集成电路生产车间用低位通风除尘装置的制作方法

文档序号:12203238阅读:197来源:国知局

本发明涉及集成电路的生产车间相关技术领域,特别涉及集成电路生产车间的除尘系统。



背景技术:

集成电路的生产车间,必须保证无尘、无菌环境。现有的车间中,采用墙壁及顶部抽尘、换气系统,由于灰尘主要产生于人体脚部及靠近地面的位置,这种抽尘换气方式,对保证车间的无尘环境的效果不佳。



技术实现要素:

针对现有技术存在的上述问题,申请人进行研究及改进,提供一种集成电路生产车间用低位通风除尘装置,采用地面抽吸灰尘的方式,提高灰尘的抽吸效果。

为了解决上述问题,本发明采用如下方案:

一种集成电路生产车间用低位通风除尘装置,包括底支撑板及顶支撑板,所述底支撑板与顶支撑板之间安装有多个拱形支撑板,拱形支撑板与底支撑板之间的拱形腔中安装有吸尘管,相邻拱形支撑板与顶支撑板之间为导尘腔,所述导尘腔的底部设有导出口,所述导出口与吸尘管之间通过导管连通,位于所述导尘腔的上方的顶支撑板上具有滤尘孔。

本发明的技术效果在于:

本发明采用地面抽吸方式,对集中靠近地面的灰尘进行抽吸,其抽吸效果好,效率高;合理布置的拱形支撑板及吸尘管,进一步提高抽吸效果。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中:1、底支撑板;2、顶支撑板;3、拱形支撑板;4、拱形腔;5、吸尘管;6、导尘腔;7、导出口;8、导管;9、滤尘孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

如图1所示,本实施例的集成电路生产车间用低位通风除尘装置,包括底支撑板1及顶支撑板2,底支撑板1与顶支撑板2之间安装有多个拱形支撑板3,拱形支撑板3与底支撑板1之间的拱形腔4中安装有吸尘管5,相邻拱形支撑板3与顶支撑板2之间为导尘腔6,导尘腔6的底部设有导出口7,导出口7与吸尘管5之间通过导管8连通,位于导尘腔6的上方的顶支撑板2上具有滤尘孔9。

本发明采用地面抽吸方式,对集中靠近地面的灰尘进行抽吸,其抽吸效果好,效率高;合理布置的拱形支撑板及吸尘管,进一步提高抽吸效果。

以上所举实施例为本发明的较佳实施方式,仅用来方便说明本发明,并非对本发明作任何形式上的限制,任何所属技术领域中具有通常知识者,若在不脱离本发明所提技术特征的范围内,利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例,并且未脱离本发明的技术特征内容,均仍属于本发明技术特征的范围内。

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