专利名称：真空管道清洁装置及系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示技术，尤其涉及一种真空管道清洁装置及系统。
背景技术：
在半导体及平板显示产业中，高真空的工艺技术应用广泛，特别是在等离子体增 强化学气相沉积及干法刻蚀等工艺中，反应腔室通过真空管道连接到泵上，以保持设备较 高的真空度。这样，在反应过程中会有大量副产物产生在管道内，遇冷后以粉末的形式附着 在真空管道内壁上，设备在运行时间较长后真空管道壁上会粘结有大量的附着物，从而导 致真空管道内气体流量低下，易造成反应腔室真空度下降、设备停机等问题。现有技术中通常采用物理清洗法或化学清洗法对真空管道进行湿法清洗。其中物 理清洗法主要是向真空管道内压入树脂子弹，然后冲压入大量水以进行清洗，该方法对真 空管道及树脂子弹强度、材料等都有较高的要求，如真空管道的耐受压力要较高，真空管道 内弯曲连接处不能太多等。化学清洗法主要是向真空管道内注入化学药剂，以对真空管道 内附着物进行中和反应，该方法需要大量的化学药剂和水，并且也会对环境造成一定的破 坏。另外，采用上述物理清洗法或化学清洗法对真空管道进行清洗后，真空管道内都 会附着有大量的水分，后续需要对真空管道进行干燥的过程，使短期内设备不能恢复工作。
实用新型内容本实用新型提供一种真空管道清洁装置及系统，用以清洁弯曲连接处较多的真空 管道，且不需要对真空管道进行干燥的过程，清洁完即可投入使用。本实用新型提供一种真空管道清洁装置，包括至少二个清洁杆、至少一个毛刷头 以及牵引装置；所述清洁杆之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组；所述毛刷头设置在至少一个清洁杆上；所述牵引装置设置在所述清洁杆组的两端。进一步的，所述清洁杆的一端为凹面结构，所述清洁杆的另一端为凸面结构，所述 清洁杆之间的凹面结构与凸面结构构成配合结构；所述清洁杆之间通过钢丝绳连接。优选地，所述毛刷头设置在所述清洁杆上。所述毛刷头包括刷毛、刷毛底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。该真空管道清洁装置的清洁杆组首端和/或尾端的清洁杆与所述牵引装置之间 还可设置有活塞头。所述毛刷头可为一个。优选地，间隔一个或多个清洁杆设置所述毛刷头。本实用新型提供一种真空管道清洁系统，包括上述提供的一种真空管道清洁装 置，还包括尾部接收设备和真空吸收设备；[0017]所述牵引装置的一端与所述尾部接收设备连接，所述真空吸收设备与所述尾部接 收设备连接，所述尾部接收设备用于接收真空管道清洁装置清理出的粉末，所述真空吸收 设备用于吸收尾部接收设备中的粉末。采用本实用新型提供的真空管道清洁装置及系统清洁真空管道，不需要对真空管 道进行后续干燥的过程，清洁完即可投入使用；真空管道清洁装置的各清洁杆之间都是以 配合结构活动连接，使得真空管道清洁装置可在各方向旋转活动，适用于清洁弯曲连接处 较多的真空管道。
图1为本实用新型真空管道清洁装置实施例一的结构示意图；图2为本实用新型真空管道清洁装置实施例二的结构示意图；图3为本实用新型真空管道清洁装置实施例三的结构示意图。
具体实施方式
下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。图1为本实用新型真空管道清洁装置实施例一的结构示意图。如图1所示，本实 施例包括至少二个清洁杆11、至少一个毛刷头12以及牵引装置13。其中，清洁杆11之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组10 ；毛刷头12设置在 至少一个清洁杆上；牵引装置13设置在清洁杆组10的两端。进一步的，清洁杆11的一端为凹面结构，清洁杆11的另一端为凸面结构，清洁杆 11之间的凹面结构与凸面结构构成配合结构；清洁杆11之间通过钢丝绳14连接。通过这 种配合结构的活动连接，可以使真空管道清洁装置在各方向旋转活动。