一种平台清扫的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种平台清扫机，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。本实用新型的平台清扫机可以高精确、智能化地对平台进行异物清理，可避免吹扫方式产生的二次污染。
【专利说明】一种平台清扫机
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种平台清扫机，特别是指一种用于对真空度、水氧环境有较高要求的内部作业平台的平台清扫机。
【背景技术】
[0002]目前在半导体行业、机械制造产业等真空腔室内部或者一般设备内、外部，在生产过程中偶有碎屑产生，如:贴干燥片工序时干燥片碎屑，点胶工序产生的溢胶等，残留在封装片上；因整个作业过程是在真空环境下进行，不容易被发现，进行压合时会将这些异物带入压合平台，在压合时容易产生玻璃碎屑，从而降低封装压合良率。因此需要对平台进行清洁、清扫，业界内通常会使用气体吹扫的方式进行异物清理，但是使用气体吹扫的方式有很多条件限制，如使用环境、异物大小等，另外，气体吹扫方式有可能产生二次污染。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种使用方便、且可避免二次污染的平台清扫机。
[0004]为达到上述目的，本实用新型提供一种平台清扫机，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。
[0005]所述清扫机构包括设于所述平台上方的至少一个摇摆手臂及驱动该摇摆手臂平行于平台做钟摆运动的驱动件。
[0006]所述驱动件为与所述控制设备连接的气缸。
[0007]所述驱动件为与所述摇摆手臂连接的丝杠及驱动丝杆的电机。
[0008]所述摇摆手臂靠近所述平台的一侧安装有毛刷或无尘布。
[0009]述清扫机构包括清扫手臂及驱动该清扫手臂在平台上左右移动的驱动件。
[0010]所述驱动件为与所述控制设备连接的气缸。
[0011]所述驱动件为与所述清扫手臂连接的丝杠及驱动丝杆的电机。
[0012]所述清扫手臂靠近所述平台的一侧安装有毛刷或无尘布。
[0013]所述传感器为区域传感器。
[0014]本实用新型的平台清扫机可以高精确、智能化地对平台进行异物清理，可避免吹扫方式产生的二次污染。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型平台清扫机的主视图；
[0016]图2为本实用新型平台清扫机的俯视图。【具体实施方式】
[0017]为便于对本实用新型的结构及达到的效果有进一步的了解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。
[0018]如图1与图2所示，本实用新型的平台清扫机包括安装于平台I 一侧的高精度传感器2及设于平台边缘的清扫机构，该传感器2连接一控制设备(图中无示出)，该控制设备同时连接该清扫机构。本实用新型中传感器2用来实时监测平台I的平整度，若平台I不平整，则平台I上有异物，传感器2将监测信号传输给控制设备，控制设备通过程序的设定将发出报警提示，并启动清扫机构，对平台进行清扫。本实用新型中的传感器2可为区域传感器。
[0019]本实用新型中的清扫机构包括设于平台I上方的摇摆手臂30及与摇摆手臂30 —端连接的气缸31，该摇摆手臂30靠近平台I的一侧安装有软毛刷300或无尘布，由螺栓将气缸31固定在平台底座，控制设备连接该气缸31。当传感器2监测到平台上有异物时，传感器2将监测信号传输给控制设备，控制设备报警提示，并启动气缸31，气缸31驱动摇摆手臂30以钟摆的运动方式平行于平台I对平台进行清扫。本实用新型中的摇摆手臂30可以为两个或多个，设于平台I相对的两侧或平台周围，每个摇摆手臂30分别连接一气缸31，摇摆手臂30做钟摆运动清扫时可以全面清扫平台I上的异物。
[0020]本实用新型中清扫机构还可为设于平台I上方的清扫手臂及与清扫手臂连接的气缸31，该清扫手臂靠近平台I的一侧安装有软毛刷或无尘布，控制设备连接该气缸31。当传感器2监测到平台上有异物时，传感器2将监测信号传输给控制设备，控制设备报警提示，并启动气缸31，气缸31驱动清扫手臂以左右移动的运动方式平行于平台I对平台进行清扫。
[0021]本实用新型中并不限于用气缸驱动摇摆手臂或清扫手臂，还可以用与摇摆手臂或清扫手臂连接的丝杠及驱动丝杠的电机进行驱动，控制设备连接电机并控制电机工作。
[0022]本实用新型的平台清扫机可以高精确、智能化地对平台进行异物清理，可避免二次污染，能有效的提高产品质量，且安装维护方便。
[0023]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种平台清扫机，其特征在于，其包括安装于平台一侧的传感器、设于平台边缘对平台进行清扫的清扫机构及与传感器连接并接受传感器传输的平台上是否有异物的监测信号的控制设备，该控制设备同时连接该清扫机构并控制该清扫机构工作。
2.如权利要求1所述的平台清扫机，其特征在于，所述清扫机构包括设于所述平台上方的至少一个摇摆手臂及驱动该摇摆手臂平行于平台做钟摆运动的驱动件。
3.如权利要求2所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述控制设备连接的气缸。
4.如权利要求2所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述摇摆手臂连接的丝杠及驱动丝杆的电机。
5.如权利要求2所述的平台清扫机，其特征在于，所述摇摆手臂靠近所述平台的一侧安装有毛刷或无尘布。
6.如权利要求1所述的平台清扫机，其特征在于，所述清扫机构包括清扫手臂及驱动该清扫手臂在平台上左右移动的驱动件。
7.如权利要求6所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述控制设备连接的气缸。
8.如权利要求6所述的平台清扫机，其特征在于，所述驱动件为与所述清扫手臂连接的丝杠及驱动丝杆的电机。
9.如权利要求6所述的平台清扫机，其特征在于，所述清扫手臂靠近所述平台的一侧安装有毛刷或无尘布。
10.如权利要求1所述的平台清扫机，其特征在于，所述传感器为区域传感器。
【文档编号】B08B1/00GK203764571SQ201320871445
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日
【发明者】吴贵斌 申请人:昆山维信诺显示技术有限公司