可搬运型的放射线图像检测装置的制造方法_3

文档序号:9570163阅读:来源:国知局
管(TFT) 60。
[0058]光电二极管59具有如下构造:产生电荷的半导体层(比如,PIN型)以及配置于其上下的上部电极和下部电极。在光电二极管59的下部电极上连接有TFT60,偏压(bias)线61连接于上部电极。设有摄像区域56内的像素55的行数的量(η行的量)的偏压线61。这些偏压线61扎成扎束线62。扎束线62与偏压电源63连接。通过扎束线62、偏压线61,从偏压电源63对光电二极管59的上部电极施加偏置电压Vb。由于偏置电压Vb的施加,在半导体层内部产生电场,通过光电变换而在半导体层内部产生的电荷(电子一空穴对)移动到一个具有正极性、另一个具有负极性的上部电极和下部电极,电荷蓄积于电容器中。
[0059]TFT60的栅电极与扫描线64连接,源电极与信号线65连接,漏电极与光电二极管59连接。扫描线64和信号线65呈格子状布线,配置有摄像区域56内的像素55的行数的量(η行的量)的扫描线64,配置有像素55的列数的量(m列的量)的信号线65。扫描线64与门驱动器57连接,信号线65与信号处理电路58连接。
[0060]门驱动器57通过驱动TFT60,进行将与X射线的入射量相对应的信号电荷蓄积于像素55中的蓄积动作、从像素55读取信号电荷的读取(主读取)动作、以及复位(空读)动作。控制电路52控制由门驱动器57执行的上述各动作的开始定时。
[0061]在蓄积动作中,TFT60处于截止状态,在此期间,信号电荷蓄积于像素55中。在读取动作中,从门驱动器57依次产生一齐驱动同一行的TFT60的门脉冲G1?Gn,逐行依次对扫描线64进行激活。与经过激活的扫描线64连接的1行的TFT60处于导通状态。当TFT60处于导通状态时,蓄积于像素55的电容器中的电荷被信号线65读取,发送给信号处理电路58。
[0062]在光电二极管59的半导体层中,与X射线有无射入无关地,产生暗电荷并将该暗电荷蓄积于电容器中。在像素55中产生的暗电荷对于图像数据而言为噪音成分,因此,为了去除它而进行复位动作。复位动作为通过信号线65去除像素55中产生的暗电荷的动作。
[0063]复位动作比如以逐行对像素55进行复位的依次复位方式进行复位。在依次复位方式中,与信号电荷的读取动作相同,从门驱动器57对扫描线64依次产生门脉冲G1?Gn,逐行使像素55的TFT60处于导通状态。在TFT60处于导通状态的期间,暗电荷从像素55通过信号线65流到积分放大器66。在复位动作中,不同于读取动作,多路器(multiplexer)(MUX)67不进行蓄积于积分放大器66中的电荷的读取,而与各门脉冲G1?Gn的发生同步地,从控制电路52输出复位脉冲RST,对积分放大器66进行复位。
[0064]也可代替依次复位方式,而采用并列复位方式,在该并列复位方式中,使排列像素的多行为一组,在该组内进行依次复位,而同时去除组数行的暗电荷,或者,也可以采用全像素复位方式,在该全像素复位方式中,对全部行输入门脉冲,而同时去除全部像素的暗电荷。并列复位方式和全像素复位方式可使复位动作高速化。
[0065]信号处理电路58包括积分放大器66、MUX67、以及A/D变换器68等。积分放大器66分别与各信号线65连接。积分放大器66由运算放大器和连接于运算放大器的输入输出端子之间的电容器构成,信号线65连接于运算放大器的一个输入端子。积分放大器66中的另一个输入端子与地(GND)连接。积分放大器66对从信号线65输入的电荷进行积分计算,将其转换为电压信号D1?Dm而输出。在各列的积分放大器66的输出端子上,经由放大器70和采样保持(S/Η)部71,连接有MUX67。在MUX67的输出侧,连接有A/D变换器68。
[0066]MUX67从并行连接的多个积分放大器66中依次选择1个积分放大器66。从所选择的积分放大器66输出的电压信号D1?Dm被串行输入A/D变换器68。A/D变换器68将已输入的电压信号D1?Dm转换为数字数据,输出给内置于电子盒21的框体29中的存储器53。另外,也可在MUX67和A/D变换器68之间连接放大器。
