专利名称：涂布机喷嘴清洁模块及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种涂布机清洁模块，特别是涉及一种光学工艺流程(photoprocess)中的涂布机喷嘴清洁装置，在工艺流程中清洁涂布机喷嘴。
背景技术：
显示器制作流程中光刻胶涂布机台(slit coater)普遍存在凝胶(gel)的问题，当喷嘴(nozzle)尖端处于不清洁的状况下作涂布会形成缺陷(defect)，并严重影响产品成品率。一般在进行每片产品的光刻胶涂布前，会使用橡胶(rubber)作为喷嘴尖端的清洁材料，然而由于橡胶的精度无法与喷嘴完全吻合，因此无法有效清洁光刻胶涂布机台喷嘴尖端；此外，橡胶的吸水性差，以橡胶清洁喷嘴无法将多余的光刻胶液体去除，最后反而残留在喷嘴上，进行生产时对喷嘴的清洁反而是越擦越脏。多种类似情况，都容易造成产品的缺陷。
目前的解决方案，有于喷嘴的细缝内部或者喷嘴尖端附近涂布一层或数层的纳米薄膜以增加喷嘴口的流度，因此涂布材料不易堆积在喷嘴附近进而保持喷嘴清洁；也有使用擦拭布擦拭喷嘴，以维持喷嘴的清洁等。图1a所示为美国专利第7073886号所公开的使用擦拭布清洁喷嘴的一实施方式。如图1a及图1b所示，喷头清洁机构30包含擦拭布供应单位32及滚轮31，擦拭布供应单位32用以馈送擦拭布40至滚轮31，滚轮31则由下向上沿平行喷嘴面21的方向擦拭喷嘴20。但是这种清洁方式仍有不能完全清洁喷嘴的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，供彻底清洁涂布机喷嘴以减少问题的发生，并提升制作成品率。
本发明的另一目的在于提供一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，解决涂布机普遍存在的凝胶问题，以提高生产成品率。
本发明的另一目的在于提供一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，搭配使用具备高弹性、柔软性及吸附性的清洁材料，当清洁材料介于喷嘴尖端与清洁部中间时，会因弹性自动符合喷嘴尖端的形状而将喷嘴尖端多余的光刻胶吸除，能加强对喷嘴的清洁效果并降低凝胶形成的机率。
为了实现上述目的，本发明提供了一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，与涂布机喷嘴配合使用，包含清洁部及馈送部。清洁部具有座部设有清洁面，馈送部具有推进装置，供馈送清洁材料至清洁面，其中当涂布机喷嘴通过清洁面，涂布机喷嘴接触清洁材料而与座部相抵。在较佳实施例中，推进装置进一步包含动力装置及转轴设置于馈送部，动力装置输出动力旋动转轴以馈送清洁材料。馈送部较佳还包含回收部及转向轴，转向轴设置于回收部与清洁部之间，推进装置结合设置于回收部以旋动回收部，其中当涂布机喷嘴为清洁材料清洁后，推进装置带动清洁材料通过转向轴回收至回收部。
由上所述，本发明涂布机喷嘴清洁模块及其装置，可彻底清洁涂布机喷嘴解决涂布机普遍存在的凝胶问题，以提高生产成品率。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
图1a所示为公知喷嘴清洁装置；图1b所示为图1a所示喷嘴清洁装置的工作图；图2a所示为本发明涂布机喷嘴清洁模块的侧视图；图2b所示为图2a所示实施例的工作图；图3所示为本发明涂布机喷嘴清洁模块的俯视图。
其中，附图标记20喷嘴21喷嘴面30喷嘴清洁机构31滚轮32擦拭布供应单位40擦拭布200涂布机喷嘴
210喷嘴面300涂布机喷嘴清洁模块、涂布机喷嘴清洁装置310清洁部311座部、清洁底座3111缺孔、凹孔312清洁面、清洁上表面313滚轴320馈送部、清洁材料输送端321推进装置3211转轴3212动力装置322回收部、回收转轴3221滚筒、推进装置323转向轴400清洁材料500非直线路径、非平面路径具体实施方式
