆柱状孔的端部以环状涂敷了液态的玻璃料密封材料后进行熔融密封。在专利文献2中记载有如下的方法，S卩、在由玻璃构成的细管中穿过了电流供给体的状态下，使固体的环状玻璃料密封材料与细管端部接触，并使环状玻璃料密封材料加热熔融，由此使其浸入至细管与电流供给体的间隙。另外，在专利文献3中记载有用于在使用密封材料来密封气室的工序中，减少由密封材料的收缩引起的裂缝的产生的方法。
[0003]专利文献1:日本特开2000 - 203891号公报
[0004]专利文献2:日本特开2007 - 329140号公报
[0005]专利文献3:日本特开2013 — 172811号公报
[0006]然而，上述方法均是具有多个工序的方法，寻求一种更简单的方法。例如，作为气室的密封方法，有用盖来密封设置于气室的孔的方法。在密封该气室的工序中，存在产生盖相对于气室主体的位置偏移的情况。在专利文献1至3所记载的技术中，虽然裂缝的产生得到减少，但不能够减少盖的位置偏移的产生。
【发明内容】
[0007]本发明是为了解决上述的问题等的至少一个而完成的，例如能够采取以下的应用例。
[0008]应用例1
[0009]本发明所涉及的一个盖的特征在于，包括盖基板和突起部，上述突起部被配置于上述盖基板的第一面，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，在上述第一面的上述突起部的外侧的区域设置有第一密封材料。
[0010]根据该结构，在堵塞具有规定的开口部的构造物的该开口部的情况下，通过将突起部插入至该规定的开口部来进行定位，并使用第一密封材料与该构造物接合，从而能够将盖相对于该构造物放置在准确的位置，能够可靠地堵塞该规定的开口部。
[0011]应用例2
[0012]优选在上述的一个盖中，上述突起部通过第二密封材料与上述第一面接合。
[0013]根据该结构，将突起部通过第二密封材料与第一面接合，从而能够在分别准备了盖基板和突起部之后接合而构成。由此，能够使突起部的形状相对于使用该突起部的构造物的开口部适当，或使用不同的材质而构成。
[0014]应用例3
[0015]优选在上述的一个盖中，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，上述第一密封材料以包围上述突起部的形状被连续地设置。
[0016]根据该结构，在俯视时第一密封材料被连续地设置于突起部的周围，从而能够更加可靠地堵塞开口部。
[0017]应用例4
[0018]优选在上述的一个盖中，上述第一密封材料是玻璃料。
[0019]根据该结构，通过使用玻璃料，能够使盖基板的制造变得容易。另外，也容易使玻璃料的材质与突起部的材质等匹配。
[0020]应用例5
[0021]优选在上述的一个盖中，上述第一面的设置上述第一密封材料的区域是梨皮面。
[0022]根据该结构，通过设为梨皮面，能够使使用玻璃料的接合更加稳固。
[0023]应用例6
[0024]优选在上述的一个盖中，上述第二密封材料是玻璃料。
[0025]根据该结构，通过使用玻璃料，能够使盖基板的制造变得容易。另外，也容易使玻璃料的材质与具有规定的开口部的构造体的材质等匹配。
[0026]应用例7
[0027]优选在上述的一个盖中，上述第一面的设置上述第二密封材料的区域是梨皮面。
[0028]根据该结构，通过设为梨皮面，能够使使用玻璃料的接合更加稳固。
[0029]应用例8
[0030]优选在上述的一个盖中，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，由与上述第一面和上述突起部的切面平行的面截取的上述突起部的剖面积在上述突起部的上述第一面的相反的一侧的前端以外的部分为最大。
[0031]根据该构造，突起部的剖面积在前端部分以外的部分为最大，从而容易地将突起部的前端插入至构造物的规定的开口部。另外，能够使前端部以外的突起部的剖面积为最大的位置任意，从而能够将突起部的形状设为适合于构造物的形状的形状。