[0067]当由MUX67从积分放大器66读取1行电压信号D1?Dm时,控制电路52将复位脉冲RST输出给积分放大器66,使积分放大器66的复位开关66a导通。由此,对蓄积于积分放大器66中的1行信号电荷进行复位。当对积分放大器66进行复位时,从门驱动器57输出下一行门脉冲,开始下一行的像素55的信号电荷的读取。依次反复这些动作,读取全部行的像素55的信号电荷。
[0068]当全部行的读取完成时,表示1个画面的X射线图像的图像数据被记录于存储器53中。该图像数据从存储器53中读取,通过通信部51,输出给拍摄控制装置23。如此检测被检体Η的X射线图像。
[0069]在FPD54反复进行复位动作的同时,由照射检测传感器25检测X射线的照射开始。当由照射检测传感器25检测到X射线的照射开始时,控制电路52使FPD54的动作从复位动作转入蓄积动作。控制电路52利用计时器对从开始蓄积动作起的经过时间进行计时。接着,在经过时间到达根据拍摄条件而设定的时间时,使FPD54从蓄积动作转入读取动作。
[0070]下面对上述方案的作用进行说明。在利用X射线拍摄系统10进行拍摄的情况下,首先,调节设置于拍摄台22的电子盒21的高度,使其位置对准被检体Η的拍摄部位。另外,对应于电子盒21的高度和拍摄部位的大小,调节X射线源13的高度和照射视野的大小。在位置调整后,接通电子盒21的电源。接着,从操纵台24输入拍摄条件,借助拍摄控制装置23对电子盒21设定拍摄条件。另外,还对X射线控制装置14设定拍摄条件。
[0071]在拍摄准备结束后,由放射线医师将照射开始开关15按压到第1级。由此,将准备开始信号发送给射线源控制装置14,开始X射线源13的准备。当在准备后将照射开始开关15按压到第2级时,射线源控制装置14使X射线源13动作,开始X射线的照射。
[0072]FPD54在周期性地进行复位动作的同时,利用照射检测传感器25检测X射线的照射是否已开始。如果检测到X射线的照射开始,则控制电路52使全部的TFT60处于截止状态,转入蓄积动作。在经过了按照拍摄条件设定的照射时间时,射线源控制装置14停止X射线的照射。另外,FPD54也在经过了相当于按照拍摄条件设定的照射时间的规定时间后,结束蓄积动作而转入读取动作。在读取动作中,从最开始的行起依次逐行读取蓄积于像素55中的信号电荷,将其作为一个画面的X射线图像数据记录于存储器53中。FPD54在读取动作后,再次开始复位动作。
[0073]存储器53的图像数据通过通信部51以有线或无线方式发送给拍摄控制装置23,并且从拍摄控制装置23发送给操纵台24。在操纵台24对图像数据进行偏移校正、增益校正等各种图像处理后,将其显示于操纵台24的显示器24a和/或存储于数据存储设备中。
[0074]电子盒21可任意地选择电池驱动和缆线驱动。比如,通常进行电池驱动,在电池31的电力耗尽时,可切换到缆线驱动。在该缆线驱动中,将复合缆线26的连接器35插入插座34。比如,在设置于立位拍摄台22上的电子盒21上连接复合缆线26的情况下,复合缆线26置于拍摄室的地板上,或绕挂在拍摄室顶部的布线电缆沟上,由此,改变复合缆线26的伸出方向。前者可在地板侧伸出,后者可在天井侧伸出复合缆线26。另外,也可伴随电子盒21和拍摄控制装置23的布置,改变复合缆线26的伸出方向。
[0075]如果复合缆线26的伸出方向不能朝向适合的一侧,则像图6 (A)所示的那样,复合缆线26在连接器35附近弯曲,无用的负荷作用于复合缆线26。另外,在连接器35的附近,必须要有复合缆线26弯曲的空间,其结果是,连接器35的占据范围W变大。
[0076]于是,在这样的情况下,像图6(B)所示的那样,在拍摄前的准备阶段,将连接器35从插座34中拔出,并将连接器35反转180°,在这样的交换后将其安装于插座34中。连接器35与插座34的插头插座各端子39、40的功能以对称方式设置,由此,即使将连接器35方向交换,仍相对交换之前没有改变,可进行对电子盒21的供电以及与拍摄控制装置23之间的有线通信。
[0077]另外,有时存在检体Η仰卧于床81上,使插座34所在一侧的面与床81接触,并使电子盒21夹持于被检体Η的两肋进行拍摄的情况。在此情况下,如果复合缆线26的伸出方向位于床81侧,则像图7 (Α)所示的那样,复合缆线26被夹持于连接器35和床81之间而压坏
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