专利名称：一种用于刻膜机的复合吸尘装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于刻膜机加工非晶硅太阳能电池板工作过程中的吸尘技 术领域，尤其涉及一种用于刻膜机的复合吸尘装置。
背景技术：
非晶硅太阳能电池板生产流程涉及到底层电极、中间光伏效应层和表面欧姆接触 电极层的薄膜沉积以及各层的刻划。激光刻划技术相比传统的掩模法具有更高的生产效率 以及稳定的产品质量，已经较好地应用于太阳能电池的制造工艺流程中。然而，在刻膜机 激光刻划非晶硅电池的过程中，容易产生大量微小的粉尘，并且大部分的粉尘不能到达除 尘系统，除尘系统除尘效率低，使得产生的粉尘污染空气，给操作人员带来不便，也会污染 工作台或者非晶硅电池，给设备维修或者电池的生产带来不便。传统的吸尘技术采用抽风 直吸方式，能够吸掉大部分尘粒，仍有部分尘粒不能被吸走；存在的缺陷为部分超轻尘粒 仍悬浮于空气中，还有一部分超重尘粒会随重力落到电池板上，导致吸尘不全面，效果不理 想；且非晶硅薄膜太阳能电池在激光加工过程中会产生大量粉尘，若清除不完全，粉尘就会 附着在电池板表面上，可能造成微断路，影响电池板的电气性能。
实用新型内容本实用新型针对现有非晶硅太阳能电池板生产存在的上述不足，提供一种用于刻 膜机的复合吸尘装置。本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下所述的一种用于刻膜机的复合 吸尘装置，包括设置在刻膜机工作台固定座上的固定吸尘箱，其特点在于，所述的固定吸尘 箱上部的刻膜机工作台固定座上还设有随动吸尘箱，固定吸尘箱下部设有固定吸尘箱吸尘 口，随动吸尘箱上设有随动吸尘箱吸尘口。所述的固定吸尘箱下部还设有离子棒，离子棒上设有电极针。所述的随动吸尘箱 通过连接板与随动吸尘运动工作台相连，随动吸尘运动工作台通过随动吸尘运动固定座与 刻膜机工作台固定座相连，随动吸尘运动固定座内设有传动丝杠和电机。所述的随动吸尘箱吸尘口包括第一吸尘口和第二吸尘口。所述的第二吸尘口通过 固定块安装在连接板上，第二吸尘口对应设在刻膜机工作台上的激光光束正上方。所述的 第一吸尘口与刻膜机工作台上的激光光束对应设置，第一吸尘口和第二吸尘口的数量与刻 膜机工作台上的激光光束数量相等。所述的固定吸尘箱吸尘口为长方形结构。本实用新型的有益效果是所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其通过固定 吸尘箱和随动吸尘箱的复合，实现了刻膜机在加工非晶硅太阳能电池生产过程中产生的大 部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘的效率。
图1为本实用新型结构原理示意图；[0009]图2为本实用新型图1的中固定吸尘箱和随动吸尘箱安装结构示意图；图3为本实用新型图2的中固定吸尘箱的端面结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用 新型，并非用于限定本实用新型的范围。图1、2、3所示，所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，包括设置在刻膜机工作 台固定座1上的固定吸尘箱7，其特点在于，所述的固定吸尘箱7上部的刻膜机工作台固定 座1上还设有随动吸尘箱2，固定吸尘箱7下部设有固定吸尘箱吸尘口 15，随动吸尘箱2上 设有随动吸尘箱吸尘口。所述的固定吸尘箱7下部还设有离子棒14，离子棒14上设有电极针。所述的随动 吸尘箱2通过连接板11与随动吸尘运动工作台13相连，随动吸尘运动工作台13通过随动 吸尘运动固定座10与刻膜机工作台固定座1相连，随动吸尘运动固定座10内设有传动丝 杠9和电机8。所述的随动吸尘箱吸尘口包括第一吸尘口 3和第二吸尘口 4。所述的第二吸尘口 4通过固定块12安装在连接板11上，第二吸尘口 4对应设在刻膜机工作台上的激光光束5 正上方。所述的第一吸尘口 3与刻膜机工作台上的激光光束5对应设置，第一吸尘口 3和 第二吸尘口 4的数量与刻膜机工作台上的激光光束5数量相等。所述的固定吸尘箱吸尘口 15为长方形结构。采用上述结构，便可以实现刻膜机在加工工件6时产生的大部分粉尘吸收。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用 新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保 护范围之内。
权利要求一种用于刻膜机的复合吸尘装置，包括设置在刻膜机工作台固定座上的固定吸尘箱，其特征在于，所述的固定吸尘箱上部的刻膜机工作台固定座上还设有随动吸尘箱，固定吸尘箱下部设有固定吸尘箱吸尘口，随动吸尘箱上设有随动吸尘箱吸尘口。
2.根据权利要求1所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的固定 吸尘箱下部还设有离子棒，离子棒上设有电极针。
3.根据权利要求1所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的随动 吸尘箱通过连接板与随动吸尘运动工作台相连，随动吸尘运动工作台通过随动吸尘运动固 定座与刻膜机工作台固定座相连，随动吸尘运动固定座内设有传动丝杠和电机。
4.根据权利要求1所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的随动 吸尘箱吸尘口包括第一吸尘口和第二吸尘口。
5.根据权利要求4所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的第二 吸尘口通过固定块安装在连接板上，第二吸尘口对应设在刻膜机工作台上的激光光束正上 方。
6.根据权利要求4所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的第一 吸尘口与刻膜机工作台上的激光光束对应设置，第一吸尘口和第二吸尘口的数量与刻膜机 工作台上的激光光束数量相等。
7.根据权利要求1所述的一种用于刻膜机的复合吸尘装置，其特征在于，所述的固定 吸尘箱吸尘口为长方形结构。
专利摘要本实用新型涉及一种用于刻膜机加工非晶硅太阳能电池板工作过程中的吸尘技术领域，尤其涉及一种用于刻膜机的复合吸尘装置。包括设置在刻膜机工作台固定座上的固定吸尘箱，其特点在于，所述的固定吸尘箱上部的刻膜机工作台固定座上还设有随动吸尘箱，固定吸尘箱下部设有固定吸尘箱吸尘口，随动吸尘箱上设有随动吸尘箱吸尘口。其通过固定吸尘箱和随动吸尘箱的复合，实现了刻膜机在加工非晶硅太阳能电池生产过程中产生的大部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘的效率。
文档编号B08B5/04GK201558833SQ20092029321
公开日2010年8月25日 申请日期2009年12月11日 优先权日2009年12月11日
发明者何成鹏 申请人:武汉三工光电设备制造有限公司