一种晶圆切割机的可调夹具的制作方法

本实用新型涉及芯片制造技术领域，具体为一种晶圆切割机的可调夹具。

背景技术：

随着科技的发展，集成电路的集成度越来越高，种类也越来越多，所使用的晶圆也越来越多，晶圆是指是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆是通过切割机把晶圆柱切割后剖光打磨后的产品，为了确保成品率需要对晶圆柱进行固定，目前有的夹具在夹紧的过程中不能保证晶圆柱的稳定，不能从多个方向进行固定，且不能适用于粗细不用的晶圆柱，从而不能生产出不用大小的晶圆，有的夹具虽能夹紧，但是拆装麻烦，影响工作效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割机的可调夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割机的可调夹具，包括底座，所述底座顶部中心开有放置槽，所述放置槽内壁的顶部周向开有四个第一滑槽，所述第一滑槽的内壁上均与第三弹簧的一端固定连接，所述第三弹簧的另一端与楔块的一端固定连接，所述楔块的另一端与限位环固定连接，所述楔块靠近第三弹簧的一端开有第一插槽，楔块通过第一插槽活动连接有顶柱，所述顶柱滑动连接在凹槽内，所述凹槽开在底座的内部，所述顶柱通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部贯穿第一齿轮固定连接在第一空腔的底面，所述第一空腔位于底座内，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第二齿轮的中心固定连接有第一转轴，所述第一转轴贯穿第一空腔的底面，且伸入第二空腔的一端固定连接有第三齿轮，所述第二空腔位于底座内，且位于第一空腔的下方，所述第三齿轮与第四齿轮啮合，所述第四齿轮的中心固定连接有第二转轴，所述第二转轴贯穿第二空腔的侧壁伸出底座外，所述放置槽中部左右两侧壁上均开有第二滑槽，所述第二滑槽的内壁上通过第一弹簧固定连接有夹板，左侧的所述夹板上开有给右侧夹板让位的让位槽，所述夹板的外侧均固定连接有拉杆，所述拉杆贯穿底座的侧壁。

优选的，所述放置槽内设有阶梯槽。

优选的，所述夹板为半圆环形。

优选的，所述拉杆上开有固定槽，所述固定槽通过第二弹簧固定有卡块，所述底座对应卡块的位置设有卡槽，所述拉杆的内部贯穿插接有固定杆，所述卡块对应固定杆的位置开有第二插槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过使用限位环从四个方向进行夹紧固定，从而保证了晶圆柱的稳定性，不会在切割过程中倾斜，在底部通过夹板进行进一步的固定，可以通过调节夹板、楔块的伸长距离来适应不用粗细的晶圆，且方便操作和装夹，提高效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的图1的a部放大图；

图3为本实用新型的局部剖视图；

图4为本实用新型的图3的b部放大图；

图5为本实用新型的夹板处的剖视图；

图6为本实用新型的图5的c部放大图；

图7为本实用新型卡块和固定杆的结构示意图；

图8为本实用新型夹板的结构示意图；

图9为本实用新型限位环的结构示意图；

图10为本实用新型顶柱和楔块的结构示意图。

图中：1、底座，2、第三弹簧，3、楔块，4、顶柱，5、凹槽，6、螺纹杆，7、第一齿轮，8、第一空腔，9、第二齿轮，10、第一转轴，11、第二空腔，12、第三齿轮，13、第四齿轮，14、第二转轴，15、放置槽，16、第二滑槽，17、第一弹簧，18、夹板，19、让位槽，20、拉杆，21、固定槽，22、第二弹簧，23、卡块，24、卡槽，25、固定杆，26、第二插槽，27、限位环，28、第一插槽，29、第一滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-10，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆切割机的可调夹具，包括底座1，所述底座1顶部中心开有放置槽15，所述放置槽15内壁的顶部周向开有四个第一滑槽29，所述第一滑槽29的内壁上均与第三弹簧2的一端固定连接，所述第三弹簧2的另一端与楔块3的一端固定连接，第三弹簧2是用来拉回限位环27，所述楔块3的另一端与限位环27固定连接，每个楔块3上限位环27的连接高度均不同，限位环27为半圆环的形状，且四个限位块27间交错在一起夹紧晶圆柱，所述楔块3靠近第三弹簧2的一端开有第一插槽28，楔块3通过第一插槽28活动连接有顶柱4，所述顶柱4滑动连接在凹槽5内，所述凹槽5开在底座1的内部，所述顶柱4通过螺纹连接有螺纹杆6，所述螺纹杆6的底部贯穿第一齿轮7固定连接在第一空腔8的底面，所述第一空腔8位于底座1内，所述第一齿轮7与第二齿轮9啮合，第二齿轮9带动四个第一齿轮7同时转动，所述第二齿轮9的中心固定连接有第一转轴10，所述第一转轴10贯穿第一空腔8的底面，且伸入第二空腔11的一端固定连接有第三齿轮12，所述第二空腔11位于底座1内，且位于第一空腔8的下方，所述第三齿轮12与第四齿轮13啮合，所述第四齿轮13的中心固定连接有第二转轴14，所述第二转轴14贯穿第二空腔11的侧壁伸出底座1外，所述底座1的顶部中心开有放置槽15，所述放置槽15的左右两侧壁上均开有第二滑槽16，所述第二滑槽16的内壁上通过第一弹簧17固定连接有夹板18，第一弹簧17有弹力来使得夹板18夹住晶圆柱，左侧的所述夹板18上开有给右侧夹板18让位的让位槽19，让位槽19使得左右两个夹板18交错夹紧晶圆柱，所述夹板18的外侧均固定连接有拉杆20，拉杆20接触夹板18对晶圆柱的固定，所述拉杆20贯穿底座1的侧壁。

具体而言，所述放置槽15内设有阶梯槽，因为晶圆柱有固定的规格，不同规格的晶圆柱放在不同的阶梯上。

所述夹板18为半圆环形，夹板18半圆环形是为了适应圆柱形的晶圆。

具体而言，所述拉杆20上开有固定槽21，所述固定槽21通过第二弹簧22固定有卡块23，所述底座1对应卡块23的位置设有卡槽24，所述拉杆20的内部贯穿插接有固定杆25，所述卡块23对应固定杆25的位置开有第二插槽26，在夹板18夹紧晶圆柱的情况下，固定杆25不在第二插槽26内，卡块23在固定槽21内，当需要解除固定的时候，拔出拉杆20然后把固定杆25按进第二插槽26内顶出卡块23，使得卡块23卡进卡槽24内，完成固定，当再需要固定的时候，拔出固定杆25，在第二弹簧22的作用下卡块23收回，第一弹簧17就会带着夹板18夹紧晶圆柱。

工作原理：需要使用时，把晶圆柱放在放置槽15内，然后拉出两侧的固定杆25使第一弹簧17带着夹板18夹紧晶圆柱，然后转动第二转轴14通过第三齿轮12和第四齿轮13的传动，来带动第二齿轮9转动，第二齿轮9带动四周的第一齿轮7，使得顶柱4上升，从而挤着楔块3带着限位环27夹紧晶圆柱。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。