专利名称：籽晶切割夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型属于切割机械技术领域，更具体的说是一种单晶硅晶体生长过程中使用的籽晶的切割工具。
技术背景单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料，广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步，在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导，籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心，籽晶要求选材要好，要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分，一般取材部位与尾部要有足够距离，切割过程中不能有切割损伤，以免影响单晶硅晶体的生长，目前还没有专业的籽晶切割夹具，籽晶切割技术含量高，切割难度大，切割过程中一旦出现损伤， 在晶体的生长过程就容易出现断裂，就会造成较大的经济损失。
发明内容为解决上述问题，本实用新型提供了一种专业的籽晶切割夹具，所述的籽晶切割夹具由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成，其特征是支撑台的上端设置工作台，工作台的上端一侧设置固定夹，工作台的上端另一侧设置滑动夹，工作台的下端中心位置上设置十字榫，与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽，十字榫的下侧设置调节钮。本实用新型所述的十字榫、十字榫槽，其特征在于十字榫和十字榫槽的断面均为梯形，十字榫与十字榫槽相吻合。使用时，将需要切割的籽晶利用固定夹和滑动夹夹住，通过调节钮使工作台在十字榫槽的约束下转动，完成对籽晶各面的切割作业。本实用新型的有益效果是籽晶切割夹具结构简单，使用方便，籽晶在切割过程中不易出现损伤。
附图是本实用新型结构示意图，附图中1.固定夹，2.工作台，3.十字榫，4.滑动夹，5.支撑台，6.调节钮，7.十字榫槽。
具体实施方式
结合附图对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为所述的籽晶切割夹具由固定夹1、工作台2、十字榫3、 滑动夹4、支撑台5、调节钮6、十字榫槽7组成，其特征是支撑台5的上端设置工作台2，工作台2的上端一侧设置固定夹1，工作台2的上端另一侧设置滑动夹4，工作台2的下端中心位置上设置十字榫3，与十字榫3相对应的支撑台5上设置十字榫槽7，十字榫3的下侧设置调节钮6。本实用新型所述的十字榫3、十字榫槽7，其特征在于十字榫3和十字榫槽7的断面均为梯形，十字榫3与十字榫槽7相吻合。使用时，将需要切割的籽晶利用固定夹1和滑动夹4夹住，通过调节钮6使工作台 2在十字榫槽7的约束下转动，完成对籽晶各面的切割作业。本实用新型的有益效果是籽晶切割夹具结构简单，使用方便，籽晶在切割过程中不易出现损伤。
权利要求1.籽晶切割夹具，由固定夹(1)、工作台O)、十字榫(3)、滑动夹G)、支撑台(5)、调节钮(6)、十字榫槽(7)组成，其特征是支撑台(5)的上端设置工作台0)，工作台( 的上端一侧设置固定夹(1)，工作台( 的上端另一侧设置滑动夹G)，工作台( 的下端中心位置上设置十字榫(3)，与十字榫C3)相对应的支撑台( 上设置十字榫槽(7)，十字榫(3) 的下侧设置调节钮(6)。
专利摘要籽晶切割夹具，由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成，其特征是支撑台的上端设置工作台，工作台的上端一侧设置固定夹，工作台的上端另一侧设置滑动夹，工作台的下端中心位置上设置十字榫，与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽，十字榫的下侧设置调节钮，本实用新型的有益效果是籽晶切割夹具结构简单，使用方便，籽晶在切割过程中不易出现损伤。
文档编号B28D7/04GK202053394SQ20112012462
公开日2011年11月30日 申请日期2011年4月13日 优先权日2011年4月13日
发明者刘西诚, 岳耀清, 赵体月 申请人:济宁佳华电子材料有限公司