本发明提供一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，供彻底清洁涂布机喷嘴以减少问题的发生，并提升制作成品率。本发明的涂布机喷嘴清洁模块及其装置可解决涂布机普遍存在的凝胶问题，以提高生产成品率。本发明的涂布机喷嘴清洁模块及其装置，较佳与具备高弹性、柔软性及吸附性的清洁材料配合使用，当清洁材料介于喷嘴尖端与清洁部中间时，会因弹性自动符合喷嘴尖端的形状而将喷嘴尖端多余的光刻胶吸除，能加强对喷嘴的清洁效果并降低凝胶发生的机率。
本发明的涂布机喷嘴清洁模块所使用的清洁材料，较佳为具高吸附性的复合织品材料，包含细度0.55dtex以下的纤维，例如聚酯类纤维、嫘萦纤维、聚乙烯酸纤维、聚酰胺纤维、聚丙烯纤维、尼龙纤维、棉纤维等。然而在其它较佳实施例中，本发明的涂布机喷嘴清洁模块所使用的清洁材料也包含使用无尘布(100％polyester或100％polypropylene)而对喷嘴进行清洁。本发明的涂布机喷嘴清洁模块及其装置，较佳应用于清洁薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)工艺流程前段黄光工艺流程中的光刻胶涂布机台；在不同实施例中，也可应用于如半导体或其它相类似的高精密工艺流程，或是其它需要排除凝胶形成的工艺流程。
图2a所示为本发明涂布机喷嘴清洁模块及其装置的一较佳实施例。如图2a所示，本发明的涂布机喷嘴清洁模块及其装置较佳与涂布机喷嘴200配合使用。涂布机喷嘴200具有喷嘴面210，涂布机喷嘴清洁模块300则包含清洁部310及馈送部320。如图2a的较佳实施例所示，清洁部310具有座部311，其上设有清洁面312，馈送部320则具有推进装置321，供馈送清洁材料400至清洁面312，其中当涂布机喷嘴200通过清洁面312，涂布机喷嘴200接触清洁材料400而与座部311相抵。
如图2a及图2b的较佳实施例所示，座部311较佳形成为清洁底座，其上具有清洁上表面形成清洁面312，供清洁材料400布设于清洁面312上，待喷嘴200降下时进行清洁。如图2a的较佳实施例所示，清洁材料400沿与水平夹一角度方向通过清洁面312，也就是清洁材料400沿与水平夹一角度方式擦拭喷嘴面210。如图2a所示，清洁材料400与水平所夹的角度较佳略高于水平面，介于1度至7度之间，而方便清洁材料400的输送与行进。
如图2a及图2b所示，座部311较佳形成有缺孔3111，供与涂布机喷嘴200相抵。在此较佳实施例中，缺孔3111的形状较佳与涂布机喷嘴200相吻合，且座部311较佳由橡胶等具弹性的材质所制成。但在不同实施例中，座部311也可由塑料、其它石化材料或金属所制成。如图2a及图2b的较佳实施例所示，缺孔3111对准涂布机喷嘴200，清洁材料400则覆盖于缺孔3111上，供涂布机喷嘴200接触清洁材料400后与之抵接，而清洁喷嘴面210。如图2a及图2b所示，座部311较佳进一步包含滚轴313设置于座部311的一侧边，供清洁材料400通过座部311后，反向通过清洁面312。但在不同实施例中，清洁材料400也可于清洁喷嘴面210后直接通过滚轴313，在座部311的同一侧边回收。
如图2a及图2b的较佳实施例所示，馈送部320较佳设置有推进装置321，供馈送清洁材料400至清洁面312。在此较佳实施例中，馈送部320较佳形成为清洁材料输送端，供输送清洁材料400至清洁面312而擦拭喷嘴面210。如图2a及图2b所示，推进装置321较佳包含动力装置3212以及设置于馈送部320的转轴3211，其中动力装置3212供输出动力旋动转轴3211以馈送清洁材料400。因此，如图2b所示，动力装置3212较佳带动转轴3211顺时针转动，拉动清洁材料400至清洁面312并对喷嘴面210进行清洁后，通过滚轴313而收集于转轴3211上。如图2b及图3所示，在此较佳实施例中，动力装置3212可为自动控制马达、半自动控制马达、步进马达等可输出动力旋动转轴3211的。但在不同实施例中，也可使用手游戏杆等装置以人力旋动转轴3211而控制清洁材料400的馈送。如图2b的较佳实施例所示，清洁材料400较佳围绕馈送部320的转轴3211卷成滚轮状，而与座部311及涂布机喷嘴200彼此相对设置于涂布机台本体的二侧。如图2b所示，清洁材料400的设置高度，较佳不高于涂布机喷嘴200，但在不同实施例中，清洁材料400也可设置于比涂布机喷嘴200高的地方，而将清洁材料400馈送至清洁面312。
