一种真空镀膜生产线用门体结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及密合门的领域，特别涉及一种真空镀膜生产线用门体结构。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜领域，一般的真空镀膜生产线至少包括七个腔室，每个腔室根据不同的需要，一般匹配不同规格以及不同开合方向的腔室密封门。由于真空镀膜领域技术发展更新快，半导体行业，电子行业的更新换代非常频繁，而生产线不能顺应技术的发展改变就会面临快速淘汰的命运，匹配不同生产工艺而制造的真空镀膜腔室密封门随之也将淘汰，这必将造成资源的浪费，使得真空镀膜工艺的成本居高不下。现有技术中在真空镀膜生产线中并没有一种可以在不同腔室之间具有普适性的互换门。如何使真空镀膜生产线中各腔室密封门体结构之间具有普适性，满足镀膜工艺的需求，降低真空镀膜工艺的器械成本，仍是一个亟待解决的问题。
【发明内容】
[0003]针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种普适性强，可以在不同腔室之间互相更换，且密封效果更好的真空镀膜腔室用互换门。
[0004]为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下:
[0005]一种真空镀膜生产线用门体结构，该门体结构配置于真空镀膜生产线中的各功能腔室，包括室门和门框，室门的两侧均与门框活动连接，各功能腔室配置的门体机构尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
[0006]优选地，真空镀膜生产线用门体结构进一步包括多组密封组件，室门的两侧与门框通过多组密封组件与门框可拆卸活动连接，优选为螺接。
[0007]更优选地，室门两侧的密封组件位置对应。
[0008]更优选地，密封组件包括铰链件和紧锁件，铰链件连接室门与门框，室门经铰链件开合，紧锁件安装在门框上。
[0009]更优选地，铰链件包括第一铰链件、第二铰链件和辅助铰链件，其中第一铰链件与室门连接，第二铰链件与门框连接，辅助铰链件分别连接第一铰链件和第二铰链件；第一铰链件包括第一铰链座和第一铰链轴，第二铰链件包括第二铰链座和第二铰链轴，第一铰链座和辅助铰链件同第一铰链轴转动，第二铰链座和辅助铰链件同第二铰链轴转动，且第二铰链座与辅助铰链座间设有轴承，优选为平面轴承。
[0010]更优选地，为了使得铰链件结构更为紧凑合理，第一铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第一凹槽，辅助铰链件嵌入第一凹槽内与第一铰链座同轴转动；相应地，第二铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第二凹槽，辅助铰链件嵌入第二凹槽内与第二铰链座同轴转动；第一凹槽与第二凹槽开口方向相反。
[0011]更优选地，第一铰链座与第二铰链座等高等长，第二铰链座与第一铰链座不等宽，换言之，第二铰链座厚于第一铰链座；此厚度差可实现在真空镀膜生产线腔室内成真空状态时，避免外界大气压将室门设有铰链件的一侧无法密闭均匀，使得整个室门的关合过程受力更为平均，室门密封性能好。
[0012]更优选地，第一凹槽设置在第一铰链座的中段，同样地，第二凹槽设置在第二铰链座的中段。
[0013]更优选地，为了，使得整个室门的关合过程受力更为平均，第一铰链座与辅助铰链件间通过一螺栓固定，且该螺栓与室门连接，通过该螺栓调整辅助铰链件，使辅助铰链件在转动过程中不左右摆动，且在转动过程中，限制室门随着辅助铰链件与第一铰链座的间隙摆动，而是使室门随着辅助铰链件转动，该螺栓优选为沉头螺栓。
[0014]优选地，紧锁件包括固定座、固定元件和压紧螺钉，固定座通过螺栓固定在镀膜生产线各功能腔室的门框上，固定元件通过压紧螺钉活动安装在固定座上。
[0015]更优选地，压紧螺钉与固定元件之间活动连接，固定元件经压紧螺钉安装在门框上时可旋转。
[0016]与现有技术相比，本发明中真空镀膜生产线的各腔室门体均采用尺寸一致的门体机构，使得各腔室门体依据镀膜区域工艺可进行随时调整，随时根据两面膜层的结构设计来更换靶门布局适应镀膜要求，使生产线能随时进行升级改进，顺应膜层的发展更新换代，节约生产线成本；镀膜生产线的标准化门体机构也使得生产线更为简洁、美观；并且，门体机构均为活动可拆卸，室门与门框间通过可拆卸的密封组件固定，密封组件采用双轴结构，提高镀膜腔室的密封效果，满足镀膜工艺的真空度要求。因此本发明具有广阔的应用前景。
【附图说明】
[0017]图1为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构的互换门装配示意图；
[0018]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构的单个门体示意图；
[0019]图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中铰链件的一种优选实施方式立体图；
[0020]图4为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中铰链件的一种优选实施方式透视图；
[0021]图5为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中紧锁件的一种优选实施方式结构图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细、完整地说明。
[0023]图1至图5，为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构的示意图。真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线进一步包括至少7个腔室，7个腔室分别为进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，该门体结构配置于真空镀膜生产线中的各功能腔室。如图1至图5所示，该真空镀膜生产线用门体结构包括室门100和门框200，室门100的两侧均与门框200活动连接，各功能腔室配置的门体机构尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
[0024]图2为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构的单个门体示意图。如图2所示，真空镀膜生产线用门体结构进一步包括多组密封组件300，室门100的两侧与门框200通过多组密封组件300与门框200可拆卸活动连接，优选为螺接。室门100两侧的密封组件200位置对应。
[0025]密封组件300包括铰链件310和紧锁件320，铰链件310连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门100与门框200，室门经铰链件310开合，紧锁件320安装在门框200上。
[0026]图3为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中铰链件的一种优选实施方式立体图；图4为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中铰链件的一种优选实施方式透视图。如图2和图3所示，铰链件310包括第一铰链件311、第二铰链件312和辅助铰链件313，其中第一铰链件311与室门连接，第二铰链件312与门框连接，辅助铰链件313分别连接第一铰链件311和第二铰链件312 ;第一铰链件311进一步包括第一铰链座3111和第一铰链轴3112，第二铰链件312包括第二铰链座3121和第二铰链轴3122，第一铰链座3111和辅助铰链件313同第一铰链轴3112转动，第二铰链座3121和辅助铰链件313同第二铰链轴3122转动，且第二铰链座3122与辅助铰链件313间设有轴承314，优选为平面轴承。
[0027]为了使得铰链件310结构更为紧凑合理，第一铰链座3111依辅助铰链件313形状