本实施例中，毛刷头12固接在清洁杆上。在图1中，间隔一个清洁杆设置毛刷头。 本实用新型也可以间隔多个清洁杆设置毛刷头。具体地，毛刷头12可以包括刷毛、刷毛底座及螺丝。其中，刷毛可采用硬质且具有 一定韧性的较长的塑料细丝制成，刷毛固定在刷毛底座上，例如以植入压塑的方式使刷毛 与刷毛底座紧固，刷毛不易脱落；采用螺丝将刷毛底座固定在清洁杆上，每个毛刷头固定位 置可以环绕固定数个刷毛底座，有利于对状态不好的刷毛进行调整更换。本实施例中，牵引装置13包括两条牵引绳，这两条牵引绳分别连接在清洁杆组的 两端。图2为本实用新型真空管道清洁装置实施例二的结构示意图。如图2所示，与图 1所示的真空管道清洁装置的不同之处在于，设置有毛刷头的清洁杆包括第一清洁子杆21 和第二清洁子杆22，第一清洁子杆21和第二清洁子杆22螺接。其中，第一清洁子杆21的一端为螺丝结构，第二清洁子杆22对应的一端为螺母结 构。 进一步的，本实施例中，毛刷头可以包括刷毛、刷毛底座，其中，刷毛底座的内表面 构成螺母结构，能够与第一清洁子杆螺接。具体使用中，可依次将毛刷头、第二清洁子杆22 与第一清洁子杆21螺接。 或者，第一清洁子杆21的一端为螺母结构，第二清洁子杆22对应的一端为螺丝结构。进一步的，本实施例中，所有的清洁杆都可以采用上述螺接的结构。上述实施例一和二提供的真空管道清洁装置可用于干法清洁真空管道。具体地 说，将待清洗的真空管道两端分别与所连接的设备分离；将上述真空管道清洁装置通入真 空管道内部，直至真空管道下部露出一端的牵引绳，真空管道清洁装置的长度可以根据真 空管道的长度而定，可调整清洁杆的个数用于调整真空管道清洁装置的长度；使用外力分 别牵引两条牵引绳，拉动毛刷头与真空管道内壁摩擦，这样紧贴内壁的粉末被刮动脱落；经 过数次摩擦，真空管道内的粉末大颗粒被基本去除，真空管道清理完毕。采用实施例一和二提供的真空管道清洁装置清洁真空管道，不需要对真空管道进 行后续干燥的过程，清洁完即可投入使用；真空管道清洁装置的各清洁杆之间都是以配合 结构活动连接，使得真空管道清洁装置可在各方向旋转活动，适用于清洁弯曲连接处较多 的真空管道；相比于现有技术，真空管道清洁装置的毛刷头对真空管道内壁压力很小，不会 对真空管道内壁造成损害。本实用新型真空管道清洁装置实施例三在上述实施例一或二的基础上，清洁杆组 首端和/或尾端的清洁杆与所述牵引装置之间还设置有活塞头，具体地，可将活塞头设置 在清洁杆组首端和/或尾端的清洁杆上。为了便于操作人员使用，带活塞头的真空管道清洁装置可以包括一个毛刷头，参 见图3所示的实施例。图3为本实用新型真空管道清洁装置实施例三的结构示意图。如图3所示，本实 施例包括至少二个清洁杆(图3示出了包括二个清洁杆31和32的情况)、一个毛刷头33 以及牵引装置34。其中，二个清洁杆31和32之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组30 ；毛刷头 33设置在清洁杆31上；牵引装置34设置在清洁杆组30的两端。进一步的，清洁杆31的一端为凹面结构，清洁杆32的一端为凸面结构，清洁杆31 和32之间的凹面结构和凸面结构构成配合结构；清洁杆31和32之间通过钢丝绳35连接。 通过这种配合结构的活动连接，可以使真空管道清洁装置在各方向旋转活动。本实施例中，毛刷头33设置在清洁杆31上。牵引装置34包括两条牵引绳，这两条牵引绳分别连接在清洁杆组30的两端。本实施例还包括活塞头36，活塞头36固接在清洁杆32上。上述实施例三提供的真空管道清洁装置可用于干法清洁真空管道。具体地，可以 在使用实施例一或二提供的真空管道清洁装置清洁真空管道后，继续使用实施例三提供的 真空管道清洁装置进行更为精细的清洁。将实施例三提供的真空管道清洁装置通入真空管 道内部，直至真空管道下部露出一端的牵引绳；使用外力分别牵引两条牵引绳，拉动毛刷头 和活塞头与真空管道内壁摩擦，由于活塞头与真空管道内壁的接触更近，其清洁效果比毛 刷更好；经过数次摩擦，真空管道内的粉末小颗粒也被基本去除，真空管道清理完毕。