在如图2b及图3所示的较佳实施例中，馈送部320还包含有回收部322。如图2b的较佳实施例所示，回收部322设置于馈送部320的上方。如图2a及图2b所示，回收部322较佳进一步设置有推进装置3221以旋动回收部322，其中当涂布机喷嘴200被清洁材料400所清洁，推进装置3221旋动回收部322，并将清洁材料400回收。在此较佳实施例中，清洁材料400受推进装置3221的带动，自馈送部320沿转轴3211逆时针转动，通过滚轴313至清洁面312对喷嘴面210加以清洁后，而回收至回收部322。如图2b及图3所示，推进装置3221较佳包含如滚筒等的滚轮装置而形成回收转轴，但在不同实施例中，推进装置3221也可为自动控制马达、半自动控制马达、步进马达等可输出动力以旋动回收部322的装置。如图2a及图2b的较佳实施例所示，回收部322与馈送部320的相对位置及相互作用关系也可互相对调，也就是可将清洁材料400设置于回收部322形成清洁材料输送端，而由设置于回收部322下方的馈送部320对清洁材料400加以收集。在此较佳实施例中，可借由动力装置3212带动转轴3211顺时针转动，拉动清洁材料400至清洁面312对喷嘴面210加以清洁后，通过滚轴313而收集于转轴3211上，此时转轴3211则相对于回收部322所形成的清洁材料输送端，而成为回收转轴。如图2b及图3的较佳实施例所示，回收部322较佳设置于清洁部310的反侧而与清洁材料400相连。但在不同实施例中，回收部322也可设置于清洁部310的同一侧而回收清洁材料400。当清洁材料400完成对喷嘴面210的清洁，回收部322将清洁材料400卷成滚轮状，方便生产线人员的抽换与更新。
如图2b及图3所示，馈送部320较佳还包含有转向轴323设置于回收部322与清洁部310之间，其中当涂布机喷嘴200被清洁材料400所清洁，推进装置3221带动清洁材料400通过转向轴323，并将清洁材料400回收至回收部322。如图2b及图3所示，清洁材料400较佳在通过转向轴323后与回收部322相连而形成非平面路径500。此处所说的非平面路径500指清洁材料400沿一非直线路径通过清洁面312及转向轴323而与回收部322相连，也就是清洁面312、转向轴323及回收部322三者间不具有同一直线关系。如图2b及图3的较佳实施例所示，当清洁材料400沿清洁面312、转向轴323及回收部322所形成的非平面路径500通过清洁部，涂布机喷嘴200接触清洁材料400与座部311的缺孔3111相抵而擦拭喷嘴面210，并由回收部322旋动以回收清洁材料400。如图2b及图3所示，本发明的涂布机喷嘴清洁模块及其装置较佳在每片玻璃涂布前以动力装置3212将清洁材料400馈送至清洁面312，通过清洁材料400的柔软弹性及高吸附性对喷嘴200尖端进行清洁，并在清洁完成后抽换清洁材料400，以便于制作下一片产品时的清洁。
当然，本发明还可有其他多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种涂布机喷嘴清洁模块，供与一涂布机喷嘴配合使用，其特征在于，包含一清洁部，该清洁部具有一座部，该座部上设有一清洁面；以及一馈送部，该馈送部具有一推进装置，供馈送一清洁材料至该清洁面，其中当该涂布机喷嘴通过该清洁面，该涂布机喷嘴接触该清洁材料而与该座部相抵。
2.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该推进装置包含一转轴及一动力装置，该动力装置输出一动力旋动该转轴以馈送该清洁材料。
3.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该馈送部包含一回收部及一转向轴，该推进装置设置于该回收部以旋动该回收部，该转向轴设置于该回收部与该清洁部之间，其中当该涂布机喷嘴被该清洁材料清洁后，该推进装置带动该清洁材料通过该转向轴，回收至该回收部。
