专利名称：一种晶体偏角度加工的定向料台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种晶体偏角度加工的定向料台，属于晶体加工装置领域。
背景技术：
晶体生长面往往不是我们要求加工的晶面，要想达到我们想要的理想晶面必须通过定向来解决。现在的技术一般只能达到找对要求的晶向，而达不到要求晶向的精度，即难以达到对晶向精度的要求。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供了一种晶体偏角度加工的定向料台，可以更便捷地控制晶向的精度。为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案
一种晶体偏角度加工的定向料台，包括底座、调整板、移位螺钉、垂直旋转靶、水平旋转靶、固定转盘螺丝。底盘上部安装支架、止退板，支架位于底盘一端，水平旋转靶安装在支架上。水平旋转靶包括调节钮、调节螺杆和移位螺钉，调节螺杆与移位螺钉螺纹连接。止退板上安装有调整板，止退板与调整板通过设置在远离支架一端的转动轴连接，调整板靠近支架一端与水平旋转靶的移位螺钉下端转动连接，调整板位于支架内侧的部位设有以弧形上下通槽，并通过设置槽内的锁紧螺钉与止退板保持紧固。调整板的通槽与转动轴之间靠近通槽部位竖直设置有立板，立板上靠转动轴一侧设有旋转台，旋转台上有刻度盘，刻度盘为360度刻度盘。旋转台一侧安装有垂直旋转靶，相对的另一侧安装有固定转盘螺丝，旋转台连接连接架，连接架与位于远离支架一端设置的夹紧件相对，夹紧件固定于机架。所能加工的晶体只能是碳化硅或蓝宝石。厚度可以是O. Imm-IOOmm,晶体直径可以是2吋-4吋，晶体角度可以是0°、4°或8°。本发明目的是为了能更好，更快，更直接的找到我们要求的晶体取向，并在最小程度上控制晶向的精度，从而避免了因精度不高而重复的费料加工，大大降低了成本，提升了晶体的使用率。
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中
图I是本发明一种晶体偏角度加工的定向料 台的结构示意 图2是本发明一种晶体偏角度加工的定向料台的俯视示意 图3是本发明一种晶体偏角度加工的定向料台调整板的旋转示意图。
具体实施例方式以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。如图1、2所示，一种晶体偏角度加工的定向料台，包括底座6、调整板7、垂直旋转靶15、水平旋转靶I、固定转盘螺丝16。底盘6上部安装支架2、止退板13，支架2位于底盘6 —端，水平旋转靶I安装在支架2上。
水平旋转靶I包括调节钮、调节螺杆3和移位螺钉4，调节螺杆3与移位螺钉4螺纹连接。止退板13上安装有调整板7，止退板13与调整板7通过设置在远离支架一端的转动轴12连接，调整板7靠近支架一端与水平旋转靶I的移位螺钉下端转动连接，调整板7位于支架内侧的部位设有以弧形上下通槽，并通过设置槽内的锁紧螺钉5与止退板13保持紧固。调整板7的通槽与转动轴12之间靠近通槽部位竖直设置有立板8，立板8上靠转动轴12 —侧设有旋转台9，旋转台9上有刻度盘，刻度盘为360度刻度盘。旋转台9 一侧安装有垂直旋转靶15，相对的另一侧安装有固定转盘螺丝16，旋转台9连接连接架10，连接架10与位于远离支架一端设置的夹紧件14相对，用以夹紧晶体
11。夹紧件14固定于机架。将需加工偏角度的晶体11固定到本发明定向料台上，然后将料台固定到X射线仪上。打开X射线仪，找到要求的晶向参数。 如图3所示，通过调节水平旋转靶I，调节螺杆3带动移位螺钉4运动，从而移位螺钉4带动调整板7转动。或者垂直旋转靶15来控制其偏角度精度。待校准完毕后，锁紧刻度盘上的固定转盘螺丝16即可，待晶体11平磨完毕后，便能得到符合要求的晶体。实施例一
将碳化硅晶体如晶向为(0001)偏X轴4°，做成(0001)，只需将碳化硅晶体固定到此定向料台上，然后进行衍射定向。X轴向为水平面，只需调节水平方向的水平旋转靶1，根据刻度显示值，反方向调整4°便能找到我们要求的晶体晶向。实施例二
将碳化硅晶体如晶向为(0001)偏Y轴4°，做成(0001)，只需将碳化硅晶体固定到此定向料台上，然后进行衍射定向。Y轴向为垂直面，只需调节垂直方向的垂直旋转靶15，根据刻度显示值，反方向调整4°便能找到我们要求的晶体晶向。以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种晶体偏角度加工的定向料台，其特征在于包括底座、调整板、垂直旋转靶、水平旋转靶、固定转盘螺丝， 底盘上部安装支架、止退板，支架位于底盘一端，水平旋转靶安装在支架上， 水平旋转靶包括调节钮、调节螺杆和移位螺钉，调节螺杆与移位螺钉螺纹连接； 止退板上安装有调整板，止退板与调整板通过设置在远离支架一端的转动轴连接，调整板靠近支架一端与水平旋转靶的移位螺钉下端转动连接，调整板位于支架内侧的部位设有以弧形上下通槽，并通过设置槽内的锁紧螺钉与止退板保持紧固； 调整板的通槽与转动轴之间靠近通槽部位竖直设置有立板，立板上靠转动轴一侧设有旋转台，旋转台上有刻度盘，旋转台一侧安装有垂直旋转靶，相对的另一侧安装有固定转盘螺丝， 旋转台连接连接架，连接架与位于远离支架一端设置的夹紧件相对。
2.根据权利要求I所述的一种晶体偏角度加工的定向料台，其特征在于刻度盘为360度刻度盘。
3.根据权利要求I所述的一种晶体偏角度加工的定向料台，其特征在于夹紧件固定于机架。
4.根据权利要求I所述的一种晶体偏角度加工的定向料台，其特征在于所能加工的晶体厚度可以是O. Imm-IOOmm,晶体直径可以是2吋-4吋，晶体角度可以是0°、4°或8°。
5.根据权利要求I所述的一种晶体偏角度加工的定向料台，其特征在于所加工晶体只能是碳化硅或蓝宝石。
全文摘要
本发明提供一种晶体偏角度加工的定向料台，包括底座、调整板、垂直旋转靶、水平旋转靶、固定转盘螺丝，底盘上部安装支架、止退板，止退板上安装有调整板，调整板中间的立板上设有旋转台，旋转台连接连接架，连接架与位于远离支架一端设置的夹紧件相对。旋转台一侧安装有固定刻度盘的固定转盘螺丝，另一侧安装有竖直方向的垂直旋转靶，本发明的目的是为了能更好，更快，更直接的找到我们要求的晶体取向，并在最小程度上控制晶向的精度，从而避免了因精度不高而重复的费料加工，大大降低了成本，提升了晶体的使用率。
文档编号B28D7/00GK102615721SQ20121009428
公开日2012年8月1日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者倪代秦, 吴星, 张世杰, 李旭明, 李闯, 贾海涛, 高鹏成 申请人:北京华进创威电子有限公司