专利名称：一种表面坚硬的双银低辐射镀膜玻璃的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种镀膜玻璃，主要涉及一种十一层膜结构的表面坚硬的双银低辐射镀膜玻璃。
背景技术：
低辐射镀膜玻璃是指在玻璃表面沉积一层高红外线反射材料(金属银)，使玻璃吸收太阳光光谱中的红外线和其它物体发出的红外线非常少，玻璃自身又不存储能量，因此镀膜玻璃向外辐射的红外线也非常少，称为低辐射镀膜玻璃。该玻璃用于窗户上，可有效地阻挡太阳光中的红外线进入室内，降低夏天室内温度，节约空调制冷费用，冬天可以阻挡室内物体发出的红外线被玻璃吸收，散发到室外，提高室内温度，节约取暖费用。现在市场上已经有很多种双银低辐射镀膜玻璃产品，第一层膜有用氧化锡的，也有用氧化锌的，第二层膜都是银膜，也有前面加一层镍铬膜的结构，第三层都用镍铬层，第四层主要为间隔层，第五层膜是银膜，第六层为镍铬层，第七层为氧化锡或者氮化硅膜，这些产品抗划伤的能力都不强，即表面不够坚硬。
发明内容本实用新型目的是提供一种十一层膜结构的表面坚硬的双银低辐射镀膜玻璃，使其具有辐射率低，耐磨、耐划伤、耐腐蚀性能好的优点。本实用新型的目的可采用如下技术方案来实现其具有玻璃基片，在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层、镍铬膜层、氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层、氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层、氮化硅膜层、氧化硅膜层、氮化硅膜层，从而构成十一层膜结构的双银低辐射镀膜玻璃。该产品具有辐射率低，耐磨、耐划伤性能和耐氧化、耐腐蚀性能好的优点。
附图1为本实用新型的具体结构示意图。图中1、玻璃基片，2、氧化锡膜层，3、镍铬膜层，4、氧化锡膜层，5、银膜层，6、镍铬膜层，7、氧化锡膜层，8、银膜层，9、镍铬膜层，10、氮化硅膜层，11、氧化硅膜层，12、氮化硅膜层。
具体实施方式
结合附图，说明本实用新型的具体实施例。如附图1所示其具有玻璃基片1，在玻璃基片表面从底层向上依次镀有氧化锡膜层2、镍铬膜层3、氧化锡膜层4、银膜层5、镍铬膜层6、氧化锡膜层7、银膜层8、镍铬膜层9、 氮化硅膜层10、氧化硅膜层11、氮化硅膜层12，从而构成十一层膜结构的双银低辐射镀膜玻璃。[0011]本实用新型是在真空环境下，通过磁控溅射在玻璃表面沉积十一层膜的方法，生产一种红外线辐射率很低的，包含有两个银层的低辐射镀膜玻璃。所述的表面坚硬的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1. lX10-4Pa以下，充入工艺气体(氧气或氮气或氩气)，使镀膜室压力稳定在0. 3 左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃将靶材原子或其化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，将氧化锡膜沉积到玻璃表面为第一层膜，厚度10至60纳米，第二个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在氧化锡上面沉积第二层镍铬膜，厚度1至10纳米；第三个镀膜室充入氧气， 靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第三层氧化锡膜，厚度10至60纳米；第四个镀膜室充入氩气， 靶材为银靶，在氧化锡上面沉积第四层银膜，厚度1至10纳米；第五个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第五层镍铬膜，厚度1至10纳米；第六个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第六层氧化锡膜，厚度15至60纳米；第七个镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在氧化锡上面沉积第七层银膜，厚度1至10纳米；第八个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第八层镍铬膜，厚度1至10纳米；第九个镀膜室充入氮气，靶材为硅靶，在镍铬膜上沉积第九层氮化硅膜，厚度10至40纳米；第十个镀膜室充入氧气，靶材为硅靶，在氮化硅膜上沉积第十层氧化硅膜，厚度5至40纳米；第十一个镀膜室充入氮气，靶材为硅靶，在氧化硅膜上沉积第十一层氮化硅膜，厚度10 60纳米。第四层和第七层的银膜起到降低镀膜玻璃辐射率的作用，两层不相邻的银膜，可以产生比一层银膜性能好很多，即辐射率低很多的优点。第一层、第三层氧化锡膜和第九层、第十一层氮化硅膜都起保护银膜和镍铬膜的作用，第十层氧化硅膜，将较厚的氮化硅膜分割成两层膜，有效地提高了膜层的耐磨、耐划伤性能和耐氧化、耐腐蚀性能。
权利要求1. 一种表面坚硬的双银低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片 (1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层O)、镍铬膜层(3)，氧化锡膜层0)，银膜层 (5)，镍铬膜层(6)，氧化锡膜层(7)，银膜层(8)，镍铬膜层(9)，氮化硅膜层(10)，氧化硅膜层(11)，氮化硅膜层(12)。
专利摘要本实用新型公开了一种表面坚硬的双银低辐射镀膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层(2)、镍铬膜层(3)，氧化锡膜层(4)，银膜层(5)，镍铬膜层(6)，氧化锡膜层(7)，银膜层(8)，镍铬膜层(9)，氮化硅膜层(10)，氧化硅膜层(11)，氮化硅膜层(12)。该产品具有辐射率低，耐磨、耐划伤性能和耐氧化、耐腐蚀性能好的优点。
文档编号C03C17/36GK202181261SQ20112028878
公开日2012年4月4日 申请日期2011年8月4日 优先权日2011年8月4日
发明者张珮珮, 王红兵, 郭明 申请人:洛阳新晶润工程玻璃有限公司