一种晶体切割定位粘接台的制作方法

文档序号:1983406阅读:412来源:国知局
专利名称:一种晶体切割定位粘接台的制作方法
技术领域
本发明属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体切割前的粘接固定装置。
背景技术
晶体切割时,对切割晶体的角度要求非常严格,一般应控制在1(V以内,因此,粘接晶体的方法和装置非常重要。现有技术中一般是手工来粘接操作,只能切割一种角度的晶体,块数在1-2块。缺陷是对操作人员的要求高,并且过程复杂、重复性差、效率低。

发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有粘接方法的效率低、重复性差的缺陷,提供了一种高效、准确,重现性好的定位粘接装置。为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案
一种晶体切割定位粘接台,包括垂直固定在一起的挡板和底座,底座上固定有与底座垂直的弹性压紧件,其压紧头与挡板垂直;在所述底座上面、接近挡板的一侧,设有石墨托条。所述弹性压紧件包括立柱、轴套、压紧头和弹簧,所述轴套垂直固定在立柱上,弹簧位于轴套内,压紧头一端设于轴套内,另一端在弹簧的作用下压紧加工件。所述立柱与底座滑动连接。因为晶体大小和厚度不一,将立柱设计为可移动式,有利于扩大使用范围。所述石墨托条固定处的底座上设凹槽,石墨托条位于凹槽内,且托条的上平面低于底座平面。凹槽内的石墨托条与挡板形成固定角,一是保证晶体不易压偏且使晶体受力均匀,二是避免胶凝固过程中的晶体的角度发生改变。本发明工作原理是晶体粘接之前,先把晶体要加工的角度打磨出来,磨外圆,制作参考面。把各种角度的一个晶体或多个晶体放入切割粘接台粘接固定,晶体与晶体之间使用胶固定。使用此切割粘接台的有益效果是粘接晶体操作方便,且使晶体切割的角度控制在10'以内,从而简化了工艺、降低了成本、提高了效率。


附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中
图I是本发明晶体切割定位粘接台的结构示意图2是图I的粘接台的弹性压紧件的结构示意图。
具体实施例方式以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。如图I所示,一种晶体切割定位粘接台,包括垂直固定在一起的挡板3和底座1, 底座I上固定有与底座I垂直的弹性压紧件,其压紧头21与挡板3垂直;在所述底座I上面、接近挡板3的一侧设凹槽4,石墨托条5位于凹槽4内,且托条5的上平面低于底座平面。凹槽4内的石墨托条5与挡板3形成固定角,一是保证晶体不易压偏且使晶体受力均匀,二是避免胶凝固过程中的晶体的角度发生改变。弹性压紧件包括立柱24、轴套22、压紧头21和弹簧23,轴套22垂直固定在立柱 24上,弹簧23位于轴套内,压紧头21 —端设于轴套22内,另一端在弹簧23的作用下压紧加工件7。其中,立柱24与底座I滑动连接。可移动式立柱可满足晶体大小和厚度不一的需求。实施例I
使用晶体定位粘接台时,把磨好的0°、4°、8°碳化硅晶体准备好,根据晶体长度调节立柱在底座上的位置,把石墨托条放入凹槽内,涂上环氧树脂胶(图I的6所示),再把上述晶体放在石墨托条上,然后用压紧头顶紧,I个小时之后进行切割。切割完成可以得到晶向角度偏差在10'以内的晶片。00
实施例I方法切割碳化硅晶片的检测记录表,如表I所示
表I实施例I方法切割碳化硅晶片的检测记录表
权利要求
1.一种晶体切割定位粘接台,其特征在于包括垂直固定在一起的挡板和底座,底座上固定有与底座垂直的弹性压紧件,其压紧头与挡板垂直;在所述底座上面、接近挡板的一侧,设有石墨托条。
2.根据权利要求I所述的晶体切割定位粘接台,其特征在于所述晶体为碳化硅、蓝宝石或VGF砷化镓。
3.根据权利要求I或2所述的晶体切割定位粘接台,其特征在于所述弹性压紧件包括立柱、轴套、压紧头和弹簧,所述轴套垂直固定在立柱上,弹簧位于轴套内,压紧头一端设于轴套内,另一端在弹簧的作用下压紧加工件。
4.根据权利要求3所述的晶体切割定位粘接台,其特征在于所述立柱与底座滑动连接。
5.根据权利要求I所述的晶体切割定位粘接台,其特征在于所述石墨托条固定处的底座上设凹槽,石墨托条位于凹槽内,且托条的上平面低于底座平面。
全文摘要
一种晶体切割定位粘接台,本发明属于晶体加工技术领域,特别是涉及晶体切割前的粘接固定装置。包括垂直固定在一起的挡板和底座,底座上固定有与底座垂直的弹性压紧件,其压紧头与挡板垂直;在所述底座上面、接近挡板的一侧,设有石墨托条。使用此切割粘接台时,粘接晶体操作方便,且使晶体切割的角度控制在10′以内,从而简化了工艺、降低了成本、提高了效率。
文档编号B28D7/00GK102581974SQ20121009428
公开日2012年7月18日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者倪代秦, 吴星, 张世杰, 李旭明, 李闯, 贾海涛, 高鹏成 申请人:北京华进创威电子有限公司
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