采用实施例三提供的真空管道清洁装置，不需要对真空管道进行后续干燥的过 程，清洁完即可投入使用；真空管道清洁装置的各清洁杆之间都是以配合结构活动连接，使 得真空管道清洁装置可在各方向旋转活动，适用于清洁弯曲连接处较多的真空管道；相比 于现有技术，真空管道清洁装置的毛刷头和活塞头对真空管道内壁压力很小，不会对真空管道内壁造成损害。本实用新型还提供了一种真空管道清洁系统，该真空管道清洁系统可以包括实施 例一或二或三提供的真空管道清洁装置、尾部接收设备和真空吸收设备，所述牵引装置的 一端与所述尾部接收设备连接，所述真空吸收设备与所述尾部接收设备连接，所述尾部接 收设备用于接收真空管道清洁装置清理出的粉末，所述真空吸收设备用于吸收尾部接收设 备中的粉末。具体地，尾部接收设备与待清洗的真空管道连接，当将真空管道清洁装置通入真 空管道内部时，牵引装置的一段置于真空管道之外，该牵引装置可通过尾部接收设备引出。 进一步的，尾部接收设备的侧面有开口，开口处安装有一滑轮，牵引装置可通过该滑轮从尾 部接收设备中引出。真空吸收设备与尾部接收设备连接，用于吸收真空管道清洁装置清理出的粉末。采用本实用新型提供的真空管道清洁系统清洁真空管道，不需要对真空管道进行 后续干燥的过程，清洁完即可投入使用；真空管道清洁装置的各清洁杆之间都是以配合结 构活动连接，使得真空管道清洁装置可在各方向旋转活动，适用于清洁弯曲连接处较多的 真空管道；相比于现有技术，真空管道清洁装置的毛刷头对真空管道内壁压力很小，不会对 真空管道内壁造成损害。最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽 管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以 对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和 范围。
权利要求一种真空管道清洁装置，其特征在于，包括至少二个清洁杆、至少一个毛刷头以及牵引装置；所述清洁杆之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组；所述毛刷头设置在至少一个清洁杆上；所述牵引装置设置在所述清洁杆组的两端。
2.根据权利要求1所述的真空管道清洁装置，其特征在于，所述清洁杆的一端为凹面 结构，所述清洁杆的另一端为凸面结构，所述清洁杆之间的凹面结构与凸面结构构成配合 结构；所述清洁杆之间通过钢丝绳连接。
3.根据权利要求1所述的真空管道清洁装置，其特征在于，所述毛刷头设置在所述清 洁杆上。
4.根据权利要求3所述的真空管道清洁装置，其特征在于，所述毛刷头包括刷毛、刷毛 底座；所述刷毛固定在所述刷毛底座上。
5.根据权利要求1-4任一所述的真空管道清洁装置，其特征在于，所述毛刷头为一个。
6.根据权利要求1-4任一所述的真空管道清洁装置，其特征在于，清洁杆组首端和/或 尾端的清洁杆与所述牵引装置之间设置有活塞头。
7.根据权利要求1所述的真空管道清洁装置，其特征在于，间隔一个或多个清洁杆设 置所述毛刷头。
8.一种包括权利要求1-7任一所述的真空管道清洁装置的真空管道清洁系统，其特征 在于，还包括尾部接收设备和真空吸收设备；所述牵引装置的一端与所述尾部接收设备连接，所述真空吸收设备与所述尾部接收设 备连接，所述尾部接收设备用于接收真空管道清洁装置清理出的粉末，所述真空吸收设备 用于吸收尾部接收设备中的粉末。
专利摘要本实用新型涉及一种真空管道清洁装置及系统，其中真空管道清洁装置包括至少二个清洁杆、至少一个毛刷头以及牵引装置；所述清洁杆之间以配合结构活动连接并构成清洁杆组；所述毛刷头设置在至少一个清洁杆上；所述牵引装置设置在所述清洁杆组的两端。本实用新型适用于清洁弯曲连接处较多的真空管道。
文档编号B08B9/043GK201676859SQ20102021079
公开日2010年12月22日 申请日期2010年5月21日 优先权日2010年5月21日
发明者常有军 申请人:北京京东方光电科技有限公司