[0032]应用例9
[0033]优选在上述的一个盖中，上述突起部是球体。
[0034]根据该结构，由于突起部为球体，由此在将突起部与第一面接合时无需考虑突起部的方向，容易处理。
[0035]应用例10
[0036]本发明所涉及的一个气室的特征在于，该气室是开口部被密封的气室，上述开口部被上述的一个盖密封，上述突起部进入上述开口部内，并通过上述第一密封材料将上述盖基板固定于上述气室。
[0037]根据该构造，能够以适当的形式堵塞气室的开口部。
[0038]应用例11
[0039]本发明所涉及的一个气室的密封方法的特征在于，气室具有开口部，通过将上述的一个盖基板的上述突起部插入至上述开口部的内部来进行固定上述盖的定位。
[0040]根据该方法，能够使用该盖适当地密封气室的开口部。
[0041]应用例12
[0042]本发明所涉及的一个盖的制造方法的特征在于，该盖的制造方法是密封规定的开口部的盖的制造方法，包括:在一个基板的多个区域的每一个与上述规定的开口部匹配地设置第一密封材料的第一密封材料设置工序；使用第二密封材料使突起部与上述多个区域的每一个接合的突起部接合工序；以及对上述基板分别分割上述多个区域的每一个的切割工序，在俯视上述多个区域的每一个时，设置上述第一密封材料的区域是在接合了上述突起部时与上述突起物重叠的区域的外侧的区域。
[0043]根据该方法，能够容易地制造具有突起部的多个盖。
[0044]应用例13
[0045]优选在上述的一个盖的制造方法中，上述第一密封材料以及上述第二密封材料分别是玻璃料。
[0046]根据该方法，能够容易地构成第一密封材料以及第二密封材料。
[0047]应用例14
[0048]优选在上述的一个盖的制造方法中，还包括:将上述第一基板的表面的设置上述第一密封材料的区域加工成梨皮面的工序；以及将上述第一基板的表面的设置上述第二密封材料的区域加工成梨皮面的工序。
[0049]根据该方法，能够使使用第一密封材料以及第二密封材料的针对规定的构造物的密封更加可靠。
[0050]应用例15
[0051]优选在上述的一个盖的制造方法中，上述突起部是球体。
[0052]根据该方法，由于突起部是球体，所以在制造工序中无需考虑突起部的方向，所以制造变得容易。
[0053]应用例16
[0054]优选在上述的一个盖的制造方法中，在上述突起部接合工序之后进行上述切割工序。
[0055]根据该方法，能够容易地进行多个突起部的设置。
[0056]应用例17
[0057]本发明所涉及的一个盖阵列基板的特征在于，该盖阵列基板是在上述的一个盖的制造方法中在上述突起部接合工序之后的上述一个基板。
[0058]根据该结构，能够在突起部接合工序之后，成为具有突起部的功能的盖阵列基板。
【附图说明】
[0059]图1是表示磁测定装置的结构的框图。
[0060]图2是气室阵列的外观图。
[0061]图3是气室的剖视图。
[0062]图4是表不气室的制造工序的流程图。
[0063]图5是玻璃球的定位夹具的俯视图。
[0064]图6是固定有玻璃球的盖阵列基板的侧视图。
[0065]图7是固定有玻璃球的盖阵列基板的立体图。
[0066]图8是固定有玻璃球的盖阵列基板的俯视图。
[0067]图9是切割后的盖基板的外观图。
[0068]图10是表示通过玻璃球微调盖的位置的状态的图。
【具体实施方式】
[0069]以下，使用附图对本发明所涉及的实施方式进行说明。另外，说明中所使用的图是便于说明的图，例如图中所记载的构成物的各个构成要素的大小的比率并不限于图中所示的比率。
[0070](第一实施方式)
[0071]本实施方式是将本发明所涉及的盖用于磁测定装置的密封的例子。
[0072]1.磁测定装置的结构
[0073]图1是表示磁测定装置1的结构的简要框图。磁测定装置1是测定从心脏产生的磁