4.根据权利要求3所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该推进装置包含一滚筒。
5.根据权利要求4所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该清洁材料沿一非直线路径通过该清洁面及该转向轴而与该滚筒相连接。
6.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该清洁部进一步包含一滚轴设置于该座部的一侧边，供该清洁材料经过该座部后，反向通过该清洁面。
7.根据权利要求6所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该清洁材料沿与水平夹一角度通过该清洁面。
8.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该座部包含一缺孔，供与该涂布机喷嘴相抵。
9.根据权利要求8所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该座部包含一橡胶材质。
10.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该清洁材料为一织品。
11.根据权利要求10所述的涂布机喷嘴清洁模块，其特征在于，该清洁材料包含一无尘布。
12.一种涂布机喷嘴清洁装置，供清洁一涂布机喷嘴，该涂布机喷嘴具有一喷嘴面，其特征在于，该涂布机喷嘴清洁装置包含一清洁底座，具有一清洁上表面；一清洁材料输送端，供输送一清洁材料通过该清洁上表面并擦拭该喷嘴面；以及一回收转轴，设置于该清洁底座的反侧并与该清洁材料相连，其中当该清洁材料通过该清洁上表面并擦拭该喷嘴面，该回收转轴旋动以回收该清洁材料。
13.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，还包含一转向轴设置于该回收转轴与该清洁底座之间，该清洁材料通过该转向轴与该回收转轴相连而形成一非平面路径。
14.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁上表面具有一凹孔对准该涂布机喷嘴，该清洁材料覆盖该开孔，供该涂布机喷嘴接触该清洁材料与该开孔抵接，而擦拭该喷嘴面。
15.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁底座进一步包含一滚轴设置于该清洁底座的一侧边，供该清洁材料通过该清洁底座后，反向与该回收转轴相连。
16.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁材料沿与水平夹一角度擦拭该喷嘴面。
17.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁底座包含一橡胶材质。
18.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁材料为一织品。
19.根据权利要求18所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁材料包含一无尘布。
20.根据权利要求12所述的涂布机喷嘴清洁装置，其特征在于，该清洁材料输送端包含一动力装置，该动力装置输出一动力以输送该清洁材料。
全文摘要
本发明公开了一种涂布机喷嘴清洁模块及其装置，与涂布机喷嘴配合使用，包含清洁部及馈送部，清洁部具有座部，座部上设有清洁面；馈送部具有推进装置，供馈送清洁材料至清洁面，其中当涂布机喷嘴通过清洁面，涂布机喷嘴接触清洁材料而与座部相抵。
文档编号B08B13/00GK101071271SQ200710122760
公开日2007年11月14日 申请日期2007年7月4日 优先权日2007年7月4日
发明者朱益新 申请人:友达光电股份有限公司